嘉兴半导体净化工程

在洁净室内静电导致的事故有以下几方面； 1．静电电引起的静电电击，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)； 2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏； 3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作； 4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏； 净化工程中的洁净室应建立详细的维护记录和档案，方便追溯和管理。嘉兴半导体净化工程

而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。 对于以微生物为控制对象的生物洁净室（例如：生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等）其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，只能采用干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿。 还有一个值得注意的问题是，近些年来我国南方如佛山、广州以及华东的上海、苏州等地冬季室外空气相对湿度较“规范”给出的室外空调计算相对湿度要低，例如：冬季室外计算相对湿度佛山无尘室、广州均为70%，上海和苏州为75%，而这些年实测的室外相对湿度有时只有30%左右，江苏药厂净化工程方案在洁净室内工作时，应避免大声喧哗和剧烈动作，以减少尘埃的扬起。

净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。 中文名 净化工程 外文名 Purification engineering 工程性质 环境保护 应    用 制造业 原    理 乱流洁净室，单向流洁净室 作    用 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度 目录 1 原理 ▪ 乱流洁净室 ▪ 单向流洁净室 2 控制 3 作用 4 分类 5 等级标准 6 行业应用 7 解决方案 净化工程原理 编辑 净化工程乱流洁净室 乱流 洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的， 洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 洁净室的洁净度水平直接影响到产品的质量和可靠性，因此应给予足够的重视。

洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。 净化工程等级标准 编辑 经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。洁净室的通风系统应设计合理，确保空气流通顺畅且不会产生涡流和死角。上海食品净化工程等级

洁净室的设计和建设需遵循严格的规范和标准，确保达到所需的洁净度等级。嘉兴半导体净化工程

在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范）都是这样规定的 垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s 水平平行流（层流）洁净室≥0.35 m/s 噪声控制 洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是： 1．烦恼的效应 由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。 2．对工作效率的影响 这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神，动作准确性，工作速度； 3．对综合通讯的干扰 这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，不可能 对以上三方面指标都用A声级来评价。嘉兴半导体净化工程