蚌埠净化工程等级

ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和 作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净室的照明设计应充分考虑光照均匀性和视觉舒适度，避免长时间工作引起的视觉疲劳。蚌埠净化工程等级

随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了，所以必须有±，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。常州净化工程设计乱流洁净室与单向流洁净室，是净化工程中的两大关键技术，共同保障环境的洁净度。

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 

在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。 B、室内空气参数要求 ： (1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。 (2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的最大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。 (3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。 洁净室的温度和湿度也需要严格控制，以确保生产环境的稳定性和舒适性。

    必要时需管制作业人员；素地处理完成后需严格管制进出人员，非工作人员严禁进入管制区域。（2）底涂层的施工：施工前需计算材料使用量，依照施工方向及区域选定材料搅拌区和材料配置；依比例将主剂及固化剂充分搅拌均匀；将搅拌好的材料送至施工区域内；涂布底涂时采用毛刷及滚筒，将材料均匀涂布；搅拌后的材料应在可规定使用时间内使用，以免材料固化；施工中发现沙粒或杂质应立即去除；施工期间及养护时间内管制人员进出，养护时间为8小时。（3）中涂层的施工：中涂材料石英砂石英粉1．施工前计算材料的使用量，依照施工方向及区域，配合施工路径选定搅拌区；2．依照比例将主剂及固化剂充分搅拌均匀；3．材料混合后，依正确比例将石英砂缓慢加入，并搅拌均匀；4．搅拌均匀的材料需尽快送到施工区域内，百级净化工程，依照施工程序施工；5．涂布中涂材料时，净化工程，采用镘刀等工具，将材料均匀涂布；6．施工涂布时应尽量减少施工结合缝；7．施工涂布时应注意施工温度，低于5℃时环氧树脂不能固化；混合后的材料应在规定使用时间内涂布完毕，并注意前后组材料的衔接；施工中发现杂质应立即去除；施工期间及养护时间内管制人员进出，如施工时温度在10℃—15℃时。洁净室的洁净度等级通常以单位体积内空气中的颗粒物数量来表示，如ISO 14644-1标准。蚌埠净化工程等级

洁净室的入口应设置风淋室或气闸室，以减少外界空气和尘埃的进入。蚌埠净化工程等级

高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。 ●确定集中或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。 ●净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。 ●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。 ●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。 ●净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。蚌埠净化工程等级