舟山净化工程标准

    百级洁净室(100级净化工程设计方案)百级洁净室空气洁净度等级（aircleanlinessclass）：洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子更大浓度限值进行划分的等级标准。换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次；100≥500次.压差：主车间对相邻房间≥5Pa测试一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试（一）空态、静态测试空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。（二）动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。二、空态、静态测试（一）测试前的准备1.应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。2.采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处。洁净室的洁净度水平直接影响到产品的质量和可靠性，因此应给予足够的重视。舟山净化工程标准

    所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，这也是为了节能而出现的一种动向。防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。在洁净室内静电导致的事故有以下几方面；1．静电电引起的静电电击，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P-MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏；5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨。上海手术室净化工程造价在净化工程中，应尽量减少洁净室内的设备数量，以减少尘埃的产生和积聚。

    车间净化工程编辑锁定讨论亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。中文名车间净化工程又名无尘室作用除尘应用工厂洁净目录1工程结束2洁净室控管3车间工程设计4洁净度等级车间净化工程工程结束编辑亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。车间净化工程洁净室控管编辑(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。(2)能防止微尘粒子之产生。(3)温度和湿度之控制。(4)压力之调节。(5)有害气体之排除。(6)结构物与隔间之气密性。(7)静电之防制。(8)电磁干扰预防。(9)安全因素之考虑。(10)节能之考量。洁净室构成：洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。(1)天花板系统：包括吊杆(Ceilingrod)、钢梁。

    净化工程是指控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。中文名净化工程外文名Purificationengineering工程性质环境保护应用制造业原理乱流洁净室，单向流洁净室作用控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度目录1原理▪乱流洁净室▪单向流洁净室2控制3作用4分类5等级标准6行业应用7解决方案净化工程原理编辑净化工程乱流洁净室乱流洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流；非均匀流。这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更。紊流主要决定于雷诺数，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个5f722852-96d8-430b-a29b-c34顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。在洁净室内进行生产时，应严格控制原材料的进入和废弃物的处理，以减少对环境的污染。

    人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中。由于风速较低，空气稀释程度较小，从而使得污染浓度较高。因此，必须将风速保持在（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的范围里，以便使中断的单向流能快速恢复，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。净化工程控制编辑洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了，所以必须有±，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。洁净室的送风方式有多种，如层流送风、乱流送风等，应根据实际情况选择合适的送风方式。滁州医院净化工程公司

洁净室内的生产设备应定期维护和保养，以确保其正常运行和减少故障率。舟山净化工程标准

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