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之类的其他材料包括使得它们更适用于操纵光学波振面的更高的折射率，但是这种材料对以5:1至10:1之间的更高纵横比进行制造提出了挑战。下面的表2提供了不同材料的概况，包括它们的折射率、比较大效率的厚度、比较大散射效率、以及可见范围中的光吸收。比较大散射效率是通过使用周期性透射sws作为将垂直入射的平面波偏转到特定衍射级的模型系统计算得出的。从表2可以看出，诸如硅和锗之类的材料具有极好的散射效率和高反射率。但是，这些材料还会由于它们的小带隙而吸收可见范围中的光(并且还将部分地吸收近红外波长)。诸如氧化硅和氧化铝之类的材料在可见范围中几乎是透明的，但是具有较低的散射效率，因此限制了它们作为sws材料候选的有用性。诸如氮化硅和氧化钛之类的材料提供了散射效率和低光吸收率的良好混合。根据实施例，在实现对于**造成本至关重要的高制造吞吐量的同时，制造在可见和/或红外范围中将高光约束和低光吸收结合在一起的新型sws设计(这里称为“元原子(metaatom)”)。图8示出了根据实施例的具有圆柱形状的示例元原子800，其中，芯材804被薄壳材806围绕。元原子800被制造在vcsel结构的顶层802上。顶层802可以是vcsel结构的发出光的任意层。平面菲涅尔透镜材料模板有哪些？重庆热红外透镜设计

并且可以被用来重建物体104的3d表示。发射的辐射106和接收的辐射108可以是具有在大约400nm到大约700nm的范围中的波长的可见光。在另一示例中，发射的辐射106和接收的辐射108包括具有在大约700nm到大约1400nm的范围中的波长的近红外辐射。在一个示例中，发射的辐射106和接收的辐射108均包括在大约935nm到大约945nm范围中的波长。图2示出了根据实施例的光投影仪系统102的各种组件。光投影仪系统102包括光源202、透镜204、检测器206、深度确定电路208、源驱动器电路210、以及处理器212。光源202可以被设计为生成辐射106并向物体发射辐射106。光源202可以是用于生成辐射106的包括一个或多个激光二极管或激光腔的激光源。根据实施例，激光源202包括用于生成辐射106的多个vcsel。多个vcsel可以被布置在诸如硅或其他半导体衬底之类的衬底上，如将参考图3更详细地描述的。透镜204可以表示用于收集接收辐射108并且向检测器206引导接收的辐射的任意数目的透镜元件，如根据本公开将明白的。检测器206接收辐射108，并且将接收的辐射转换为发送给深度确定电路208的电信号。检测器206可以是电荷耦合装置(ccd)或者可以使用互补金属氧化物半导体(cmos)阵列来收集辐射。河北红外透镜定做价菲涅尔透镜生产企业品牌排行榜。

用于降低来自激光源的斑点噪声的方法1100开始于操作1102，在操作1102从***多个vcsel结构发射辐射。辐射可以包括可见光或红外辐射。辐射可以具有大约935nm到大约945nm之间的峰值波长。根据实施例，***多个vcsel结构中的每个vcsel结构具有相同的孔径宽度，使得从***多个vcsel结构发射的辐射在对物体进行照射时产生***斑点图案。从***多个vcsel结构发射的辐射包括部分地取决于孔径宽度的***数目的横向模式。接着，在操作1104，从第二多个vcsel结构发射辐射。第二多个vcsel结构可以被布置在与***多个vcsel结构相同的衬底上。辐射可以包括可见光或红外辐射。辐射可以具有大约935nm到大约945nm之间的峰值波长。根据实施例，第二多个vcsel结构中的每个vcsel结构具有不同于***多个vcsel结构的孔径宽度的相同孔径宽度，使得从第二多个vcsel结构发射的辐射在对物体进行照射时产生第二斑点图案。从第二多个vcsel结构发射的辐射包括部分地取决于孔径宽度第二数目的横向模式。第二数目的横向模式不同于***数目的横向模式。例如，从***多个vcsel结构发射的辐射包括两个或更多个横向模式，而从具有较小孔径宽度的第二多个vcsel结构发射的辐射*包括单个横向模式。

