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时间:2023年05月21日 来源:

图3示出了根据实施例的光源202或者光源202的至少一部分的自顶向下的视图。光源202包括衬底302,该衬底具有布置在衬底302的表面上的多个vcsel结构304。在一些实施例中,衬底302可以是:包括第iv族半导体材料(例如,si、ge、sige)、第iii-v族半导体材料(例如,gaas、gaassb、gaasin)、和/或根据本公开将明白的任何一种或多种其他适当材料的大块衬底;绝缘体上的x(xoi)结构,其中,x是前述材料(例如,第iv和/或iii-v族半导体材料)之一,绝缘体材料是氧化物材料或介电材料或者一些其他电绝缘材料,从而xoi结构包括两个半导体层之间的电绝缘材料层;或者一些其他适当的多层结构,其中,顶层包括前述半导体材料(例如,第iv和/或iii-v族半导体材料)之一。这里使用的“第iv族半导体材料”(或“第iv族材料”或统称“iv”)在包括至少一种第iv族元素(例如,硅、锗、碳、锡),例如,硅(si)、锗(ge)、硅锗(sige)等。这里使用的“第iii-v族半导体材料”(或“第iii-v族材料”或统称“ii-v”)包括至少一种第iii族元素(例如,铝、镓、铟)和至少一种第v族元素(例如,氮、磷、砷、锑、铋),例如,砷化镓(gaas)、砷化镓铟(ingaas)、砷化铝铟(inalas)、磷化镓(gap)、锑化镓(gasb)、磷化铟。菲涅尔透镜放大镜价格实惠。辽宁红外透镜材料

这些对本实用新型权利要求进行改进和等同替换后的技术方案,均落入本实用新型的保护范围。本实用新型的多功能二维声学超材料透镜是通过电机控制c型单元结构,进而控制折射率变化的方法实现的。如图1所示,本实用新型提供的声学超材料透镜,包括基底材料层以及等间隔镶嵌在基底材料层上的若干c型单元超材料阵列,c型单元超材料阵列均由若干个c型单元结构周期性排列而成,其周期尺寸为a,c型单元结构为可旋转单元结构。为了实现在同一c型单元结构上获得不同的折射率,本实用新型设计了一种c型单元结构如图2所示,图2(a)为c型单元结构俯视图,其中外半径为r,圆环宽度为w,开口角度为θ,旋转角度为图2(b)为c型单元结构安装示意图,在基底材料层上开设有与c型单元结构匹配的圆环形凹槽,c型单元结构一端镶嵌在凹槽中,可在凹槽中做旋转运动,且可以由电机控制沿逆时针方向(本实施例中以逆时针方向旋转为例,其也可以顺时针旋转)精确地旋转角度c型单元结构的材料设置为光敏树脂,其密度为1388kg/m3,声速为716m/s。根据1999年pendry提出的等效媒质理论,当相邻两个c型单元结构间距远小于波长时,即小于十分之一波长时,就可以把c型单元结构当成等效均匀媒质。河北微型红外透镜设计菲涅尔透镜生产厂家订制价格。

并且可以在z方向上具有大约500μm到2mm之间的任意厚度。于在***多个vcsel402和第二多个vcsel404内可以存在任意数目的vcsel结构。应该注意的是,所示出的尺寸不是按比例画出的,*出于清楚的目的而提供的。例如,衬底302被示出为具有类似于vcsel402或404中的每个vcsel的厚度的厚度(z轴方向上的尺寸)。但是,衬底302可以比其他层更厚,例如,具有50μm到950μm的厚度或者任何其他适当厚度,如根据本公开将明白的。根据实施例,***多个vcsel402中的每个vcsel的孔径宽度(d1,类似于直径)不同于第二多个vcsel404中的每个vcsel的孔径宽度(d2)。通过改变孔径宽度,横向激光模式的数目也随着主导的横向激光模式的峰值波长一起改变。换言之,具有相同孔径宽度的每组vcsel产生它们自己的斑点图案,因为斑点图案取决于照明光的波长。在图4所示的示例中,***多个vcsel402将产生***斑点图案,而第二多个vcsel404将产生不同的第二斑点图案。斑点减少基于对检测器的空间和时间分辨率内的n个**斑点配置进行平均。例如,在所有n个**斑点配置具有相等的平均强度的情况下,斑点噪声被减少因子由于斑点图案取决于照明光的波长,所以在由该表面创建的平均相对相移≥2π的情况下。

