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晶圆放置在垫柱3上,使晶圆与加热盘1之间形成间隙,防止晶圆与加热盘1直接接触从而损坏晶圆,。加热盘1上还设有限位柱4,限位柱4的数量为6个,晶圆放置在6个限位柱之间,这方每次加热晶圆时,晶圆都能放置在加热盘1的固定位置。底板2上设置有温度传感器5,温度传感器5用于检测底板2上温度值。底板2上设置有过温保护器6,当温度过高使,对加热器及时断电,防止加热器损坏。实施例二、加热器在工作过程中温度较高,这样加热器的周围的温度也会较高,很容易烫伤工作人员,因此在上述实施例的基础上,曾设了隔热环7,隔热环7套设在加热器**,起到了对周围隔热的作用,同时也减少了加热器热量的散发,同时也保证的工作人员与底板2或加热盘的直接接触,有效的避免了。以上*是本发明的推荐实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。则可得安定薄膜即可轻易制得触须(短纤维)等,故其应用范围极广。上海 PH250加热板代理商
晶圆加热盘一般是用于承载、加热晶圆的圆盘,所以也有人称它为晶圆加热器。因为使用环境特殊,制作半导体晶圆托盘的材料需要具备许多条件:耐高温能力强、耐磨性能高……,因为是用于高温环境下,导热系数也是越高越好。金属的耐温性没有非金属材料好,非金属导热性没有金属强,但是由于金属在高温下会融化,便只能从非金属材料中寻找导热性强的材料。终于在工业陶瓷中找到了较为合适的材料——氮化铝陶瓷。氮化铝的化学式为AlN,化学组成AI约占,N约占。它的粉体为一般是白色或灰白色,单晶状态下则是无色透明的,常压下的升华分解温度达到2450℃。氮化铝陶瓷导热率在170~210W/()之间,而单晶体更可高达275W/()以上。热导率高(>170W/m·K),接近BeO和SiC;热膨胀系数(×10-6℃)与Si(×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配;各种电性能(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)优良;机械性能好,抗折强度高于Al2O3和BeO陶瓷,可以常压烧结。 PH131B加热板国内总代理将洗净的基片表面涂上附着性增强剂或将基片放在惰性气体中进行热处理。
这也使得控制温度在目标温度士20°C范围内波动,波动范围较大。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种能够在高频加热时将工件温度控制在目标温度士5°C范围内的温度控制装置及方法。为达到上述目的,本发明提供一种高频加热时精确控制温度的装置及方法,其中,装置包括有对物件进行升温的高频机,监测物件温度并反馈正比电压信号的温度测控模块和接收电压信号并控制高频机输出功率的信号调理模块。加热方法,包括有如下步骤第一步,开始高频加热,高频机满负荷加热升温,温度测控模块监测物件温度,当物件温度距目标温度80120°C时,改为动态功率加热;第二步,温度测控模块根据不同温度,反馈与温度成正比的电压值,信号调理模块根据电压值的大小反比例调节高频机的功率输出,使其越接近目标温度,输出功率越小;第三步,信号调理模块动态调节高频机的功率输出,物件温度保持在目标温度值的士5°c的范围内。采用上述技术方案所达到的技术效果是信号调理模块接受温度测控模块的信号,动态调节高频机的功率输出,使得物件温度越接近目的温度时,高频机的输出功率越小,减小因高频时间断开滞后造成的误差,可将工件温度控制在目标温度的士5°C范围内。进一步。
辅助加热水套与中心加热筒2连通的一端用于辅助加热,封闭端用于线圈7的安装检修。内筒体3与中心加热筒2之间均匀设置有线圈固定装置8,沿线圈固定装置8外侧螺旋绕装有线圈7。线圈7截面为正方形,线圈上端距离顶部端面不低于150mm。中心加热筒体2与外侧水套中间形成的圆环形空腔用于放置线圈7,该开口圆环面积*占空腔总表面积的%,且线圈距离开口端面150mm以上,所以理论漏磁量非常小。将%的空间表面封闭在一个金属空腔内,减少了漏磁、增加电感量。当多个单元体组装时,无需考虑两个单元体之间或单元体与周边环境之间的电磁干扰或感应,从而缩减设备整体尺寸,满足设计要求。如图2-图3所示,线圈固定装置8设有三组,以中心加热筒2轴线为中心呈正三角形分布。包括绝缘支柱83,材料推荐为耐高温二苯醚层压板,压板外侧设有陶瓷套。绝缘支柱83上端通过支柱定位管82与支柱固定块81固定连接,下端与固定于底端平面的支柱底座85连接。绝缘支柱83上设有若干用于线圈7定位的定位螺栓84。线圈7绕过定位螺栓84,可以有效调节线圈7缠绕的节距。线圈7采用上密下疏的布置方式。采用线圈的分区段设计,针对立式管内被加热工质存在预热段、过冷沸腾段、核态沸腾段等不同区段。每组加热片的自由端分别连结电源的两极。
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物件温度保持在目标温度值的士5°C的范围内。上海 PH250加热板代理商
让冷水流过得到加热。但是,当使用一个加热桶时,由于加热桶体积大,因此加热注入于桶内的冷水所需的时间较长;而当使用多层加热桶时,则由于加热桶体积变大、结构变得复杂,因此生产成本增加。并且,加热桶内的流量按自然流速流动,速度非常慢,因此,在高温下加热器周围形成油脂或石灰石,从而降低热导率、缩短加热器的寿命、增大耗电率。如中国**cn。本发明提出了一种电磁感应加热单元结构,配合10kv高压电磁感应技术,使得综合效率大幅提高。技术实现要素:发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种电磁感应加热单元结构,解决电磁感应加热过程中电磁场泄漏的问题,保证加热管壁高效运行,无过热风险。技术方案:为实现上述目的,本发明采用的技术方案为:一种电磁感应加热单元结构,包括两端开口的中心加热筒,沿所述中心加热筒切向依次套装有内筒体和外筒体;所述内筒体与外筒体底部位于同一封闭平面,内筒体与外筒体之间形成倒u型辅助加热水套;所述外筒体顶端与中心加热筒顶端位于同一平面;所述中心加热筒与辅助加热水套连接处开有若干通孔;所述内筒体与中心加热筒之间均匀设置有线圈固定装置,沿所述线圈固定装置外侧螺旋绕装有线圈。上海 PH250加热板代理商
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