苏州工业特气管道安装施工规范

特种气体管道安装要求说明：1）不锈钢，合金钢螺栓和螺母；2）管道设计温度高于50°C或低于0°C;3）室外安装;4）大气腐蚀性环境中或输送腐蚀性介质的管道。合金钢管道不应焊接临时支撑物。如有必要，请遵守相关的焊接规定。安装不锈钢管时，请勿用铁工具敲打。对于法兰上使用的非金属垫片，氯离子含量不得超过50ppm；对于连接到机器的管道，固定焊缝应远离机器。当>6000r/min时，位移值应小于0.02mm，速度应小于6000r/min，位移值应小于0.05mm。管道，法兰和机器法兰应保持平行和同轴，允许偏差不得超过设计文件或规定的要求。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度。苏州工业特气管道安装施工规范

气体房的选择和设计，除了简单的供气系统以外，特气房一般都单独于主场房而单独建设，其规划时需考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间距、危险物的总量控制等。常规供气系统一般也采用多种气瓶柜共设在一个气体室；而对于大宗特气，会根据气体特性和相容性将气体房分成可燃气体房、腐蚀性气体房、惰性气体房、硅烷气体房、毒性气体房等。气体房必须有良好的通风，气体房的选择和设计一般由设计院完成。GMS和GDS系统，气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。然后、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的重点，这样可明显降低整个系统的成本。南京工业特气管道安装价格自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。

弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度，使弯管质量达到要求。直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一，连接口需在钨极的中心位置。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。焊接完成后，钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜。

随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。现在市面上，特气管道供应商非常的多，但是，除了少部分像奥飞克、沃飞等提供交钥匙式的特气管道安装服务的公司，大多数的厂商只是提供产品，没有管道安装这一方面的服务。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错，下面小编会以半导体生产制程用电子特种气体供气系统为例子为大家具体的来介绍：特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量。

特气管道安装流程:1、管道连接时，不得强力对口。2、管口对接应检查平直度，距接口200mm处测量，允许偏差1mm/m，全长偏差小于10mm，法兰间连接要平行。3、采用螺纹接头应用四氟乙烯带填料，禁止用麻油。4、管道与支架中间应采用无氯离子塑片相隔离;穿墙管道应加套管，套管长度不应小于墙厚，中间空隙应用不燃材料填塞。5、氮气管道应有防雷及导除静电的接地装置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管顶距地面)，直接埋地应作防腐处理。人体工程学:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。根据现场情况和气体特性，设计合理的管道布局和安装方案，确保管道的安全和稳定运行。苏州工业特气管道安装施工规范

管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。苏州工业特气管道安装施工规范

常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。苏州工业特气管道安装施工规范

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