上海半导体净化工程厂家

    旋风除尘技能具有设备费用低、可处理低温气体、操作容易、适合含尘浓度高的气体的诸多特点。由于旋风除尘器是依靠尘粒惯性分离，除尘效率与粒径成正比，粒径大除尘效果好;反之，除尘效果较差(一般处理20微米以上的粉尘，除尘效率在百分之七十到九十)。洁净室又可以分为工业洁净室，生物洁净室，其中工业洁净室主要是以控制空气中的尘埃，净化工程，在洁净室内部呈正压。工业洁净室一般在机械工业，化学工业，电子工业，光磁工业，电脑硬盘，液晶玻璃等多个行业用到的比较多。生物洁净室，主要是将细1菌和尘埃掉，将工作区域保持洁净状态。其中生物洁净室又可以分为两类，一般生物洁净室和生物学安全洁净室，一般生物洁净室主要是控制细1菌。而生物学安全洁净室，主要是控制有害物体，保证人体和外界不受污染。净化工程需要综合考虑空间规划和设备配置。上海半导体净化工程厂家

净化工程作用 编辑 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。 净化工程分类 编辑 乱流式 (Turbulent Flow) 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA) 进入 洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板 乱流式 回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。医疗净化工程等级净化工程的设备选型应考虑其耐用性和可靠性。

对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的高效过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞，向***经室内，带走污染物，然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后，再循环至高效过滤器。

   人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中，由于风速较低，空气稀释程度较小，从而使得污染浓度较高。因此，必须将风速保持在（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的范围里，以便使中断的单向流能快速恢复，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。净化工程控制编辑洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。净化工程的监控系统应具备实时监测功能。

ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和 作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 净化工程的实施应考虑到生产设备的维护和更换。医院净化工程施工

温湿度控制是净化工程中不可忽视的环节。上海半导体净化工程厂家

优点： A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制; B.布置灵活。自带冷源; C.大小厂房、新旧厂房都适用; D.维修频率较低; E.车间噪音低。 缺点： A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置; B.空调机组与空调处理机组要集中布置; C.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。 上海半导体净化工程厂家