江苏硅片减薄机生产厂家

时间:2021年03月05日 来源:

吸盘式晶元硅片减薄机,在现有的酸洗减薄机的基础上进行设计,通过增加能够对单晶硅片进行安装固定的吸气盘,并且配合上整体的圆形回转式的结构,能够通过电机驱动带动设备进行工作,也能通过增加密封圈防止硅片出行偏移,吸盘的强力吸附力,能减少硅片出现破裂损坏,也不会因为硅片的破裂对其他的硅片造成伤害,一次性能够加工多个硅片,加快加工的速度,提升加工的效率,提高产品质量产量的同时,减少运营成本的投入。对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。蓝宝石减薄机砂轮的大小事根据蓝宝石减薄机直径大小来定,一般有150-170-210mm的规格。可根据蓝宝石减薄机不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速。江苏硅片减薄机生产厂家

半自动双轴减薄机配置自动厚度测量和补偿系统,产品粗磨后移动至精磨位置,自动研削至目标值。两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工;全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。可配置单轴、双轴研削单元;全自动上下片,干进干出的全自动研削系统;卧式减薄机是一款性价比很高的小型高精度研削设备,采用砂轮轴横卧的安装方式,手动装片,通过砂轮进给控制研削量。保证加工成本合理优化;浙江平面减薄机厂家立式蓝宝石减薄机加工直径在300-500mm的工件。

通常在集成电路封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度。这一工艺过程称之为晶片背面减薄工艺,对应装备就是晶片减薄机。作用:1.通过减薄/研磨的方式对晶片衬底进行减薄,改善芯片散热效果。2.减薄到一定厚度有利于后期封装工艺。常规工艺:减薄/抛光到80-100um;粗糙度:5-20nm;平整度:±3um。将10吋铁环放置于贴片机移载台上,再将晶圆放置于晶圆吸附座上,启动铁环吸附和晶圆吸附,夹住胶膜并滚压移载台移动至切割位,切割刀下降于铁环上,旋转刀具,完成后上升,移载台移出至放置区前。贴合完成后由操作者将工作物取下。全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备。

立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。减薄机采用手动装片方式,配置自动厚度测量和补偿系统,可自动研削至目标值。

硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮,旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成,圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成,半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接,围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱,箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机,伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连,箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便,实现硅片单面化学减薄,不生产批量大,而且提高了成品率,节省资源,降低生产成本。减薄机减薄后厚度均匀性需要对砂轮进行修平,校正砂轮环中心固定螺母及球轴承主轴。横向减薄机可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。浙江自动减薄机多少钱

减薄机可根据客户需求定制化各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺;江苏硅片减薄机生产厂家

坂口电子机械(上海)有限公司的多工位减薄机限位装置为螺栓,螺栓与支撑块之间通过螺纹连接,螺栓的末端正对摆齿齿轮座的侧面。毛刷组件包括立柱,立柱上设置有纵向导轨,纵向导轨上安装有升降座,升降座上安装有打磨电机,打磨电机的输出轴连接打磨主轴,打磨主轴底部连接磨盘,升降座与升降机构连接。升降机构包括升降电机、与升降电机输出轴连接的首先滚珠丝杆,首先滚珠丝杆上的螺帽与升降座上的支块固定连接。它还包括基座,基座的上端设置有横向导轨,横向导轨上安装有滑块,立柱固定在滑块上。江苏硅片减薄机生产厂家

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