江苏硅片化学减薄机种类

高速横向减薄机 适用范围：非常适合于工件硬度比较高，厚度超薄，且加工精度要求高的产品。如：LED蓝宝石衬底、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片以及各种金属材料的快速减薄。 高精密横向减薄机设备原理： 1.本系列横向减薄减薄机为全自动精密磨削设备，由真空吸盘或者电磁吸盘吸附工件与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损，而且磨削均匀生产效率高。 2.设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度，从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损，自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。 高精密横向减薄机设备特点： 1.可使直径200晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。 2.减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度较高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度较高可减薄250微米。 3.系列减薄机采用CNC程控系统，触摸屏操作面板。研磨减薄机的特点：主机采用变频调速电机驱动，配置大功率减速系统，软启动、软停止，运转平稳。江苏硅片化学减薄机种类

研磨减薄机维修与保养: 1.经常检查电器控制系统灵敏可靠。 2.打开容器上盖，用手拨动偏心体应无阻碍现象，且转动灵活。 3.接能电源后，进行空运转，应运转平稳，无异常噪声。当出现异常和吃重现象时，要停止运转。这种情况是由于振动电机轴承发生磨损失效，应根据不同的情况，有必要采取相应的措施，需要加润滑油或更换轴承。 4.该型减薄机在工作过程中产生剧烈振动，应特别注意各部位螺栓有无松动现象，尤其是固定振动电机的螺栓应定期检查。发现有松动情况要及是拧紧，在拧紧螺栓时，应注意振动电机法兰与螺旋容器法兰保持平行。如果偏于一方拧紧的话，螺栓容易松开，产生剧烈噪音，严重时螺栓被切断，造成螺旋容器、振动电机损坏泊设备事故，因此切不可麻痹大意。杭州硅片化学减薄机厂家研磨减薄机在进行研磨抛光过程中冷却研磨盘的重要性。

从较初的研磨减薄机，到现在流行的新型减薄机，国外的减薄机的发展趋势已势不可挡，而且已经日渐趋于高速发展后的平稳发展状态。在减薄机中还添加有一些自动修补的功能，在提高了使用效率的同时也提高了加工精度的控制度，尤其是对于转速的把握上显得非常精确，这就让原件抛光的工作变得更加严谨和简单。目前我国的减薄机大多都是从国外进口的，质量上有过硬的技术进行支撑，效果也非常好。由于国外的减薄机的发展已经经历了从初创到现在的日益盛行，并且到达了成熟阶段，特别是欧美一带在经过研发以后，已经积累了大量的研磨和抛光经验，可以说技术是达到了炉火纯青的地步。

研磨减薄机对于一些薄脆性的材料，像是密封环、陶瓷片或者玻璃等等进行平面的研磨和抛光，那对于这种设备来说在应用的过程中都具有哪些特点呢？1、下研磨盘可以升降在工件加工完成后为了能更加轻松的对工件进行装卸，所以下研磨盘采用了可以升降的特点，这样也可以降低操作人员的工作量。2、有时间继电器和计数器它在进行加工的时候为了能更加精确的控制研磨的时间和圈数，在设置上面特别的添加了一个继电器和计数器，这样就可以按照事先设置好的系统进行加工吗，如果加工完成后还能进行自行的停机报警提示，对于操作人员来说也非常的方便和安全。3、采用了无极调速系统这种机器使用的是无极调速系统，这样在工作的时候就可以非常方便对研磨的速度进行调整了，对于采用这种系统来说还具有防止薄脆工件破碎的优点，也是它的重要特点之一。研磨减薄机研磨减薄机采用四段压力，即轻压、中压、重压、修研的运行过程。在减薄机作业过程中需要注意的是转盘和作业面需要保持基本的平行才可以。

研磨减薄机在进行研磨抛光过程的冷却研磨盘的重要性：从事平面研磨的朋友都知道在超精密研磨抛光较薄脆零件过程中，研磨盘和工件是做相对摩擦运动的，研磨盘与工件的局部接触区域往往会出现高温，有时甚至可以达到几百度。局部的高温不但会烧伤零件表面，形成加工变质层，而且会引起零件的局部变形，同时，局部高温区的热量还会以热传导的方式传到整个研磨盘，使研磨盘也会发生热变形，研磨盘作为研磨加工的磨具，其面型精度能在一定程度上“复制”到工件表面。因此，研磨减薄机在进行研磨抛光过程中研磨盘自身的热变形对工件的面型精度一定会有影响。而且研磨盘温度越高，越不均匀，工件所受的变形影响越大。因此及时地将局部研磨盘高温区的热量驱散，合研磨盘各部分的温度比较均匀且处于较低的水平是非常的必要的。研磨减薄机为下研磨盘升降方式。浙江小型化学减薄机设备

研磨减薄机采用无级调速系统控制，可轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。江苏硅片化学减薄机种类

进行高质量平行平面研磨时较好使用双面研磨，研磨减薄机为了在工件上得到均匀而不重复的研磨轨迹，研磨时将工件放在工件保持架内，上，下均有研磨盘。下研磨盘有电动机 带动旋转，工件保持架制成行星轮的形式，外面和内齿轮啮合，里面和小齿轮啮合。所以工作时工件将同时有自转和公转来作行星运动。上研磨盘一般情况不转动或者偶尔转运，可加载并有一定的浮动以避免两研磨盘不平行造成工件两研磨面不平行。同时由工件与研具的相对运动轨迹对工件面形精度有都重要影响，对其基本要求都有 1.工件相对研具做平面平行运动，能使工件上各点具有相同或相近的研磨行程。 2.工件上任意一点，尽量不要出现运动轨迹的周期性重复。 3.尽量保持研磨运动平稳，在研磨过程避免曲率过大的运动转角。 4.保证工件走遍整个研具表面，使研磨盘得到均匀磨损，进而保证工件表面的平面度。 5.常用次摆线、外摆线和内摆线轨迹等运动轨迹。同时及时变更工件的运动方向，使研磨纹路复杂多变，这样不仅有利于降低表面粗糙度，并保证其表面均匀一致。江苏硅片化学减薄机种类