厦门工业烤箱维修

下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；

2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；

4、加热元件：石墨加热棒；

5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温；

6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；

7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；

9、极限真空: 10-3torr级；

10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr

11、升温功率：170kW；

12、升温速率：15℃/min（空载）；

13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） 工业烤箱的厂家哪个好？合肥真萍科技告诉您。厦门工业烤箱维修

下面为大家简单介绍一下温湿度振动三综合试验箱。

温湿度振动三综合试验箱广泛应用在对电工电子、家用电器、汽摩配件、化工涂料、航天、航空、石油、化工、电子、通讯、及其它相关产品零部件及材料进行高低温、恒定、交变湿热及振动冲击综合试验，并与单一因素作用相比更能真实地反映电工电子产品在运输和实际使用过程中对温湿度及振动复合环境变化的适应性，暴露产品的缺点，是新产品研制、样机试验、产品合格鉴定试验全过程必不可少的重要试验手段。

  三综合试验是指综合温度、湿度、振动三个环境应力的试验，具有极宽大的温湿度控制范围，可满足用户的各种需要采用独特的平衡调温调湿方式，可获得安全、精确的温湿度环境。同时可在三综合试验箱内将电振动应力按规定的周期施加到试品上，供用户对整机（或部件）、电器、仪器、材料等作温湿度、振动综合应力筛选试验，以便考核试品的适应性或对试品的行为作出评价。 芜湖工业烤箱电烘箱接线.合肥真萍科技的工业烤箱怎么样？实地考察下真萍就知道了。

下面为大家简单介绍一下六腔体无尘烤箱。

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

技术指标：

1 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）

2温度范围：+60℃~ +250℃（极限温度350℃）

3温度均匀性：±2℃（空箱测试）

4温度精确度：±1℃（空箱测试）

5设备型号规格:450*450*450；450*600*450；600*800*600；600*700*600;700*900*700;

700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;

1000*1300*1000;1000*1400*1000;

高温钟罩炉设备规格及结构

炉膛结构 ：采用多晶莫来石材料砌筑而成

外形尺寸：W1300×H2200×D1510 (mm)

一、热工系统

1.1额定温度 ：1550℃

1.2限制温度 ：1600℃

1.3加热元件： U 型硅钼棒

1.4加热功率 ：16kW

1.5空炉保温功率 ≤8kW

1.6温区个数 ：1 个

1.7控温点数 ：1 点

1.8热偶 :B 分度

1.9程序**精度 ：±2℃（大于 600℃,升温速率≤3℃/min）

二、气氛系统

2.1炉膛气氛 ：2 路空气，流量计量程为 7～70L/min；每路流量可调节

2.2排气系统： 在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放

三、传动系统

3.1传动方式 ：升降式

3.2传动类型 ：电动推杆传动

3.3容积 ：20L  

四、冷却系统

4.1冷却结构 ：无

4.2产品降温 ：随炉降温

五、安全保护

5.1升、降、停按钮 ：载料台的升、降、停控制

5.2报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警

5.3设备安全升温速率 ≤5℃/min

六、温度控制系统

6.1温度测量:采用 B 分度热偶测量

6.2控制方式：高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制

6.3限温处理 ：

6.3.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警

6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警

6.4控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 工业烤箱哪家好，推荐合肥真萍科技。

HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。 工业烤箱哪家好？推荐选择合肥真萍科技。厦门工业烤箱维修

工业烤箱的生产厂家名录。厦门工业烤箱维修

电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。

过滤系统：

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计，风压平均，可有效提供风量，降低噪音。

2.4 电路板控制模块，提供安 全保护装置，运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA，0.12μm，99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力规格：单相220V 50Hz 0.95A，输出功率150W。