面部识别、从图像的特征提取等)、以及改善机器人及其环境之间的交互的机器人学在内的很多领域有用。但是,仍然有很多与sli相关联的未解决的问题。技术实现要素:本申请一方面提供了一种激光源。该激光源包括:衬底;一个或多个***垂直腔面发射激光器(vcsel)结构,一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上,其中每个***vcsel结构具有***孔径宽度,并且每个***vcsel结构单独地在衬底的表面上方延伸;以及一个或多个第二vcsel结构,一个或多个第二vcsel结构在衬底的表面上,其中每个第二vcsel结构具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度,并且每个第二vcsel结构单独地在衬底的表面上方延伸。本申请另一方面提供了一种光投影仪系统。该光投影仪系统包括:激光源,被配置为生成向物体发送的辐射,以及图像传感器,被配置为接收从物体反射的辐射。该激光源包括:衬底,一个或多个***vcsel结构,一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上,其中每个***vcsel结构具有***孔径宽度,并且每个***vcsel结构单独地在衬底的表面上方延伸,以及一个或多个第二vcsel结构,一个或多个第二vcsel结构在衬底的表面上,其中每个第二vcsel结构具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度。菲涅尔透镜历史检测技术。

壳材806可以具有小于10nm、小于5nm、小于1nm的厚度或单层原子。图9a至9c示出了根据一些实施例的图案化在vcsel结构的顶层802上的元原子的不同示例。图9a示出了***元结构902,其中,壳材806围绕用于每个元原子的芯材804,但是不覆盖顶层802在每个元原子之间的区域。在蚀刻工艺期间,使用例如光刻胶或硬掩模来保护壳材806的围绕芯材804的部分,以移除壳材806在顶层802的表面上的暴露部分。图9b示出了第二元结构904,其中,壳材906共形地覆盖包括芯材804的所有表面和顶层802的表面。图9c示出了第三元结构906,其中,壳材806*覆盖芯材804的一个或多个侧壁。在沉积壳材806后,可以执行包层各向异性干法蚀刻工艺,以移除壳材806的所有水平平面部分,*留下芯材804的侧壁上的那些部分。图10示出了根据实施例的包括不止一种类型的元原子的元结构1000(这里称为“元分子(metamolecule)”)的另一示例。根据实施例,***元原子1002包括具有基部1006和顶部1008的芯材。基部1006可以比顶部1008更宽或更窄。第二元原子1004包括芯材1010,并且***元原子1002和第二元原子1004二者被壳材1012环绕。平面菲涅尔透镜材料模板有哪些?北京红外透镜价位

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每个亚波长结构具有大约λ/2的厚度,其中,λ是该vcsel结构的峰值输出波长。示例30包括示例23至29中任一项的主题,还包括在衬底的表面上的多个vcsel结构,其中,多个vcsel结构中的每个vcsel结构包括多个亚波长结构。示例31包括示例23至30中任一项的主题,其中,多个亚波长结构包括具有基部和顶部的至少一个亚波长结构,其中,基部比顶部宽。示例32包括示例23至31中任一项的主题,其中,多个亚波长结构包括具有基部和顶部的至少一个亚波长结构,其中,基部比顶部窄。示例33是一种布置在光学设备上的亚波长结构。该亚波长结构包括芯材和在芯材的一个或多个表面上的壳材。芯材具有***折射率并且具有比光源的峰值输出波长小的尺寸。壳材具有大于***折射率的第二折射率。示例34包括示例33的主题,其中,芯材是圆柱状结构。示例35包括示例34的主题,其中,芯材和壳材具有在λ/10到λ/5之间的直径,其中,λ是光源的峰值输出波长。示例36包括示例33至35中任一项的主题,其中,壳材具有小于5nm的厚度。示例37包括示例33至36中任一项的主题,其中,壳材包括氧化钛,并且芯材包括氮化硅。示例38包括示例33至37中任一项的主题,其中,壳材*在芯材的侧壁上。辽宁红外透镜材料

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