无锡半导体净化工程设计

    并合理放置，以方便使用。干手用具必须是不会导致交叉污染的物品，如一次性纸巾，消毒毛巾等。在净化车间内适当的位置，应安装足够数量的洗手，消毒设施和配备相应的干手用品，以便工人在生产操作过程中定时洗手，消毒，或在弄脏手后能及时和方便地洗手。从洗手处排出的水不能直接流淌在地面上，要经过水封导入排水管。卫生间为了便于生产卫生管理，与净化车间相连的卫生间，不应设在加工作业区内，可以设在更衣区内。卫生间的门窗不能直接开向加工作业区，卫生间的墙面，地面和门窗应该用浅色，易清洗消毒，耐腐蚀，不渗水的材料建造，并配有冲水，洗手消毒设施，净化工程，窗口有防虫蝇装置。风管制作前采用无腐蚀性的清洗剂清洗板材表面油污、积尘，用白绸布擦拭干净，制作完后立即采用塑料布封闭风管的两端进行存放。具体方法：做两个清洗槽，其宽度和长度尺寸要大于被清洗风管的尺寸。一个清洗槽放入无害并调试到适宜浓度的洗涤液，另一个清洗槽盛入清洁水作为漂洗用。制作好的风管先放进一个洗涤槽，净化工程报价，洗干净后再放进第二个清洁水槽漂洗。彻底漂洗干净后采用自然风干，干燥后经检查达到要求立即用洁净的塑料薄膜和胶带临时封好口，按系统编号堆放整齐。洁净室的送风方式有多种，如层流送风、乱流送风等，应根据实际情况选择合适的送风方式。无锡半导体净化工程设计

在洁净室内静电导致的事故有以下几方面； 1．静电电引起的静电电击，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)； 2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏； 3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作； 4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光破坏； 扬州净化工程公司在洁净室内进行生产活动时，应尽量减少人员的活动和操作，以减少尘埃的产生。

洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。 净化工程等级标准 编辑 经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。

ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和 作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 乱流洁净室与单向流洁净室，是净化工程中的两大关键技术，共同保障环境的洁净度。

在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范）都是这样规定的 垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s 水平平行流（层流）洁净室≥0.35 m/s 噪声控制 洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是： 1．烦恼的效应 由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。 2．对工作效率的影响 这主要看三方面的反应水平，这三个方面是：集中精神，动作准确性，工作速度； 3．对综合通讯的干扰 这主要分为：清楚或满意，稍困难，困难，不可能 对以上三方面指标都用A声级来评价。洁净室的照明设计应充分考虑光照均匀性和视觉舒适度，避免长时间工作引起的视觉疲劳。医院净化工程方案

照明灯具在净化工程中扮演着重要角色，需确保光照正常、安装可靠。无锡半导体净化工程设计

而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。 对于以微生物为控制对象的生物洁净室（例如：生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等）其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，只能采用干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿。 还有一个值得注意的问题是，近些年来我国南方如佛山、广州以及华东的上海、苏州等地冬季室外空气相对湿度较“规范”给出的室外空调计算相对湿度要低，例如：冬季室外计算相对湿度佛山无尘室、广州均为70%，上海和苏州为75%，而这些年实测的室外相对湿度有时只有30%左右，无锡半导体净化工程设计