嘉兴电子厂净化工程

    、恒温恒湿实验室总体设计规划要点1.温湿度控制范围2.温湿度控制精度3.洁净度要求4.照度要求5.设备的热湿量范围6.空调送回风方式7.空压之平衡措施8.引入新风之必要性9.系统排气的必要性10.保温隔热的措施11.设施与动力之配置12.静电、振动及噪音13.设备空间与空调间14.进出通道及更衣缓冲区之安排15.足够维护保养空间16.室内净高与楼板载重17.公害、污染与防灾18.安装及运转成本之衡量19.美观性要求20.安装成本/工期控制21.运转成本22.维护性&弹性等因数三、恒温恒湿实验室运行特点•恒温恒湿实验室，采用直接蒸发式的恒温恒湿空调系统，具有系统简单、便于调节、操作管理方便、节能等优点。在工程设计中，要根据实验室的温湿度精度要求合理选择系统，尽可能房间的负荷计算详细并选取匹配的恒温恒湿机组。•为了满足室内恒温恒湿精度的要求，恒温恒湿空调房间的换气次数大，根据经验，±2℃的恒温室，换气次数约10～15次/h；±1℃的恒温室，换气次数约15～20次/h；±℃的恒温室，换气次数约>20次/h；±℃的恒温室，换气次数约>30次/h；•气流组织设计也是影响恒温室精度的主要因素之一，在高精度的恒温恒湿室内设计气流组织应考虑一下原则：合理的气流组织流程。在净化工程中，洁净室的空气质量监测应实现自动化和智能化，提高管理效率。嘉兴电子厂净化工程

   往往须耗时相当长一段时间。层流式(Laminar)等级名称等级限值μmμmμmμm5μm容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位国际单位英制单位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。复合式。嘉兴电子厂净化工程洁净室的照明设计应充分考虑光照均匀性和视觉舒适度，避免长时间工作引起的视觉疲劳。

对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的高效过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞，向***经室内，带走污染物，然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后，再循环至高效过滤器。

用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。 净化工程控制 编辑 洁净室中的温湿度控制 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。在洁净室内进行生产时，应尽量避免使用易产生尘埃的设备和材料。

    必要时需管制作业人员；素地处理完成后需严格管制进出人员，非工作人员严禁进入管制区域。（2）底涂层的施工：施工前需计算材料使用量，依照施工方向及区域选定材料搅拌区和材料配置；依比例将主剂及固化剂充分搅拌均匀；将搅拌好的材料送至施工区域内；涂布底涂时采用毛刷及滚筒，将材料均匀涂布；搅拌后的材料应在可规定使用时间内使用，以免材料固化；施工中发现沙粒或杂质应立即去除；施工期间及养护时间内管制人员进出，养护时间为8小时。（3）中涂层的施工：中涂材料石英砂石英粉1．施工前计算材料的使用量，依照施工方向及区域，配合施工路径选定搅拌区；2．依照比例将主剂及固化剂充分搅拌均匀；3．材料混合后，依正确比例将石英砂缓慢加入，并搅拌均匀；4．搅拌均匀的材料需尽快送到施工区域内，百级净化工程，依照施工程序施工；5．涂布中涂材料时，净化工程，采用镘刀等工具，将材料均匀涂布；6．施工涂布时应尽量减少施工结合缝；7．施工涂布时应注意施工温度，低于5℃时环氧树脂不能固化；混合后的材料应在规定使用时间内涂布完毕，并注意前后组材料的衔接；施工中发现杂质应立即去除；施工期间及养护时间内管制人员进出，如施工时温度在10℃—15℃时。洁净室内的空气循环应尽可能减少涡流和湍流，以提高洁净度水平。南京无菌室净化工程

在净化工程中，应重视洁净室的防火和防爆措施，确保生产安全。嘉兴电子厂净化工程

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 嘉兴电子厂净化工程