梁溪区通用真空泵价目表

对真空镀膜设备而言，真空泵是 其获得真空环境不能缺少的一个组成部分,生产厂家每制造一台真空镀膜设备均搭配一种或多种真空泵。真空泵如何选型选用真空泵时，需要注意真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空泵要求1x10-5mmHg的真空度, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空泵对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 真空泵在光学薄膜的尺度上看，真空镀膜的均匀性已经相当好。梁溪区通用真空泵价目表

它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵，由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点，此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它的作用只只是增加进气口和排气口之间的压差，其余的则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。油扩散泵应用压强范围是10-1帕-10-7帕，它是利用气体的扩散现象来排气的，它具有结构简单，操作方便，抽速大（较高可以达到105升/秒）等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成，里面主要添加扩散泵油（日本的型号是D-704#），根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。梁溪区节能真空泵执行标准真空泵操作程序具体操作时请参照该设备说明书。

真空泵主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。常用于对半导体、光伏、电子、精密光学等行业的纳米级表面处理。一般通过电子发射高压电子轰击坩埚中的待镀靶材，使其在高真空下蒸发并沉积在被镀基片上以获得镀膜。 系统配置： *自动化控制器: e-Control PLC，是控制系统的重要硬件平台。 *人机界面硬件: TPC1503工业级15寸触摸式平板电脑，稳定可靠。 *人机界面软件: NETSCADA组态软件开发平台，提供真空泵的控制和监视。

真空泵主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且之后沉积在基片表面，经历成膜过程，之后形成薄膜。真空泵有三个泵的：机械泵，增压泵又叫罗茨泵，高真空泵。

定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。为确保真空泵工作正常，要经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新不锈钢泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常以成滴漏出为宜。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处注入规定的新油放置在干燥场所，妥善保管。真空泵需要开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。滨湖区安装真空泵价目

真空泵厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度。梁溪区通用真空泵价目表

真空泵使用步骤: 电控柜操作: 1. 开水泵、气源。 2. 开总电源。 3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子电源。 DEF-6B操作: 1. 总电源。 2. 同时开电子控制Ⅰ和电子控制Ⅱ电源：按电子控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。梁溪区通用真空泵价目表

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