吉林制造红外透镜结构设计

亚波长结构包括用作谐振光学天线的比光波长更小的表面结构的密集布置。光表面结构交互的谐振性质提供了操纵光学波振面的能力。根据另一实施例，激光源包括衬底、vcsel结构、以及多个亚波长结构。vcsel结构被布置在衬底的表面上，并且在衬底的表面上方延伸。多个亚波长结构被布置在vcsel结构的顶层。多个亚波长结构中的一个或多个亚波长结构包括芯材和放置在芯材的一个或多个表面上的壳材。注意，如根据本公开将明白的，亚波长结构可以结合本文中根据一些实施例提供的vcsel结构或者根据其他实施例的任何其他vcsel结构使用。vcsel阵列架构图1示出了根据本公开的实施例的用于创建物体104的3d图像的示例光投影仪系统102。物体104可以是放置在与光投影仪系统102相距给定距离处的任意尺寸或形状的物体。光投影仪系统102被设计为向物体104发射辐射106并接收反射辐射108，以生成物体104的3d图像或模型。将参考图2进一步详细论述光投影仪系统102的示例组件。发射的辐射106在物体104的一个或多个表面上形成光图案110。光图案110可以是网格(如图1所示)或者可以具有任何其他预定图案。来自光图案110的反射辐射108被用来确定横跨物体104的各个点的深度。菲涅尔透镜技术工厂直销；吉林制造红外透镜结构设计

d4)的多个vcsel的第四区域608。孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以彼此相差相同的数量。例如，孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以相差500nm、1μm、2μm、或3μm。在另一示例中，孔径宽度d1-d4可以是给定范围(例如，1μm到10μm)内的任意值。在所示出的具有不同孔径宽度的vcsel阵列的四个区域的示例中(产生四个不同的斑点图案)，总斑点噪声降低大约50％尽管图6示出了*四个区域，但是衬底302的表面上可包括分别具有给定孔径宽度的vcsel阵列的任意数目的区域。另外，每个区域可以具有任何形状或大小。在一些实施例中，任意区域可以部分或完全地与任何其他区域重叠。亚波长结构集成与几何光学相比，亚波长结构(sws)提供了在更小的尺度上实现几乎平坦的无相差光学的可能。sws可以由操纵光的波阵面、极化、或强度的亚波长散射器阵列构成。像大多数基于衍射的光学设备一样，sws通常被设计为比较好在一个波长或窄波长范围内操作。sws的一个示例包括电介质传输阵列，该电介质传输阵列提供偏振和相位的亚波长空间控制和高发射。这些设备基于制造在平面衬底上的具有不同几何形状的高折射率介电纳米谐振器(散射器)的亚波长阵列。具有各种几何形状的散射器向所发送的光赋予不同的相位。北京热红外透镜菲涅尔透镜玻璃包括哪些构件？

在一些实施例中，衬底302是玻璃衬底(例如，pyrex衬底或硼硅玻璃衬底)或蓝宝石衬底(al2o3)。根据实施例，横跨衬底302的表面的每个vcsel结构304彼此各不相同。每个vcsel结构304包括具有多个镜像层(例如，布拉格反射器)的层堆叠，这些镜像层将多个量子阱层夹在中间，以生成从每个vcsel结构304的顶部传导出来并且沿衬底302的表面的法线的激光辐射。每个vcsel304可以按顺序布置在衬底302的整个表面。在一个示例中，vcsel304被布置在2d阵列图案中，每个vcsel在横跨衬底302的表面的x方向和y方向上相隔相同的距离。也可以按照其他顺序模式布置vcsel304，或者可以将其被布置在伪随机图案中。尽管衬底302被示出为具有圆形，但这不是限制性的，并且衬底302可以具有任何形状和大小。在一些实施例中，衬底302是来自在x方向和y方向上具有毫米或厘米级的尺寸的较大衬底的冲模(die)。另外，在一些实施例中，从数百个vcsel到数百万个vcsel甚至更多的任意数目的vcsel304可以被布置在衬底302上。图4示出了根据实施例的具有***多个vcsel402和第二多个vcsel404的衬底302的侧视图。***多个vcsel402和第二多个vcsel404中的每个vcsel单独地从衬底302的表面向外延伸。