一个或多个***vcsel和一个或多个第二vcsel被配置为发射红外辐射。示例14包括示例10至13中任一项的主题，其中，一个或多个***vcsel中的每个***vcsel被配置为发射具有两个或更多个横向模式的辐射。示例15包括示例14的主题，其中，一个或多个第二vcsel中的每个第二vcsel被配置为发射具有单个横向模式的辐射。示例16包括示例10至15中任一项的主题，其中，激光源还包括在衬底的表面上的一个或多个第三垂直腔面发射激光器(vcsel)结构，每个第三vcsel结构具有不同于***孔径宽度和第二孔径宽度的第三孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。示例17包括一种降低来自激光源的斑点噪声的方法。该方法包括：从布置在衬底上的一个或多个***vcsel结构发射具有***波长的辐射；以及从布置在衬底上的一个或多个第二vcsel结构发射具有第二波长的辐射，其中，第二波长不同于***波长。具有***波长的辐射包括***数目的横向模式，具有第二波长的辐射包括第二数目的横向模式，第二数目的横向模式不同于***数目的横向模式。示例18包括示例17的主题，其中，发射具有***波长的辐射包括发射红外辐射，并且其中，发射具有第二波长的辐射包括发射红外辐射。示例19包括示例17或18的主题，其中。菲涅尔透镜聚光技术规范。

壳材806可以具有小于10nm、小于5nm、小于1nm的厚度或单层原子。图9a至9c示出了根据一些实施例的图案化在vcsel结构的顶层802上的元原子的不同示例。图9a示出了***元结构902，其中，壳材806围绕用于每个元原子的芯材804，但是不覆盖顶层802在每个元原子之间的区域。在蚀刻工艺期间，使用例如光刻胶或硬掩模来保护壳材806的围绕芯材804的部分，以移除壳材806在顶层802的表面上的暴露部分。图9b示出了第二元结构904，其中，壳材906共形地覆盖包括芯材804的所有表面和顶层802的表面。图9c示出了第三元结构906，其中，壳材806*覆盖芯材804的一个或多个侧壁。在沉积壳材806后，可以执行包层各向异性干法蚀刻工艺，以移除壳材806的所有水平平面部分，*留下芯材804的侧壁上的那些部分。图10示出了根据实施例的包括不止一种类型的元原子的元结构1000(这里称为“元分子(metamolecule)”)的另一示例。根据实施例，***元原子1002包括具有基部1006和顶部1008的芯材。基部1006可以比顶部1008更宽或更窄。第二元原子1004包括芯材1010，并且***元原子1002和第二元原子1004二者被壳材1012环绕。菲涅尔透镜型号价格咨询。吉林热红外透镜

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第二波长比***波长短，第二数目的横向模式比***数目的横向模式少。示例20包括示例19中任一项的主题，其中，第二数目的横向模式*包括单个横向模式。示例21包括示例17至20中任一项的主题，进一步包括将斑点噪声降低大约50％。示例22包括示例17至21中任一项的主题，进一步包括从布置在衬底上的一个或多个第三vcsel结构发射具有第三波长的辐射，第三波长不同于***波长和第二波长。示例23是一种激光源。该激光源包括衬底、vcsel结构、以及多个亚波长结构。vcsel结构在衬底的表面上并且在衬底的表面上延伸。多个亚波长结构在vcsel结构的顶层上。多个亚波长结构中的一个或多个亚波长结构包括芯材和在该芯材的一个或多个表面上的壳材。示例24包括示例23的主题，其中，多个亚波长结构包括圆柱状结构。示例25包括示例24的主题，其中，每个亚波长结构具有λ/10到λ/5之间的直径，其中，λ是该vcsel结构的峰值输出波长。示例26包括示例23至25中任一项的主题，其中，壳材具有比芯材高的折射率。示例27包括示例26的主题，其中，壳材包括氧化钛，并且芯材包括氮化硅。示例28包括示例23至27中任一项的主题，其中，壳材*在芯材的侧壁上。示例29包括示例23至28中任一项的主题，其中。重庆热红外透镜设计

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