上海电子厂净化工程方案

而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿因投资较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。 对于以微生物为控制对象的生物洁净室（例如：生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等）其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，只能采用干蒸汽加湿和电极（电热）式加湿。 还有一个值得注意的问题是，近些年来我国南方如佛山、广州以及华东的上海、苏州等地冬季室外空气相对湿度较“规范”给出的室外空调计算相对湿度要低，例如：冬季室外计算相对湿度佛山无尘室、广州均为70%，上海和苏州为75%，而这些年实测的室外相对湿度有时只有30%左右，净化工程中，空气过滤介质的选择至关重要。上海电子厂净化工程方案

净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。 中文名 净化工程 外文名 Purification engineering 工程性质 环境保护 应    用 制造业 原    理 乱流洁净室，单向流洁净室 作    用 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度 目录 1 原理 ▪ 乱流洁净室 ▪ 单向流洁净室 2 控制 3 作用 4 分类 5 等级标准 6 行业应用 7 解决方案 净化工程原理 编辑 净化工程乱流洁净室 乱流 洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的， 洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。无锡电子厂净化工程设计净化工程的设计应考虑到生产过程中的噪音控制。

随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了，所以必须有±，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。

    无菌操作室注意事项：1.安全注意事项严格无菌操作，防止微生物污染；操作人员进入无菌室应先关掉紫外灯。2.无菌室应设有无菌操作间和缓冲间，无菌操作间洁净度应达到10000级，室内温度保持在20-24℃，湿度保持在45-60%。超净台洁净度应达到100级。3.无菌室应保持清洁，严禁堆放杂物，以防污染。严防一切灭菌器材和培养基污染，已污染者应停止使用。4.无菌室应定期用适宜的消毒液灭菌清洁，以保证无菌室的洁净度符合要求。5.需要带入无菌室使用的仪器，器械，平皿等一切物品，均应包扎严密，万级净化工程标准，并应经过适宜的方法灭菌。6.工作人员进入无菌室前，必须用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在缓冲间更换工作服，鞋，帽子，口罩和手套(或用70%的---再次擦拭双手)，方可进入无菌室进行操作。7.无菌室使用前必须打开无菌室的紫外灯辐照灭菌30分钟以上，并且同时打开超净台进行吹风。操作完毕，应及时清理无菌室，再用紫外灯辐照灭菌20分钟。8.供试品在检查前，应保持外包装完整，不得开启，以防污染。检查前，用70％的酒精棉球消毒外表面。9.凡带有活菌的物品，必须经消毒后，万级净化工程造价，才能在水龙头下冲洗，严禁污染下水道。净化工程的设计应充分考虑生产过程中的物料流转。

净化工程解决方案 编辑 大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿（因为夏季室外空气是高温、高湿的），冬季要加热加湿（因为冬季室外空气是寒冷干燥的，室内湿度过低会产生静电，静电对电子产品的生产是致命的）。 对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。洁净室的净化工程是防止微粒污染的重要手段。车间净化工程安装

净化工程需要综合考虑空间规划和设备配置。上海电子厂净化工程方案

2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。 3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。 4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。 光学微电子净化工程解决方案: 净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。上海电子厂净化工程方案