河南射频探针台公司

时间:2022年03月02日 来源:

探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针尖锐端尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件,探针臂应与探针尖匹配。探针夹具及电缆组件:探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。操纵器(定位器):探针台使用操纵器将探针放置在被测物上,它可以很容易地定位探针并快速固定它们。通常使用磁铁或真空把它们固定在适当的位置。一旦固定,操纵器可以在X、Y和Z方向上精确定位探针尖锐端,并且在某些情况下提供旋转运动。上海勤确科技有限公司信任是合作的基石。河南射频探针台公司

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探针台需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子,以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15~25℃,相对湿度小于50%的环境中,其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5℃,气压为0.4±0.04MPa。相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。福建高温探针台公司探针台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测试环节,负责晶圆的输送与定位。

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晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求,一般是要求高效准确,能够捕捉有效缺陷,实现实时检测。较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大类:针接触法和非接触法,接触法以针触法为象征;非接触法又可以分为原子力法和光学法。在具体使用时,又可以分为成像的和非成像的。

探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动。从功能上来区分有:高温探针台,低温探针台,RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异。

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手动探针台的使用方式:待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,然后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。常见故障的排除当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。手动探针台技术参数。探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。甘肃半自动探针台哪里有

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探针台的分类:探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台:手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台和卡盘、压盘、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要很少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。河南射频探针台公司

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