湖北微电子纳米力学测试技术

AFAM 的基本原理是利用探针与样品的接触振动来对材料纳米尺度的弹性性能进行成像或测量。AFAM 于20 世纪90 年代中期由德国萨尔布吕肯无损检测研究所的Rabe 博士(女) 首先提出，较初为单点测量模式。2000 年前后，她们采用逐点扫频的方式实现了模量成像功能，但是成像的速度很慢，一幅128×128 像素的图像需要大约30min，导致图像的热漂移比较严重。2005 年，美国国家标准局的Hurley 博士(女) 采用DSP 电路控制扫频和探针的移动，将成像速度提高了4~5倍(一幅256×256 像素的图像需要大约25min)。测试内容丰富多样，包括硬度、弹性模量、摩擦系数等，助力材料研究。湖北微电子纳米力学测试技术

2005 年，中国科学院上海硅酸盐研究所的曾华荣研究员在国内率先单独开发出定频成像模式的AFAM，但不能测量模量。随后，同济大学、北京工业大学等单位也对这种成像模式进行了研究。2011 年初，我们研究组将双频共振追踪技术用于AFAM，实现了快速的纳米模量成像(一幅256×256 像素的图像只需1~2min)，并对其准确度和灵敏度进行了系统研究。较近几年，AFAM 引起了越来越多国内外学者的关注。然而，相对于其他AFM 模式，AFAM 的测量原理涉及梁振动力学和接触力学，初学者不容易掌握。广东微电子纳米力学测试应用利用纳米力学测试，可以评估纳米材料的可靠性和耐久性。

研究液相环境下的流体载荷对探针振动产生的影响可以将AFAM 定量化测试应用范围扩展至液相环境。液相环境下增加的流体质量载荷和流体阻尼使探针振动的共振频率和品质因子都较大程度上减小。Parlak 等采用简单的解析模型考虑流体质量载荷和流体阻尼效应，可以在液相环境下从探针的接触共振频率导出针尖样品的接触刚度值。Tung 等通过严格的理论推导，提出通过重构流体动力学函数的方法，将流体惯性载荷效应进行分离。此方法不需要预先知道探针的几何尺寸及材料特性，也不需要了解周围流体的力学性能。

微纳米纤维素，微纳米纤维素材料在农业、生物医用材料等领域的普遍应用。微纳米纤维素水凝胶表现出各向异性的力学性能和优良溶胀性能,可应用于生物医学和机器人等领域。其在纳米尺度上表现出良好的形貌特征和优异的力学性能。抗细菌实验表明，该复合超细水凝胶纤维可有效杀灭阳性和阴性细菌菌株，同时对正常哺乳动物细 胞保持友好性。这种超细水凝胶微纤维可有效解决微生物威胁人类健康的问题。这种灵活的合成核壳复合超细水凝胶微纤维方法，具有重要的生物医学应用前景，同时该方法也可应用于材料科学、组织工程和再生医学等领域。纳米力学测试可以帮助研究人员了解纳米材料的力学响应机制，从而推动纳米科学的发展。

谱学技术微纳米材料的化学成分分析主要依赖于各种谱学技术,包括紫外-可见光谱红外光谱、x射线荧光光谱、拉曼光谱、俄歇电子能谱、x射线光电子能谱等。另有一类谱仪是基于材料受激发的发射谱,是专为研究品体缺陷附近的原子排列状态而设计的，如核磁共振仪、电子自旋共振谱仪、穆斯堡尔谱仪、正电子湮灭等等。热分析技术，纳米材料的热分析主要是指差热分析、示差扫描量热法以及热重分析。三种方法常常相互结合,并与其他方法结合用于研究微纳米材料或纳米粒子的一些特 征:(1)表面成键或非成键有机基团或其他物质的存在与否、含量多少、热失重温度等(2)表面吸附能力的强弱与粒径的关系(3)升温过程中粒径变化(4)升温过程中的相转变情况及晶化过程。纳米力学测试可应用于纳米材料、生物材料、涂层等领域的研究和开发。福建空心纳米力学测试原理

纳米力学测试在生物医学领域，助力研究细胞力学行为，揭示疾病发生机制。湖北微电子纳米力学测试技术

纳米力学（Nanomechanics）是研究纳米范围物理系统的基本力学（弹性，热和动力过程）的一个分支。纳米力学为纳米技术提供科学基础。作为基础科学，纳米力学以经验原理（基本观察）为基础，包括：一般力学原理和物体变小而出现的一些特别原理。纳米力学（Nanomechanics）是研究纳米范围物理系统基本力学性质（弹性，热和动力过程）的纳米科学的一个分支。纳米力学为纳米技术提供了科学基础。纳米力学是经典力学，固态物理，统计力学，材料科学和量子化学等的交叉学科。湖北微电子纳米力学测试技术