柳州定制氮气柜调试调整

    可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。7）温湿度显示及记录管理。温湿度显示：采用4英寸超大LED显示，有效视距可达30米；温湿度记录:可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%RH的波动。洁净氮气柜主要特点：一、规格尺寸(尺寸可订制)1、材质：SUS304双镜面2、工作电压：220V3、温湿度显示器精度：相对湿度±3%Rh，温度±1℃二、主要特色SXD-COL系列是集快速除湿、除尘、防静电和氮气节约功能于一体的无尘室储存设备。洁净氮气柜产品说明：*控制方式：采用湿度/氧含量控制的方法。*高洁净过滤器FFU采用美国等进口品牌。*静音离心风机采用德国等进口品牌。*采用静电消除装置。*对氮气进行前期洁净预处理。*采用触摸式控制器，对箱内湿度或含氧量进行显示和控制。设备具有很好的密封性能，尘埃过滤，水平或垂直送风。*设备由湿度和氮浓度检测显示,氮气流量控制,防静电控制,高洁净过滤器受阻等多个系.*控制仪可进行温湿度含氮量数据的实时显示,存储和输出和报警功能。不锈钢洁净型有四项主要特色：1、模组化设计：本机器采用独特的模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉。柳州定制氮气柜调试调整

    全功能洁净氮气柜：产品应用：适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标：1）洁净等级专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@）。2）TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3）降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机：采用进口无尘室FFU风机，面风速：～；5）静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6）柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。中山便捷式氮气柜规格尺寸充氮系统三种控制：温度控制、氧气浓度控制、时间控制。

    采用气体分离工艺可将空气中的氮气和氧气分离生产氮气，通常使用一种特殊处理过的活性碳即碳分子筛分离空气。碳分子筛的孔径在氮气和氧气分子的直径范围内，由于氧分子比氮分子体积小，因此先被吸附在碳分子筛表面。氮分子通过分子筛床层排出进入储罐达到制氮的目的，氧分子通过设备解吸排放到大气内，达到分子筛再生的目的。经过一段时间吸附后，碳分子筛被所吸附的氧分子饱和需进行再生，再生是通过降压解吸予以实现。由于碳分子筛在低压时不能再吸附气体分子，大多数分子在降压时被排空，此种过程称为脱附。为达到连续供气，通常采用多塔式操作，在吸附筒a处于吸附状态时，吸附筒b为脱附状态，并且利用时间控制与切换，两筒互相转换为吸附与脱附状态。至于变压吸附制氮机生产的氮气则流入氮气槽，以供工厂制程使用。在开机时，由于受限于吸附筒内存在大量空气，因此要达到稳定操作时都需要经过一段时间，例如30分钟到2个小时，亦即影响生产时等待的时间。此种情况在使用多台氮气机的情况尤其严重，当氮气量不够使用，急需启动另一台氮气机时，需要花费过长的时间在等待，造成现场气源不足或纯度下降的困境。另一种情况为碳分子筛生产的工厂。

    24小时内).10、快速稳定的除湿能力，良好的密封性能，可使箱内湿度不受环境影响。11、两年免费维修及防潮咨询。12、可根据客户要求定做不锈钢柜体及氮气柜。氮气节约装置，当箱内湿度到达设定值时，系统会自动切断氮气供应，当超过设定值时，系统会智能打开氮气供应。相比市场其他直充氮气机型可节约70%氮气消耗量。大程度降低使用成本。采用多点喷气结构.氮气通过30多个小孔向箱内喷气，使箱内氮气分布均匀。避免了单点供气而产生的抗氧化不均现象。智能化控制系统釆用与电子防潮箱相同智能化控制系统。可设定并自动采集箱内湿度来决定氮气供气阀的通断.从而节省氮气，延长产品使用寿命。产品的扩展防氧化氮气柜可扩展成氮气防潮组合柜.在不通氮气的情况下.可当作电子防潮箱使用.从而节约了投资及使用成本。程序控制氮气发生器的控制系统采用芯片。

    氮气注意事项：氮气危险性类别：侵入途径：吸入健康危害：空气中氮气含量过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。吸入氮气浓度不太高时，患者初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚、步态不稳，称之为“氮酩酊”，可进入昏睡或昏迷状态。吸入高浓度，患者可迅速昏迷、因呼吸和心跳停止而死亡。潜水员深潜时，可发生氮的麻醉作用；若从高压环境下过快转入常压环境，体内会形成氮气气泡，压迫神经、血管或造成微血管阻塞，发生“减压病”。环境危害：无燃爆危险：本品不燃。氮气急救措施皮肤接触：没事（因空气中就含有约78%的氮）眼睛接触：没事（理由同上）吸入：（浓度较高时）迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。就医。氮气消防措施危险特性：若遇高热，容器内压增大，有开裂的危险。有害燃烧产物：氮气。灭火方法：本品不燃。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发。氮气泄漏应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。工艺先进电解池采用立式单液面双阴极。台州氮气柜规格尺寸

附脚轮及支架方便移动及定位。柳州定制氮气柜调试调整

    用变压吸附法分离空气可以得到富氧空气和，耗电量均小于。用变压吸附法分离空气具有能耗低、流程短、开停车时间短、自动控制、产品浓度可调等等优点，可望有较大的发展。膜法分离空气利用的是渗透原理，即氧气和氮气在非多孔高分子膜内的扩散速率不同。当氧气和氮气吸附在高分子膜表面时，由于膜两侧存在着浓度梯度，使气体扩散并通过高分子膜，接着在膜的另一侧解吸。因为氧气分子的体积小于氮气分子，因而氧气在高分子膜内的扩散速率大于氮气，这样，当空气通入膜的一侧时，在另一侧就可以得到富氧空气，同一侧得到氮气。用膜法分离空气可以连续得到氮气和富氧空气。目前的高分子膜对氧、氮分离的选择性系数只有，渗透系数也较小。分离得到的产品氮气浓度为95～99%，氧气浓度为30～40%。膜法分离空气一般是在常温和压力为～×106pa的条件下操作的。柳州定制氮气柜调试调整

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