江苏自动研磨减薄机公司

由于在现有技术中，只在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量，而每段减薄过程中设置的工艺参数并不完全精确，例如:若砂轮转速或者砂轮的前进速度设置的稍大，则对晶圆片的磨削将超过预期，导致该段减薄结束后，晶圆片的厚度小于该段设定的目标值；或者在减薄过程中自动减薄机出现故障导致对晶圆片造成损坏；或者其他异常问题。所以，如果*在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量，容易出现每段减薄完成后，晶圆片厚度的实际值与该段设定值不符的问题，造成晶圆片的减薄良率下降。测量装置和自动减薄机，可以在晶圆片减薄过程中实时测量晶圆片的厚度，提高了晶圆片的减薄良率。横向减薄机硅片每分钟可减薄250um。江苏自动研磨减薄机公司

在LED芯片的制作流程中，将厚片减薄是关系到成品极终良率的关键，所谓厚片，是指经过前道工序但未经过厚度减薄处理的晶圆片。减薄工艺主要是利用自动减薄机将晶圆片的蓝宝石衬底部分减薄。自动减薄机通常包括:工作台和砂轮，其中，工作台上先放置陶瓷盘，再将厚片通过蜡粘贴在陶瓷盘上，砂轮用于磨削厚片，砂轮与工作台反向旋转。为了保证减薄后晶圆片的厚度及粗糙度达到要求，减薄过程通常分段进行，每段设置不同的工艺参数以及目标厚度，经过多段减薄极终达到工艺要求。在这过程中，对于晶圆片厚度的检测，是在每段减薄完成后自动减薄机停下来进行测量的。自动金相减薄机厂家蓝宝石减薄机是一款用于加工蓝宝石、光学玻璃、硅片、石英等晶体材料进行研磨和减横的机器。

晶圆加工减薄机，其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板，机体前端面上设有控制面板，机体顶端一侧活动安装有遮盖，遮盖和机体之间开安装有开合器，遮盖内壁正中间安装有研磨头，和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构，吸盘结构和研磨头相互配合。吸盘结构设有输气器、吸盘、气管，吸盘位于输气器正上方，输气器和吸盘活动卡合，吸盘上设有两个以上的气管，气管和吸盘活动卡合。吸盘结构设有堵头，堵头和吸盘活动配合。输气器由抽气管、底盘、通气腔组成，底盘内部设有通气腔，通气腔另一端贯穿底盘另一端，底盘另一端正中间设有抽气管，抽气管和底盘互相垂直，抽气管和通气腔贯通，通气腔靠近抽气管的那端比另一端要窄。

半自动双轴减薄机配置自动厚度测量和补偿系统，产品粗磨后移动至精磨位置，自动研削至目标值。两个砂轮轴，无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工；全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。可配置单轴、双轴研削单元；全自动上下片，干进干出的全自动研削系统；卧式减薄机是一款性价比很高的小型高精度研削设备，采用砂轮轴横卧的安装方式，手动装片，通过砂轮进给控制研削量。保证加工成本合理优化；全自动减薄机采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能。

减薄机的首先驱动组件包括设置在机架上的水平导轨和与水平导轨的滑块固定连接的滑板。首先驱动组件还包括用于驱动滑板移动的首先气缸，首先气缸的缸体与机架固定连接，首先气缸的伸缩杆与滑板固定连接。第二驱动组件包括设置在滑板上的竖直导轨和与竖直导轨的滑块固定连接的连接架，磨头位于连接架下方且与连接架转动连接，滑板设有可供磨头穿过的孔。第二驱动组件还包括用于驱动连接架上下运行的第二气缸，竖直导轨一端与滑板固定连接，另一端固定有安装板，第二气缸的缸体与安装板固定连接，第二气缸的伸缩杆与连接架固定连接。第三驱动组件包括安装在连接架上、用于驱动转轴转动的首先电机，首先电机的输出端和转轴均设有齿轮且通过同步带连接。减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削设备。上海电解减薄机设备

横向减薄机采用CNC程控系统，触摸屏操作面板。江苏自动研磨减薄机公司

晶圆加工减薄机具有以下优点：1.通过吸盘上的气管设计，将吸盘上的吸口**分化，当受力碎裂，无论晶圆从哪个方向裂开，都能够被吸附，不会因为失去吸力而掉落在桌面上，二次开裂。2.堵头设计，在不使用或者减少气管时，堵住吸盘的安装孔，减少空气粉尘地进入造成堵塞。3.利用软胶垫的设计，让软胶垫在受到晶圆本身的重力的作用下会自动陷落下去，可适应不同尺寸厚度的晶圆，不会因为晶圆中间厚两边薄而发生吸附力不够直接掉落的问题。4.气管上的海绵圈和支撑架设计，在晶圆被吸盘的时候，能适应不同高度，和晶圆紧密结合，不会漏气气密强，吸附能力好，另外，海绵圈顶端面光滑，无摩擦，避免晶圆在切割过程中产生线性缺陷。江苏自动研磨减薄机公司