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时间:2022年07月28日 来源:

物理类气相沉积详解

物理类气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理类气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜,及分子束外延等。发展到目前,物理类气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。 常州市丰裕科技有限公司主营陶瓷喷涂,若有需要,欢迎垂询。吉林防静电涂层喷涂有哪些

化学气相沉积详解

化学气相沉积是一种化工技术,该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经普遍用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

应用

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。 河北无机纤维喷涂什么价格常州市丰裕科技有限公司主营碳化钨喷涂,若有需要,欢迎致电咨询。

化学气相沉积(CVD)将工件置于反应室中,抽真空并加热至900~1100℃。如要涂覆TiC层,则将钛以挥发性氯化物(如TiCl4)与气体碳氢化合物(如CH4)一起通入反应室内,这时就会在工表面发生化学反应生成TiC,并沉积在工件表面形成6~8μm厚的覆盖层。工件经气相沉积镀覆后,再进行淬火,回火处理,表面硬度可达到2000~4000HV物理类气相沉积(PVD)物理类气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理类气相沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,目前应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层,硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右,且覆盖层附着力强,适用于高速钢工具,热锻模等。

PVD(物理类气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PVD技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。

近十多年来,真空离子镀膜技术的发展是迅捷的,它已经成为当今优异的表面处理方式之一。我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜;通常所说的PVD镀膜机,指的也就是真空离子镀膜机。

物理类气相沉积(PVD)

物理类气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理类气象沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,应用较广的是离子镀。

离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC、TiN覆盖层,硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右,且覆盖层附着力强,适用于高速钢工具,热锻模等。 常州市丰裕科技有限公司主营氧化铝喷涂,若有需要,欢迎来电。

冷加工预先的冷加工变形会加大钢的组织和应力的不均匀性,提高了钢中碳、氢的扩散能力,使氢腐蚀加速。冷加工后的再结晶退火能降低由冷加工引起的氢腐蚀倾向。化学腐蚀是腐蚀中易被人感知的,但是也是非常难以解决的,必须“对症下药”。因为不同的温度下,腐蚀的速率差别非常大,多数情况下,温度越高,腐蚀越强烈,浓度越高,腐蚀越剧烈。大家都知道,常规耐腐蚀的材料就是高分子或者氧化物陶瓷。如果是在常温下,用高分子材料是非常方便的,价格也比较便宜。但是如果是高温情况下,高分子材料容易分解,并且由于高分子材料跟基体材料热膨胀系数存在较大差异,所以在温度超过100℃并且冷热交替频繁的情况下,涂层非常容易出现裂缝,也就是通常所说的“材料老化”。氧化物陶瓷虽然耐腐蚀性能很好,不过作为涂层的话,存在一些难以克服的问题,例如热膨胀系数与基体存在较大差异,涂层孔隙率大等等。 常州市丰裕科技有限公司主营热喷涂,若有需要,欢迎来电详谈。江苏防静电涂层喷涂什么价格

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物理类气相沉积技术早在20世纪初已有些应用。真空蒸镀基本原理是在真空条件下,使金属、金属合金或化合物蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,高频感应加热,电子束、激光束、离子束高能轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,历史上,PVD法中使用起初的技术是真空蒸镀。溅射镀膜基本原理是充氩(Ar)气的真空条件下,使氩气进行辉光放电,这时氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+),氩离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。如果采用直流辉光放电,称直流(Qc)溅射,射频(RF)辉光放电引起的称射频溅射。磁控(M)辉光放电引起的称磁控溅射。电弧等离子体镀膜基本原理是在真空条件下,用引弧针引弧,使真空金壁(阳极)和镀材(阴极)之间进行弧光放电,阴极表面快速移动着多个阴极弧斑,不断迅速蒸发甚至“异华”镀料,使之电离成以镀料为主要成分的电弧等离子体,并能迅速将镀料沉积于基体。因为有多弧斑,所以也称多弧蒸发离化过程。吉林防静电涂层喷涂有哪些

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