北京晶圆测试探针台厂家

时间:2023年07月08日 来源:

高精度探针台:目前世界出货量头一的型号吸收了较新的工艺科技例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS-较近的位置对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其一定位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于精密的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。特性3:装载部件。令客户满意的测试环境,可以提供从前部开始的通常的8“,12”及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4:TTG(一点即到)。更加方便的操作,UF3000采用在显示屏上点一下,相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。探针台的观测数据对未来宇宙探索和科学研究提供了宝贵的资源。北京晶圆测试探针台厂家

滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养。相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性,定位精度等都是用专业的仪器仪表调整,用户一般情况不能轻易改变,一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态,所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。湖北12寸探针台价位探针台的研究成果不仅对天文学有着重要的意义,还对物理学等学科领域产生了深远的影响。

目前,市面上定位器主要的形式有三种:(1)燕尾导向型。使用燕尾导向机构,可有效地降低产品成本。缺点是,直线导向精度比交叉滚子导轨要差,并不适用于高精度操作。通常看到该类配置都是与配套了体视显微镜的探针台搭配使用。(2)交叉滚子导轨导向型。相比于燕尾导轨,直线精度有效地提高了。适用于目前大部分客户的定位需求。缺点是,超高倍数下因为机构原因(XYZ机构是像蛋糕一样一层叠一层),手部操作的震动很容易传递到探针上。在高倍下探针的震动会被观察到,很影响用户扎探针。比如要把探针扎到几微米甚至1微米左右的PAD上,将会相对比较困难。(3)交叉滚子导向、高稳定型。该结构设计把定位器上移动机构(XYZ)和驱动丝杆分开,能有效地将手部操作产生的震动隔离,实现真空意义上的高精度、高稳定操作(Submicron Probing)。

探针、探针夹具及电缆组件。(1)探针。待测点需要测试探针的连接,才能与测试仪器发生交流。常见的有:普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针。(2)探针夹具及电缆组件。探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。根据测量应用,可粗略地划分为以下几种:I-V/CV测试用、RF测试用、高压大电流I-V/C-V测试用等。主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析,抽查测试等用途。探针台为研究宇宙现象、探索太空、保护地球和人类生命提供了丰厚的数据资源。

探针台(Prober station)又称探针测试台,主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台主要应用于半导体行业以及光电行业得研发,生产制造,失效分析等,是对晶圆(Wafer)上得器件进行电特性测试或故障分析而使用得精密机台,通过探针台能很好得帮助工程技术人员实现微小位置得电学参数测试。探针台需要高度的保密性和安全措施。广东电学温控探针台厂家直销

探针台的数据对太空探索、战略部署、国家的安全等领域具有普遍的应用和重要的战略意义。北京晶圆测试探针台厂家

什么是自动探针台,自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分,分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试,晶圆尺寸:4,,6,8 ,12英寸晶圆片装卸:1个载片盒 (25 或者 26 个片槽),连续的可编程双向加载,快速单片晶圆手动上下片,防晶圆交叉保护 XYZ- 精度:±3微米。使用环境:1. 电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<1.5KW;2. 压缩空气源:> 0.7MPa,10L/H;3. 使用环境:温度:15ºC-25ºC 相对湿度:<70%。北京晶圆测试探针台厂家

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