上海减薄机

时间:2021年05月15日 来源:

液晶玻璃减薄机,包括操作台,操作台的顶部前后两端对称设有两个横向设置的滑轨,两个滑轨上对称滑动连接的首先滑块之间通过连接板连接,两个首先滑块的顶部通过倒U形支座,倒U形支座顶部的直角梯形支座斜面通过支杆与夹装有液晶玻璃的夹具固定连接,操作台的顶部中间位置设有横向设置的倒U形支架,倒U形支架上左右对称设有两个立板,立板前侧面的滑槽上滑动连接有第二滑块,第二滑块前侧面固定螺接有L形支板,L形支板顶部左侧设有纵向设置的出液管道,出液管道的底部等距离排列设有若干喷嘴,喷嘴的内侧设有与L形支板螺接连接的导流板,操作台上且位于两个滑轨的内侧左右对称设有两个与立板垂直对称设置的集液槽。半自动双轴减薄机两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工。横向减薄机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。上海减薄机

立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工 艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。杭州全自动减薄机多少钱减薄机工作台可根据客户需求进行定制化,应用极广。

硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺,单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数,以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前,国内其他企业都采用常规减薄工艺,即用磨床减薄,其存在如下问题:减薄的均匀性差,减去的厚度难以精确控制,容易碎片,而且经过金刚砂研磨,又引入杂质,造成硅片表面态难以控制。在磨削工件与吸盘之间设置了由铝、不锈钢或铝箔制成的散热工作台的新型的减薄机吸盘装置,其解决了脆性材料难磨削的问题,使用方便、安全。

立式减薄机主要特点:1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。3、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果,4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作,不需要每次都要对刀。减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削设备。

一种测量装置和自动减薄机,其中,测量装置包括:基准台、弹性臂和测量头,弹性臂的一端与基准台连接,弹性臂的另一端与测量头连接,弹性臂用于按照预设频率带动测量头上下移动,测量头上设置有与测量头电连接的显示屏,测量头用于测量晶圆片的厚度,显示屏用于显示测量数据。本实用新型提供的测量装置,通过测量头可以在每段自动减薄过程中实时测量晶圆片的厚度,而不是*在每段自动减薄过程完成后才进行晶圆片厚度的测量,可以及时发现自动减薄过程中的问题并及时处理,极大提高了晶圆片的减薄良率。减薄机尽量减少洁净间的占地面积。浙江减薄机价格

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全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。产品特点:1、功能周全:具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能,满足各类工艺需求。2、配置丰富:可配置单轴、双轴研削单元。3、全自动系统:全自动上下片,干进干出的全自动研削系统。4、兼容性好:可根据客户需求定制各类工作台,满足各类半导体材料的研削薄化工艺。上海减薄机

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