上海自动减薄机设备

全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。产品特点：1、功能周全：具有自动测厚补偿、多段研削程序、超负载等待等功能，满足各类工艺需求。2、配置丰富：可配置单轴、双轴研削单元。3、全自动系统：全自动上下片，干进干出的全自动研削系统。4、兼容性好：可根据客户需求定制各类工作台，满足各类半导体材料的研削薄化工艺。目前国外生产的减薄机具有高精度、高集成化、自动化、加工硅片大尺寸化、超薄化等特点。上海自动减薄机设备

单晶硅片是由纯度极高的单晶硅制成，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，单晶硅圆片也成为晶元，是生产集成电路所用的载体，在集成电路的生产过程中起着至关重要的作用。在晶元硅片的使用过程中，有时需要对晶元表面进行减薄处理。然而，现有市场上的晶元减薄机一般是直接将单晶硅片放进清洗设备的内部，通过直接对设备内部加注进行辅助加工的酸性溶液进行工作，但是直接的摆放硅片可能会在进行加工的过程中对其造成损伤，并且飞溅的碎屑也会对其他的硅片造成损伤，无法保证加工产品的质量和加工效率，浪费资源增加了运营的成本。减薄机减薄到一定的厚度有利于后期封装工艺。双面减薄机厂家蓝宝石减薄机不发生断裂、塌边、划痕等现象。

坂口电子机械（上海）有限公司的吸盘式晶元硅片减薄机，包括设备机箱，设备机箱的左侧固定连接有进液管，进液管上固定连接有分流管，设备机箱的上端开设有进料口，进料口内开设有固定槽，进料口内活动安装有密封盖，密封盖的上端活动安装有提拉把手，密封盖的下端固定安装有安装卡块，密封盖的外侧活动安装有弹性圈，设备机箱的右侧上端活动安装有驱动电机，驱动电机的外侧活动安装有防护罩，防护罩外侧预留有散热孔，驱动电机的下端活动安装有驱动轴，驱动轴的下端活动安装有输出锥形齿轮，输出锥形齿轮的左侧啮合连接有接受锥形齿轮，接受锥形齿轮的左端活动安装有传动轴，传动轴的左侧活动安装有定位板，定位板的左侧活动安装有清洗滚筒。

液晶玻璃减薄机操作台的右端设有电动推杆，电动推杆活塞杆的端部与连接板的右侧面固定连接。利用电动推杆推动连接板，从而推动首先滑块顶部的夹具，对夹具上夹装的液晶玻璃进行工位的转移，转移至左侧立板的底部，对液晶玻璃进行刻蚀液的刻蚀，转移至右侧立板的底部，对液晶玻璃进行刻蚀后的清洗。支杆设有四个，且四个支杆均与直角梯形支座斜面相垂直。夹具包括固定设于支杆上的回字形框以及设于回字形框四个边角内侧的通过弹簧连接的直角夹板。利用直角夹板对液晶玻璃的四个角进行夹紧。立板顶部固定气缸的活塞杆的端部与第二滑块的顶部固定连接。利用气缸推动第二滑块下移，使得喷嘴以及导流板移至液晶玻璃右侧顶部，对液晶玻璃进行刻蚀以及清洗工艺处理。伺服电机可带动旋转提篮在一定周期内交替正、反转，明显增强硅片表面的减薄均匀性。

液晶玻璃减薄机利用直角梯形支座斜面上的夹具夹紧液晶玻璃，将液晶玻璃倾斜放置，以倒U形支架上的两个立板上的出液管道，出液管道在导流板的作用下，分别向液晶玻璃上瀑布式的喷洒刻蚀液以及清洗液，而夹具以及直角梯形支座在首先滑块与滑轨的滑动作用下，在操作台的顶部，以及倒U形支架的底部，自由的切换工位，以适应于向液晶玻璃上喷洒刻蚀液以及清洗液，而且喷洒后的刻蚀废液以及清洗废液可以分类收集于集液槽中，以瀑布流式对液晶玻璃进行刻蚀，废液少，玻璃减薄表面光滑，不用抛光，而且玻璃刻蚀减薄后可以直接进行清洗操作，免去要刻蚀后取下液晶玻璃转移工位的繁琐步骤。横向减薄机可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。上海自动减薄机售价

当减薄机研磨抛光后厚度均匀性较差时，我们要用平面度测量规测量盘面，用小块的砝码重力修正。上海自动减薄机设备

液晶玻璃减薄机，主要包括操作台，操作台的顶部前后两端对称设有两个横向设置的滑轨，两个滑轨上对称滑动连接的首先滑块之间通过连接板连接，两个首先滑块的顶部通过倒U形支座，倒U形支座顶部的直角梯形支座斜面通过支杆与夹装有液晶玻璃的夹具固定连接，操作台的顶部中间位置设有横向设置的倒U形支架，倒U形支架上左右对称设有两个立板，立板前侧面的滑槽上滑动连接有第二滑块，第二滑块前侧面固定螺接有L形支板，L形支板顶部左侧设有纵向设置的出液管道，出液管道的底部等距离排列设有若干喷嘴，喷嘴的内侧设有与L形支板螺接连接的导流板，操作台上且位于两个滑轨的内侧左右对称设有两个与立板垂直对称设置的集液槽。上海自动减薄机设备

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