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时间:2021年05月22日 来源:

霍尔离子源

霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。

霍尔离子源的特点是:

1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。

为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。

霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的Mark I 和 Mark II 离子源。适用的如国产的大部分离子源。

如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。如果是镀光学膜,则主要要求离子电流能级集中,离子电流均匀性好。故建议用Kaufman或RF离子源,有条件的可采用ECR(电子回旋)或ICP(感应耦合)离子源。另外,也要考虑到耗材,如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而离子源如ICP离子源可在反应气体中连续工作几百小时。 真空镀膜机采购,优先无锡光润!新款真空镀膜机供应商

真空镀膜机在应用中,它是会出现氧化的情况,那么具体情况是什么呢?下面真空镀膜机厂家分析氧化现象。


1.镀膜下片时手套上汗水粘到玻璃上,由于人出汗时,汗水中含有大量的硫化物,会与Low—E玻璃中的银发生反应,生成黑色的硫化银,从而形成氧化。我们经过实验,因汗水粘过的LoW-E玻璃可能在1h内会形成氧化。因此一方面保持手套干燥,另一方面汗水触摸过的Low—E玻璃要立即清洗,并尽可能地缩短等待中空生产时间。

2.生产时空气湿度太大,空气中含水量过高,尤其是雨季。在南方每年的5~10月份是Low—E玻璃易氧化的季节。针对这种情况,一方面在镀膜下片打包时要充入足够量的干燥剂,另一方面,要尽可能地缩短等待中空生产的时间。

3.中空玻璃处理不当。由于中空玻璃处理不当,如漏气、漏分子筛等等都可能会引起合好中空后的Low—E玻璃氧化,尤其是丁基胶不饱满和漏分子筛对Low—E玻璃都是致命威胁。因此,如何提高中空玻璃质量是避免Low—E玻璃后期批量氧化的一个关键因素。 上海品牌真空镀膜机定制真空镀膜机报价找哪家?

那么如何处理真空镀膜的灰尘呢?

1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。

2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。

3、真空镀膜一段时间后,真空室内壁必须要清洁处理。

4、真空镀膜清洗衬底材料,必须要做到严格合乎工艺要求。

5、真空镀膜适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。

6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等,要有专门的服装。



由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响,因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘,应该在使用中注意以上几点来尽量避免,除此也要注意经常清洗,避免灰尘越积越多。

高频离子源

利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离,一般用来产生低电荷态正离子,有时也从中引出负离子,作为负离子源使用。



在高频电场中,自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞,并使之电离。带电粒子倍增的结果,形成无极放电,产生大量等离子体。高频离子源的放电管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高频场可由管外螺线管线圈产生,也可由套在管外的环形电极产生。前者称为电感耦合,后者称为电容耦合高频振荡器频率为10 ~10 Hz,输出功率在数百瓦以上。



从高频离子源中引出离子可有两种方式。一种是在放电管顶端插入一根钨丝作为正极,在放电管尾端装一带孔负电极,并把该孔做成管形,从中引出离子流。另一种方式是把正极做成帽形,装在引出电极附近,而放电区则在它的另一侧。不管采用哪种引出方式,金属电极都要用石英或玻璃包起来,以减少离子在金属表面的复合。



在高频放电区域中加有恒定磁场时,由于共振现象可提高放电区域中的离子浓度。有时,还在引出区域加非均匀磁场来改善引出。 真空镀膜机哪家比较优惠?

真空镀膜机的辉光放电中,离子轰击阴极产生二次电子。在阴极电位降区的电场作用下,电子加速与气体分子碰撞,使气体分子电离并保持放电。由于电子在电场中的加速轨迹是直线的,碰撞电离率不高。气体压力通常在2~10pa条件下溅射沉积,当气压低于2pa时,辉光熄灭。然而,如果在垂直于电场的方向上施加磁场,则电子在正交电磁场中的运动轨迹是一条既垂直于电场又垂直于磁场的摆线。在实际磁控条件下,冷阴极发射的电子具有初始能量,阴极暗区的电场和磁场不均匀。因此,从阴极发射的电子轨迹不是严格的摆线运动,一般称为近似摆线运动。真空镀膜机认准无锡光润真空!上海推荐真空镀膜机定制

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磁控溅射镀膜是在真空中充入惰性气体,并在塑料基体和金属靶之间加上高压直流电,由辉光放电产生的电子激发惰性气体,产生等离子体,等离子体将金属靶材的原子击出,沉积在塑料基体上。由于溅射原子能量比蒸发原子能量高1~2个数量级,高能量的溅射原子沉积在基体时转换的能量多,甚至可发生部分注入现象,同时溅射成膜过程中,基体始终在等离子区中被清洗,因此溅射镀膜与塑料表面的附着力要比蒸发镀膜好,膜层致密、均匀,如配合适当的工件转动,可在复杂表面上获得较均匀的镀层离子镀膜是蒸发工艺与溅射技术的结合,它是在镀膜的同时采用荷能离子轰击工件表面和膜层,使得镀膜层和基体结合力好,不易脱落。由于金属原子的能量低于蒸镀时的能量,即使是耐热性较差的塑料,在其表面也可生成稳定性良好的金属薄膜。新款真空镀膜机供应商

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