江西晶圆等离子清洗机技术指导

等离子清洗机的工作原理基于等离子体技术，即在真空室内通过放电产生等离子体，利用等离子体中的高能粒子和自由基等活性物质对样品表面进行清洗和改性。等离子体是由气体分子在高能电场下电离而形成的一种带电粒子云体系，包含了大量的自由基、离子、电子等活性物质。当样品置于等离子体中时，这些活性物质会与样品表面发生反应，从而清理表面污垢和有机物，并在表面形成一层新的化学官能团，实现表面改性。相比传统的化学清洗方法，等离子清洗机具有干式清洗、无需化学溶剂、绿色环保、温度低避免热损伤等优势，能够在不损伤样品表面的前提下，实现高效、彻底的清洗和改性。等离子设备清洗机是一种新型的清洗机，具有清洁效果好、清洗时间短、使用方便等特点。江西晶圆等离子清洗机技术指导

光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。河北大型等离子清洗机等离子清洗设备采用等离子技术，提供多种材料的表面处理解决方案。

等离子清洗机在技术上不断推陈出新，以满足日益增长的市场需求。现代等离子清洗机普遍采用高频电源驱动技术，能够提供更稳定、更高效的等离子体产生能力，提高清洗效率和稳定性。同时，智能控制系统的引入使得设备能够自动监测清洗过程中的各项参数，并根据实时数据进行调节和优化，降低了人工成本和操作难度。此外，新型等离子产生技术的出现，如微波等离子清洗技术、射频等离子清洗技术等，进一步提高了等离子体的产生效率和稳定性，拓宽了等离子清洗机的应用范围。在绿色环保和可持续发展理念的推动下，等离子清洗机在设计和制造过程中更加注重环保性能，采用低能耗、低排放的设计理念，符合绿色生产和可持续发展的要求。

等离子体技术的特点是不分材料的几何形状和类型，均可进行PlaSMA等离子处理，对金属、半导体、氧化物、PET纤维、PDMS、PTFE、ITO/FTO导电玻璃、硅片和大多数高分子材料，如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金属氧化物粉末、聚乙二醇粉末、碳黑粉末、碳纳米管粉末、硼粉、铝粉、荧光粉等都能很好地处理，可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、蚀刻。选择适合的等离子清洗机能保证材料表面不被损伤，也能提升材料物理和化学性能。等离子表面处理机常用的气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。

片式真空等离子清洗机针对半导体行业，DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等，能够大幅提高其表面润湿性，保证后续工艺质量，从而提高封装工艺的可靠性。设备优势：1.一体式电极板结构设计，等离子体密度高，均匀性好，处理效果佳2.双工位处理平台，四轨道同时上料，有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸，可自动调节宽度，提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制，一键式操作，自动化程度高。行业应用：1.金属键合前处理：去除金属焊盘上的有机污染物，提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业：点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度，减少气泡，提高发光率3.PCB/FPC行业：金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜，去除静电及有机污染物等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。重庆大气等离子清洗机量大从优

使用大腔体真空等离子可高效、均匀进行表面活化处理，提高润湿性，从而提高粘接强度。江西晶圆等离子清洗机技术指导

等离子清洗机，作为现面处理技术中的佼佼者，其基本原理基于等离子体物理学。等离子体，作为物质的第四态，由高度电离的气体组成，其中包含了大量的电子、离子、自由基及中性粒子等活性成分。在等离子清洗机中，通过特定的放电方式（如射频放电、微波放电或直流放电等），将工作气体（如氩气、氧气、氮气或混合气体）激发成等离子体状态。这些高能活性粒子在电场作用下，加速撞击待处理物体的表面，与表面污染物发生物理化学反应，如剥离、氧化、还原、刻蚀等，从而实现表面清洁与改性的目的。等离子清洗机因其非接触式、无化学残留、环境友好、清洗效果明显且可处理复杂形状工件等优点，被广泛应用于半导体制造、精密机械、航空航天、生物医药等多个领域，成为现代工业中不可或缺的表面处理设备。江西晶圆等离子清洗机技术指导