浙江全自动减薄机价格

时间:2021年04月01日 来源:

半自动双轴减薄机配置自动厚度测量和补偿系统,产品粗磨后移动至精磨位置,自动研削至目标值。两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工;全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。可配置单轴、双轴研削单元;全自动上下片,干进干出的全自动研削系统;卧式减薄机是一款性价比比较高的小型高精度研削设备,采用砂轮轴横卧的安装方式,手动装片,通过砂轮进给控制研削量。半自动双轴减薄机产品粗磨后移动至精磨位置,自动研削至目标值。浙江全自动减薄机价格

通常在集成电路封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度。这一工艺过程称之为晶片背面减薄工艺,对应装备就是晶片减薄机。作用:1.通过减薄/研磨的方式对晶片衬底进行减薄,改善芯片散热效果。2.减薄到一定厚度有利于后期封装工艺。常规工艺:减薄/抛光到80-100um;粗糙度: 5-20nm;平整度: ±3um。将 10 吋铁环放置于贴片机移载台上,再将晶圆放置于晶圆吸附座上,启动铁环吸附和晶圆吸附,夹住胶膜并滚压移载台移动至切割位,切割刀下降于铁环上,旋转刀具,完成后上升,移载台移出至放置区前。贴合完成后由操作者将工作物取下。江苏自动研磨减薄机供应商蓝宝石减薄机丝杆进给组件采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式为伺服驱动。

减薄机包括机架、传送装置和打磨装置,其中,传送装置包括可随中心轴旋转的转盘,转盘上依次设置有若干个围绕中心轴分布的工位,工位用于放置工件;打磨装置包括磨头和用于驱动磨头运动的驱动机构,磨头包括转轴和与转轴连接的磨盘,驱动机构包括设置在机架上的首先驱动组件、位于首先驱动组件上并可水平运动的第二驱动组件和位于第二驱动组件上并可上下运动的第三驱动组件,转轴与第三驱动组件连接,以在第三驱动组件的带动下转动;打磨装置设置在转盘的上方,通过转动转盘,可使若干个工位逐一与打磨装置的打磨位置对接。

硅片减薄机技术的原理:当前主流晶圆减薄机的整体技术采用了磨削原理设计.为了实现晶圆的延性域磨削,提高减薄质量,通过减小砂轮轴向进给速度实现微小磨削深度,因此,要求设备的进给运动分辨率小于0.1Ixm,进给速度1ixrn/min. 另外,为了提高减薄工艺的效率,进给系统在满足低速进给的前提下,要尽可能实现高速返回。国内外减薄机现状:国外硅片超精密磨床制造起步较早,发展迅速,技术先进其中美国,德国,日本等发达国家生产的硅片超精密磨床技术成熟,表示着减薄机较高水平。目前国外生产的减薄机具有高精度,高集成化,自动化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特点。全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备。

多工位减薄机自定位工件座,多工位打磨提高了生产效率和打磨效果,公转平台运行过程中,对接驱动机构能够和工件轴完成自动对接,同时驱动工件轴自动旋转,提高了工位切换的流畅性。它包括公转平台,公转平台上包含多个工位,其中包括至少一个材料取放工位和多个打磨工位,每个工位上均设置有工件轴,打磨工位上安装有用于对工件轴进行自动对接并驱动工件轴进行旋转的对接驱动机构;工件轴包括负压吸盘、负压吸盘驱动轴和固定连接驱动轴上的工件轴齿轮,负压吸盘底部设置有气管旋转接头;减薄机的工作台可根据客户需求进行定制化,应用极广。浙江自动减薄机磨料

全自动减薄机产品特点:全自动系统。浙江全自动减薄机价格

蓝宝石减横机是一款用于加工蓝宝石、光学玻璃、硅片、石英等晶体材料进行研磨和减横的机器。该减横机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。吸盘可分为电磁吸盘和真空吸盘,其直径大小一般为320-600mm。砂轮的大小事根据蓝宝石减横机直径大小来定,一般有150-170-210mm的规格,砂轮的颗粒度是根据客户对工艺的要求定制。砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速,可根据蓝宝石减横机不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。浙江全自动减薄机价格

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