辽宁8寸探针台

探针测试台x-y工作台的分类，纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即:以美国EG公司为表示的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。探针台的观测和研究任务需要具备高水平的科研和管理人才。辽宁8寸探针台

目前，市面上定位器主要的形式有三种：（1）燕尾导向型。使用燕尾导向机构，可有效地降低产品成本。缺点是，直线导向精度比交叉滚子导轨要差，并不适用于高精度操作。通常看到该类配置都是与配套了体视显微镜的探针台搭配使用。（2）交叉滚子导轨导向型。相比于燕尾导轨，直线精度有效地提高了。适用于目前大部分客户的定位需求。缺点是，超高倍数下因为机构原因（XYZ机构是像蛋糕一样一层叠一层），手部操作的震动很容易传递到探针上。在高倍下探针的震动会被观察到，很影响用户扎探针。比如要把探针扎到几微米甚至1微米左右的PAD上，将会相对比较困难。（3）交叉滚子导向、高稳定型。该结构设计把定位器上移动机构（XYZ）和驱动丝杆分开，能有效地将手部操作产生的震动隔离，实现真空意义上的高精度、高稳定操作（Submicron Probing）。河南晶圆测试探针台供应商探针台提供了探索宇宙的有效途径。

半自动型，chuck尺寸800mm/600mm，X,Y电动移动行程200mm/150mm，chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜，针座摆放个数6～8颗，显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"，可搭配Probe card测试，适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金），X,Y电动移动行程300mm x 300mm，chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u，可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜，针座摆放个数8～12颗，显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“，材质：花岗岩台面+不锈钢，可搭配Probe card测试，适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品。

什么是自动探针台，自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分，分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试，晶圆尺寸：4,,6,8 ，12英寸晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护 XYZ- 精度：±3微米。使用环境：1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW；2. 压缩空气源：> 0.7MPa，10L/H；3. 使用环境：温度：15ºC-25ºC 相对湿度：＜70%。探针台能够为太空探索提供关键的科研数据。

自动探针台主要功能：1. TTL专门使用测试仪接口；GPIB/RS232/网络接口（选配）；与测试机连接方便；2. Windows风格界面，动态显示测试过程，MAP图实时显示、存储；3. Map导航功能，map编辑（可编辑标注DIE属性、测试区域）；4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式；5. 图像对准功能，自动扫描，自动首点对准；6. 不良品喷墨打点标记，墨点尺寸Ø0.5mm；7. 分级权限管理；8. 控制打印机打印测试结果；9. 配合上位机，上传并记录测试数据。探针台是人类理解宇宙和了解人类自身的一个重要工具。广东全自动探针台平台

探针台的研究成果对人类探索宇宙和了解宇宙具有重要意义。辽宁8寸探针台

极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。辽宁8寸探针台

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