因此使用词语“顶”并不将该层限制到任何具体的空间或几何关系。本文描述的任意vcsel结构可以包括用于操控光输出的一个或多个元原子800。应该理解的是，为了清楚起见*示出了单个元原子，但是任意数目的元原子可以被图案化在顶层802上。尽管在本实施例中示出了圆柱形状，但是任意形状可以用于元原子800。元原子800可以具有基于来自vcsel的发射光的峰值波长的直径。例如，元原子800可以具有范围在λ/10到λ/5之间的总直径。类似地，元原子800的总厚度取决于来自vcsel的发射光的峰值波长。例如，元原子800可以具有大约λ/2的厚度。芯材804可以是具有相对较低的折射率但是高沉积速率的材料，因此提高了制造元原子800时的吞吐量。例如，芯材804可以是氮化硅(si3n4)，并且可以使用化学气相沉积(cvd)或物***相沉积(pvd)技术沉积。随后可以使用标准等离子体蚀刻工艺对所沉积的氮化硅层进行蚀刻，以形成每个元原子800的芯材804。壳材806可以是具有相对较高的折射率(或者至少比芯材804的折射率高)的材料。例如，诸如氧化钛(tio2)或硅之类的材料可被用于壳材806，并且可以通过使用原子层沉积(ald)技术来非常薄地沉积。ald允许壳材806以非常薄的厚度共形地覆盖芯材804的外表面上。菲涅尔透镜的作用是什么？

每个亚波长结构具有大约λ/2的厚度，其中，λ是该vcsel结构的峰值输出波长。示例30包括示例23至29中任一项的主题，还包括在衬底的表面上的多个vcsel结构，其中，多个vcsel结构中的每个vcsel结构包括多个亚波长结构。示例31包括示例23至30中任一项的主题，其中，多个亚波长结构包括具有基部和顶部的至少一个亚波长结构，其中，基部比顶部宽。示例32包括示例23至31中任一项的主题，其中，多个亚波长结构包括具有基部和顶部的至少一个亚波长结构，其中，基部比顶部窄。示例33是一种布置在光学设备上的亚波长结构。该亚波长结构包括芯材和在芯材的一个或多个表面上的壳材。芯材具有***折射率并且具有比光源的峰值输出波长小的尺寸。壳材具有大于***折射率的第二折射率。示例34包括示例33的主题，其中，芯材是圆柱状结构。示例35包括示例34的主题，其中，芯材和壳材具有在λ/10到λ/5之间的直径，其中，λ是光源的峰值输出波长。示例36包括示例33至35中任一项的主题，其中，壳材具有小于5nm的厚度。示例37包括示例33至36中任一项的主题，其中，壳材包括氧化钛，并且芯材包括氮化硅。示例38包括示例33至37中任一项的主题，其中，壳材*在芯材的侧壁上。菲涅尔透镜生产厂家订制价格。浙江微型红外透镜结构设计

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一个或多个***vcsel和一个或多个第二vcsel被配置为发射红外辐射。示例14包括示例10至13中任一项的主题，其中，一个或多个***vcsel中的每个***vcsel被配置为发射具有两个或更多个横向模式的辐射。示例15包括示例14的主题，其中，一个或多个第二vcsel中的每个第二vcsel被配置为发射具有单个横向模式的辐射。示例16包括示例10至15中任一项的主题，其中，激光源还包括在衬底的表面上的一个或多个第三垂直腔面发射激光器(vcsel)结构，每个第三vcsel结构具有不同于***孔径宽度和第二孔径宽度的第三孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。示例17包括一种降低来自激光源的斑点噪声的方法。该方法包括：从布置在衬底上的一个或多个***vcsel结构发射具有***波长的辐射；以及从布置在衬底上的一个或多个第二vcsel结构发射具有第二波长的辐射，其中，第二波长不同于***波长。具有***波长的辐射包括***数目的横向模式，具有第二波长的辐射包括第二数目的横向模式，第二数目的横向模式不同于***数目的横向模式。示例18包括示例17的主题，其中，发射具有***波长的辐射包括发射红外辐射，并且其中，发射具有第二波长的辐射包括发射红外辐射。示例19包括示例17或18的主题，其中。吉林制造红外透镜结构设计

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