江苏精密工业烤箱

下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，普遍应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。技术指标：1无尘等级：Class100：（符合FED-STD209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）2温度范围：+60℃~+250℃（极限温度350℃）3温度均匀性：2℃（空箱测试）4温度精确度：1℃（空箱测试）箱体结构：1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。3保温材料：采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，防止了热能浪费。4电热部分：采用覆套式电热器（SHEATHEDHEATER）无尘无氧化电热发生器选用定制工业烤箱有哪些好处呢？合肥真萍科技为您介绍。江苏精密工业烤箱

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸：1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：±0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。精密工业烤箱维修工业烤箱哪个性价比高？合肥真萍科技告诉您。

可定制高温烘箱温度控制系统：1、采用数显微电脑温度控制器，控制精确可靠，精度：0.1℃(显示范围)。2、具有定时功能、控温保护功能，设有风机停转开关。电气控制系统：1、采用品牌电气控制元件。2、电气线路设计实用，合理布线，可靠放心。3、箱体顶部为电器控制柜，方便于集中检查维修。保护系统1、超温保护系统2、过电流保护3、快速熔断器4、接地保护可选择配件（需另外收费，订购时请注意）1、可编程控制器，可实现升温速率可调和保温时间可调，多段可编程。2、单独限温控制器，可实现在主控制器失灵后设备升温过高的情况下立即切断加热。3、无纸记录仪，通过USB接口将其记录的数据导入计算机可供分析、打印等，是有纸记录仪的更新换代产品，多通道温度记录。4、配RS-485接口，可连接计算机和记录仪，实现时时监控工作状态。5、温度测试孔，可实现不同测试线或仪器插入设备工作室内进行多种实验，测试孔孔径有φ25、φ50、φ80可选。6、载物托架，烘箱设备标配是2个载物托架，客户可根据自身需求增配托架数量。*技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。

一、热工系统1.额定温度800℃2.较高温度850℃3.加热元件陶瓷外丝加热管4.加热功率18kw5.空炉保温功率约9kw6.温区个数1个7.控温点数2点8.热偶K分度9.控温稳定度1℃(恒温平台)10.炉膛温度均匀度6℃（恒温800℃,1h）二、气氛系统1.炉膛气氛2路氮气，流量计量程为2～20L/min；每路流量可调节2.排气系统在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放，废气3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染4.氧含量配氧含量分析仪分析氧含量：5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量。工业烤箱的作用是什么？合肥真萍告诉您。

HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。工业烤箱的重要组成部分有哪些？福州工业烤箱报价

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连续炉即是连续作业炉，是指连续地或间歇地装料，工件在炉内不断移动，完成加热、保温，有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料，连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量，提高劳动生产率和改善劳动条件。1、采用智能型温度控制模块，PID自动演算，LED显示，配合SSR大功率可控硅输出，能控制温度之精细度；2、分段控制（当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管，降低加热功率，其达到省电效果）。江苏精密工业烤箱