杭州CMP化学机械减薄机价格优惠

时间:2021年02月28日 来源:

立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。减薄机上蜡后平整度大于正负5um,我们要调整蜡层厚度及上蜡的压力。可根据蓝宝石减薄机不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速。杭州CMP化学机械减薄机价格优惠

硅片酸洗减薄机通过旋转提篮带动硅片在装有酸液的箱体内旋转,旋转的同时实现减薄,对于原始硅片有效的控制了单片均匀性、重复性和稳定性,提高了极终成品率;旋转提篮的圆柱状围笼对硅片具有盛装并固定位置的作用,防止由于硅片在围笼内晃动导致碎片,安全可靠;由于圆柱状围笼底部沿其长度方向均匀设有多个隔棱,则可实现大量硅片的同时装夹,实现硅片减薄的批量生产,明显提高了工作效率,同时也方便了对硅片的夹装工作,一致性好;伺服电机可带动旋转提篮在一定周期内交替正、反转,明显增强硅片表面的减薄均匀性;减薄机减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。杭州CMP化学机械减薄机价格优惠全自动减薄机产品特点:功能周全。

减薄机包括机架、传送装置和打磨装置,其中,传送装置包括可随中心轴旋转的转盘,转盘上依次设置有若干个围绕中心轴分布的工位,工位用于放置工件;打磨装置包括磨头和用于驱动磨头运动的驱动机构,磨头包括转轴和与转轴连接的磨盘,驱动机构包括设置在机架上的首先驱动组件、位于首先驱动组件上并可水平运动的第二驱动组件和位于第二驱动组件上并可上下运动的第三驱动组件,转轴与第三驱动组件连接,以在第三驱动组件的带动下转动;打磨装置设置在转盘的上方,通过转动转盘,可使若干个工位逐一与打磨装置的打磨位置对接。横向减薄机减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。

液晶玻璃减薄机操作台的右端设有电动推杆,电动推杆活塞杆的端部与连接板的右侧面固定连接。利用电动推杆推动连接板,从而推动首先滑块顶部的夹具,对夹具上夹装的液晶玻璃进行工位的转移,转移至左侧立板的底部,对液晶玻璃进行刻蚀液的刻蚀,转移至右侧立板的底部,对液晶玻璃进行刻蚀后的清洗。支杆设有四个,且四个支杆均与直角梯形支座斜面相垂直。夹具包括固定设于支杆上的回字形框以及设于回字形框四个边角内侧的通过弹簧连接的直角夹板。利用直角夹板对液晶玻璃的四个角进行夹紧。立板顶部固定气缸的活塞杆的端部与第二滑块的顶部固定连接。利用气缸推动第二滑块下移,使得喷嘴以及导流板移至液晶玻璃右侧顶部,对液晶玻璃进行刻蚀以及清洗工艺处理。减薄机减薄时如果研磨或者抛光的过程中有明显的细微划痕,我们就要清洗陶瓷盘/环。减薄机工作台可根据客户需求进行定制化,应用极广。

吸盘式晶元硅片减薄机,包括设备机箱,设备机箱的左侧固定连接有进液管,进液管上固定连接有分流管,设备机箱的上端开设有进料口,进料口内开设有固定槽,进料口内活动安装有密封盖,密封盖的上端活动安装有提拉把手,密封盖的下端固定安装有安装卡块,密封盖的外侧活动安装有弹性圈,设备机箱的右侧上端活动安装有驱动电机,驱动电机的外侧活动安装有防护罩,防护罩外侧预留有散热孔,驱动电机的下端活动安装有驱动轴,驱动轴的下端活动安装有输出锥形齿轮,输出锥形齿轮的左侧啮合连接有接受锥形齿轮,接受锥形齿轮的左端活动安装有传动轴,传动轴的左侧活动安装有定位板,定位板的左侧活动安装有清洗滚筒。全自动减薄机有全自动上下片,干进干出的全自动研削系统。上海单面减薄机厂家

卧式减薄机采用砂轮轴横卧的安装方式,手动装片,通过砂轮进给控制研削量。杭州CMP化学机械减薄机价格优惠

晶圆加工减薄机具有以下优点:1.通过吸盘上的气管设计,将吸盘上的吸口**分化,当受力碎裂,无论晶圆从哪个方向裂开,都能够被吸附,不会因为失去吸力而掉落在桌面上,二次开裂。2.堵头设计,在不使用或者减少气管时,堵住吸盘的安装孔,减少空气粉尘地进入造成堵塞。3.利用软胶垫的设计,让软胶垫在受到晶圆本身的重力的作用下会自动陷落下去,可适应不同尺寸厚度的晶圆,不会因为晶圆中间厚两边薄而发生吸附力不够直接掉落的问题。4.气管上的海绵圈和支撑架设计,在晶圆被吸盘的时候,能适应不同高度,和晶圆紧密结合,不会漏气气密强,吸附能力好,另外,海绵圈顶端面光滑,无摩擦,避免晶圆在切割过程中产生线性缺陷。杭州CMP化学机械减薄机价格优惠

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