上海氩气气体管道设计要求

气路的布线：1. 管道穿过障碍物时须使用管套并采用不可燃材料填充间隙。2. 管道之间采用先进的美国全自动定位轨道式氩弧焊机进行内外保护氩弧焊（TIG）方式连接，其优点是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不会再内表面产生氧化层或褶皱等焊接缺陷。3. 管路上的三通全部采用焊接三通来实现连接，可更有效保证气体的传输质量。4. 管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架为槽钢结构美观大方。与墙体和管道固定牢固。且为耐火材料（铝合金）制成。5. 气体管路在铺设过程中要做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间距，每间隔一定距离应设置一组管卡。卡具应由不燃材料制作而成，美观大方。气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。上海氩气气体管道设计要求

气体管道设计规范：1.阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。2.气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式，氢气管道不得用螺纹连接，高纯气体管道应采用承插焊接。3.气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接，螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调和填料。4.气体管道设计的安全技术应符合每台（组）用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器的规定。杭州厂房气体管道设计市价室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。

高纯/特种气体的概念，半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。气力输送设计的计算方法：1、确定各工作参数。气力输送的主要工作参数包括输送量、混合比(输送浓度)和气流速度等，这些参数的正确确定，对气力输送系统的选择和运行的经济性有很大的影响。2、确定各主要部件的型式和结构尺寸，如选用吸送式气力输送型式，则要注意吸嘴的选型，绘制出系统示意图。3、计算出系统各部分的压力损失及管道总压力损失。4、根据风网总风量和总压力损失选择合适的风机，并计算风机所需功率配用电机。

特种气体供应系统具体方式如下：现场制气、管道供气，这种供气方式时将制气设备建造在用气量较大或者用气品种较多的工厂内或按区域设置供应周边各单位用气；1－中压贮气罐；2－调压阀组；3－气体过滤器；4－液态气体贮罐；5－汽化器；6－安全阀；7－自动控制阀；8－气体纯化装置；9－流量计；10－末端气体过滤器；11－末端气体纯化器；12－用气点；13－高压气体压缩机；14－高压气体贮罐（P=15~20MPa）图A为采用液态气体贮存气体，中压贮罐。作为缓冲罐的供应系统。气体纯化设备设在工厂内，实际上在各用气工厂还应设置各种过滤精度的气体过滤器、计量仪器、分析仪器等，有的工厂对高纯气体中杂质含量控制十分严格，此时还需安装末端提纯设备。图B为采用高压（P=15~20MPa）气体贮罐的供气系统，常用于氢气供应系统中，设高压气体压缩机从中压贮气罐中吸气经压缩到15~20MPa送入若干个高压贮气罐组储气，根据供气用气的平衡，高压贮气罐放气经二级调压阀组减压后由自动控制阀送入供气系统。氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。

气体管道设计规范：1、按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。2、穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。3、氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。4、氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。上海实验室气体管道设计哪家好

气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。上海氩气气体管道设计要求

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。上海氩气气体管道设计要求