飞秒激光超精密半导体卡盘

微泰利用先进的飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。用于半导体加工真空板  薄膜真空板 倒装芯片工艺真空块  M L C C贴合用真空板  薄膜芯片粘接工具，镜头模组组装治具。超精密刀片特性，材料：碳化钨、氧化锆等。刀刃对称性：低于3um，刀片厚度（t1）：100um刀片边缘粗糙度：Ra0.02um ，刀刃厚度（t2）：低于0.2um角度（0）精度：±0.3° 刀刃直线度：低于5um。MLCC刀具方面，生产MLCC垂直刀片，MLCC轮刀，MLCC修剪刀片，其特点是1，刀刃锋利。2，与现有产品相比，耐用性提高了50%。材料采用超细碳化钨，具有1，高耐磨性。2，耐碎裂。特别是超薄，超锋利的镜头切割器，光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口，占韩国塑料镜头切割刀具90%以上的市场。由于精度高的缘故，超精密加工常应用在光学元件。也会应用在机械工业。飞秒激光超精密半导体卡盘

要求更小更精密的前列IT产业中，有追求纳米级超精密加工的次世代企业，精密加工技术及设计技术为背景，在半导体和电子部件市场中，有生产自动化设备的精密部件，切削工具的企业，上海安宇泰科技有限公司。用自主技术-电解在线砂轮修整技术（ELID）与飞秒激光抛光技术融合在一起，生产世界超精密刀具。为了精巧地剥离一微米以下的超薄膜，开发了非接触切割方法。电解在线砂轮修整技术（ELID）与飞秒激光抛光融合在一起，生产超精密真空板。采用激光在PCD、PCBN上加工芯片切割机的几何工艺，制作非铁金属切削加工用PCD芯片切割嵌件，微泰的竞争力是超精密加工技术和生产，管理系统。保证产品的彻底的品质检查。利用自主开发的ELID研磨机 ,实现了厚度0.03毫米的锋利的刀片式引线切割。利用飞秒激光抛光技术,提高刀具锋利度，提高了寿命和品质50%以上。公差要求高的模具加工方面，具有实现五微米以下的公差平面研磨系统。通过激光设备可以精密地加工0.02毫米的微孔。在PCD、PCBN嵌件表面激光加工制作各种几何芯片切断点，通过自动化检查设备和自主开发的切断性能测试系统，进行彻底检查并通过MES进行电脑管理。我们拥有包括ISO14001在内的多项国际自主技术。

韩国技术超精密超精细超激光精密打孔的特点是可以在硬度高、质地脆或者软的材料上打孔，孔径小、加工速度快、效率高。

微泰拥有激光超精密钻探技术。 随着电子和半导体行业的快速发展，对更小、更精细的微孔的要求越来越高，这使得该行业很难通过机械加工来实现。 自 90 年代后期以来，微泰一直专注于使用激光的微孔领域，并越来越多地寻求 超精密业务。 客户越来越多。 我们将为您提供 25 年的精细钻孔技术，包括使用纳秒激光的超精密钻孔技术，以及使用 飞秒激光的超精密激光技术。纳秒红外激光器套钻系统-功率：50W，脉冲能量：100uJ，频率：100Hz，在利用现有的纳秒激光加工微孔时，由于长激光脉冲产生的热量积累，会在孔周围生成颗粒。出现了表面物性值变形等各种问题。飞秒绿色激光先进的螺旋钻进系统-功率：5W，脉冲能量：13 uJ，频率：100Hz，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。本系统的技术是先进的螺旋钻孔技术，采用高速螺旋钻削技术。

我们说的微孔，大部分是用肉眼是看不到的，用放大镜放大，用手机镜头放大都看不到，这是在2毫米见方上开的25个微孔，肉眼是看不到的，在显微镜下才能看到。这是在直径1厘米的钢板上开的一百多个微孔，肉眼隐约可见，对着亮光就可以清晰可见。21 世纪公司利用独有的飞秒激光技术，生产超精密零件，包括钻孔、成形、切割和抛光。 它可以加工多种材料，包括 PCD、 PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼，我们专注于生产需要高难度、高公叉和高几何公叉的产品，并以 30 年的磨削技术、成型技术、钻孔技术和激光技术为后盾，解决客户的难题，力求客户满意。有问题请联系  上海安宇泰环保科技有限公司总代理激光超精密加工质量的影响因素少，加工精度高，在一般情况下均优于其它传统的加工方法。

现有物理切削技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油,加工后需要清洗纳秒激光加工有以下问题：细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形，表面物性发生变化，周围会产生多个颗粒飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题-热影响极小，可以局部加工-不需要切削油和化学药剂-细微裂纹极少化表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻画低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果）抛光后，[AOI（自动光学检查）]对孔不良进行检测（手动或自动）（光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。加工部件激光光学系统位移传感器、光学相机、防撞传感器滑门及外盖实用程序系统控制系统该激光加工设备环保，有利于工艺自动化，本公司通过各工序的联动及生产自动化，推进智能工厂化，成为超精密激光加工系统领域全球企业，上海安宇泰环保科技有限公司超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。超快超精密薄膜芯片

改变基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光电镀、激光合金化和激光气相沉积等应用。飞秒激光超精密半导体卡盘

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行半导体产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。MLCC 层压的真空板相同区域内可加工不规则位置的孔；可以混合加工不规则尺寸，孔间距可达 0.3 μm ；可加工多达 800,000 个孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC叠层吸膜板，吸附板。飞秒激光超精密半导体卡盘