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如图3所示，所述温控装置包括温控管40，所述温控管40连接位于外腔体10外的恒温控制器41。温控管40的引入口及引出口与外部的恒温控制器41连接，恒温控制器41可用于恒温制冷也可用于恒温加热，保证内反应腔20中的温度可以持续恒定，从而使工艺反应区域内的工艺环境温度更稳定。经过在真空镀膜设备上的实际应用验证，该真空腔体对于工艺成膜质量及镀膜均匀性均有十分有效的改善和提升。其中，温控管40包括加热管和/或冷却管。一般情况下，在工艺反应过程中，通常需要升温以完成相关的工艺反应，因此，温控管40包括必要的加热管，而冷却管可以根据实际的工艺需要选选择性地添加即可。例如，若在工艺反应过程中，需要进行快速降温，此时可以设置冷却管。所述加热管非限制性地例如可以为电加热管、水加热管或油加热管。冷却管例如可以为水冷却管或油冷却管。为了增加温控效果，第二侧壁22和第二底板21处均设有温控管40。其中，所述温控管40缠绕于所述第二侧壁22的外部，且所述温控管40铺设于所述第二底板21的底部。除上述缠绕方式外，还可以用埋设的方式铺设加热管，例如，所述第二底板21内和所述第二侧壁22内均设有用于穿设温控管40的通道，所述温控管40埋设于所述通道内。品质汽车部件真空镀膜机，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！浙江头盔真空镀膜机推荐厂家

以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；所述内反应腔的侧壁上设有自动门，所述自动门连接自动门控制器，工件自所述外腔体经所述自动门进入所述内反应腔中。进一步地，所述外腔体包括宝来利真空底板和沿所述宝来利真空底板周向设置的宝来利真空侧壁；所述内反应腔包括第二底板和沿所述第二底板周向设置的第二侧壁；所述宝来利真空底板与所述第二底板相互分离设置，所述宝来利真空侧壁与所述第二侧壁相互分离设置；所述宝来利真空侧壁与盖设于所述宝来利真空侧壁上的密封盖板密闭连接，所述第二侧壁与所述密封盖板相互分离设置。进一步地，所述自动门设置于所述第二侧壁上，所述外腔体内设有传送装置，所述工件自所述传送装置经所述自动门传递至所述内反应腔中。进一步地，所述第二底板和/或所述第二侧壁上设有用于对所述内反应腔进行控温的温控装置。进一步地，所述温控装置包括温控管，所述温控管连接位于外腔体外的恒温控制器。进一步地，所述温控管包括加热管和/或冷却管。进一步地，所述加热管包括电加热管、水加热管或油加热管；所述冷却管包括水冷却管或油冷却管。进一步地，所述温控管缠绕于所述第二侧壁的外部，且所述温控管铺设于所述第二底板的底部。浙江导电膜真空镀膜机供应商宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，钟表镀膜，有需要可以咨询！

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种磁控溅射真空镀膜机。背景技术：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且**终沉积在基片表面，经历成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)，**终形成薄膜。目前市场上类似的磁控溅射真空镀膜机在长时间使用后，会在镀膜机腔体的内壁粘黏有靶材和杂质，通常需要装卸内部的转动架，用人工的方式对腔体内壁进行定时维护，手动清理擦拭，费时费力，清理效率低，为了解决上述问题，我们提出一种磁控溅射真空镀膜机。技术实现要素：本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种磁控溅射真空镀膜机，包括控制箱，所述控制箱的上表面后侧固定安装后罐体，所述后罐体的前表面铰接有前罐体，所述后罐体的前表面上侧固定安装有驱动装置，所述驱动装置，所述驱动装置的下侧安装有清理装置，所述清理装置包括u形架。

虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式*包含一个**的技术方案，说明书的这种叙述方式**是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。蒸发镀膜机离子镀膜机车灯镀膜机宝来利真空BLL多弧离子PVD镀膜设备CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线蒸发镀膜机离子镀膜机车灯镀膜机汽车灯具，高等灯具反光碗的镀膜，通过蒸镀，硅油保护膜一次性完成，具有宝来利真空的反射率和耐腐蚀性能。丹阳市宝来利真空机电有限公司多弧离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术，将各种气体宝来利真空BLL系列磁控溅射镀膜流水线可适用于幕墙玻璃，铝镜，反光镜生产。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，板材镀膜，有需要可以咨询！

通过上述说明可知，温控管40的设置形式多种多样，本实用新型并不限制温控管40的具体设置形式，例如可以按照上述温控管40缠绕并固定的形式，也可以按照在第二侧壁22或第二底板21上安装水套或设通道的形式，只要求保证使用时温控管40可耐压耐温不出现渗漏或漏电现象即可。另一方面，本实用新型一种实施方式的真空镀膜设备，包括机械模块部件、工艺模块部件和实施例一的真空反应腔室，所述工艺模块部件位于所述内反应腔20内，部分所述机械模块部件位于所述外腔体10内。该真空镀膜设备包括本实用新型的真空反应腔室，因此，该真空镀膜设备具有上述真空反应腔室的全部***，在此不再赘述。其中，设置于外腔体10内的部分机械模块部件为与工艺反应无关的一些传动机械部件、升降机械部件等等，另一部与工艺反应相关的机械部件，如镀膜靶材的转动部件等等则设置于内反应腔20中。具体的，可以根据真空镀膜设备的具体结构而定。该真空镀膜设备中，由于真空反应腔室设计成内外腔结构，同时，通过设置温控装置，可以有效地保证工艺环境封闭、恒温、外部污染源少，为工艺反应提供了更为稳定、纯净的环境。通过实际实验证明，反应区域温度环境更均匀。品质真空镀膜机膜层耐磨损，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！浙江磁控溅射真空镀膜机设备厂家

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