上海实验室净化工程标准

时间:2024年03月06日 来源:

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    、恒温恒湿实验室总体设计规划要点1.温湿度控制范围2.温湿度控制精度3.洁净度要求4.照度要求5.设备的热湿量范围6.空调送回风方式7.空压之平衡措施8.引入新风之必要性9.系统排气的必要性10.保温隔热的措施11.设施与动力之配置12.静电、振动及噪音13.设备空间与空调间14.进出通道及更衣缓冲区之安排15.足够维护保养空间16.室内净高与楼板载重17.公害、污染与防灾18.安装及运转成本之衡量19.美观性要求20.安装成本/工期控制21.运转成本22.维护性&弹性等因数三、恒温恒湿实验室运行特点•恒温恒湿实验室,采用直接蒸发式的恒温恒湿空调系统,具有系统简单、便于调节、操作管理方便、节能等优点。在工程设计中,要根据实验室的温湿度精度要求合理选择系统,尽可能房间的负荷计算详细并选取匹配的恒温恒湿机组。•为了满足室内恒温恒湿精度的要求,恒温恒湿空调房间的换气次数大,根据经验,±2℃的恒温室,换气次数约10~15次/h;±1℃的恒温室,换气次数约15~20次/h;±℃的恒温室,换气次数约>20次/h;±℃的恒温室,换气次数约>30次/h;•气流组织设计也是影响恒温室精度的主要因素之一,在高精度的恒温恒湿室内设计气流组织应考虑一下原则:合理的气流组织流程。滁州食品净化工程方案洁净室的送风方式有多种,如层流送风、乱流送风等,应根据实际情况选择合适的送风方式。

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    MixedType)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。。1)洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。品、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

    AMC)作为IC工厂所关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界IC技术发展迅速,IC芯片日益微型化。AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响成品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净工程设计与施工建设的主流趋势。目前,国内的洁净工程企业中已经开始从事此方向的研究,在该领域比较的企业有亚翔集成,在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的前列,而中国电子工程设计院则在防微震方面技术。在洁净室内工作时,应避免大声喧哗和剧烈动作,以减少尘埃的扬起。

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   其防烟楼梯间、前室、共用前室、合用前室(除共用前室与消防电梯前室合用外)及消防电梯前室应采用自然通风系统;当不能设置自然通风系统时,应采用机械加压送风系统。防烟系统的选择,尚应符合下列规定:1当前室或合用前室满足下列条件之一时,楼梯间可不设置防烟系统:1)采用全敞开的阳台或凹廊;2)设有两个及以上不同朝向的可开启外窗,且前室两个外窗面积分别不小于2.0m2,合用前室两个外窗面积分别不小于3.0m2。2当前室、共用前室及合用前室的机械加压送风口设置在前室的顶部或正对前室入口的墙面时空气淋室是净化工程中常见的设备之一,用于去除人员或物品表面的尘埃。药厂净化工程造价

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