上海光学净化工程方案

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 在洁净室内进行生产活动时，应尽量减少人员的活动和操作，以减少尘埃的产生。上海光学净化工程方案

    并合理放置，以方便使用。干手用具必须是不会导致交叉污染的物品，如一次性纸巾，消毒毛巾等。在净化车间内适当的位置，应安装足够数量的洗手，消毒设施和配备相应的干手用品，以便工人在生产操作过程中定时洗手，消毒，或在弄脏手后能及时和方便地洗手。从洗手处排出的水不能直接流淌在地面上，要经过水封导入排水管。卫生间为了便于生产卫生管理，与净化车间相连的卫生间，不应设在加工作业区内，可以设在更衣区内。卫生间的门窗不能直接开向加工作业区，卫生间的墙面，地面和门窗应该用浅色，易清洗消毒，耐腐蚀，不渗水的材料建造，并配有冲水，洗手消毒设施，净化工程，窗口有防虫蝇装置。风管制作前采用无腐蚀性的清洗剂清洗板材表面油污、积尘，用白绸布擦拭干净，制作完后立即采用塑料布封闭风管的两端进行存放。具体方法：做两个清洗槽，其宽度和长度尺寸要大于被清洗风管的尺寸。一个清洗槽放入无害并调试到适宜浓度的洗涤液，另一个清洗槽盛入清洁水作为漂洗用。制作好的风管先放进一个洗涤槽，净化工程报价，洗干净后再放进第二个清洁水槽漂洗。彻底漂洗干净后采用自然风干，干燥后经检查达到要求立即用洁净的塑料薄膜和胶带临时封好口，按系统编号堆放整齐。滁州实验室净化工程等级洁净室内的照明设备应选用无汞、无紫外线的LED灯具，以减少对产品和环境的污染。

光学微电子行业净化工程设计方案分析 对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初投资低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。 净化工程中空气净化处理方案 ●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。 ●空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；

近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。 光学微电子净化工程一般包括： 1、 洁净生产区 2、 洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等） 3、 管理区（包括办公、值班、管理和休息） 4、 设备区（包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房） 材料 1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。洁净室的维护和管理同样重要，包括定期更换过滤器、清洁地面和设备等。

ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和 作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 净化工程中的洁净室应定期进行空气质量检测和评估，以确保满足生产要求。无锡制药净化工程设计

在洁净室内进行生产时，应严格控制原材料的进入和废弃物的处理，以减少对环境的污染。上海光学净化工程方案

对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的高效过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞，向***经室内，带走污染物，然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后，再循环至高效过滤器。上海光学净化工程方案