上海石英玻璃减薄机价格优惠

时间:2021年06月25日 来源:

减薄机工件被放置在转盘的若干个工位上,并通过传送装置的转盘逐一传送至打磨位置,驱动机构中的首先驱动组件和第二驱动组件驱动磨头至打磨位置处,第三驱动组件驱动磨头转动对转盘位于打磨位置处的工位上的工件进行打磨减薄。通过传送装置和打磨装置之间的相互配合,加快了磨削速度,提高了生产效率和产能。传送装置还包括用于驱动中心轴转动的第二电机,中心轴一端与转盘固定连接,另一端安装有首先齿轮,第二电机的输出端安装有与首先齿轮相啮合的第二齿轮。传送装置还包括在转盘对应每个工位安装的吸盘,转盘上设置有与每个吸盘的安装位置对应的吸孔。横向减薄机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。上海石英玻璃减薄机价格优惠

立式减薄机主要特点:1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,直径320-600mm。2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。3、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果,4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以连续工作,不需要每次都要对刀。杭州玻璃减薄机哪家好高速横向减薄机非常适合于工件硬度比较高,厚度超薄,且加工精度要求高的产品。

吸盘式晶元硅片减薄机,在现有的酸洗减薄机的基础上进行设计,通过增加能够对单晶硅片进行安装固定的吸气盘,并且配合上整体的圆形回转式的结构,能够通过电机驱动带动设备进行工作,也能通过增加密封圈防止硅片出行偏移,吸盘的强力吸附力,能减少硅片出现破裂损坏,也不会因为硅片的破裂对其他的硅片造成伤害,一次性能够加工多个硅片,加快加工的速度,提升加工的效率,提高产品质量产量的同时,减少运营成本的投入。对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型。

由于在现有技术中,只在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,而每段减薄过程中设置的工艺参数并不完全精确,例如:若砂轮转速或者砂轮的前进速度设置的稍大,则对晶圆片的磨削将超过预期,导致该段减薄结束后,晶圆片的厚度小于该段设定的目标值;或者在减薄过程中自动减薄机出现故障导致对晶圆片造成损坏;或者其他异常问题。所以,如果在每段减薄完成后对晶圆片进行厚度测量,容易出现每段减薄完成后,晶圆片厚度的实际值与该段设定值不符的问题,造成晶圆片的减薄良率下降。测量装置和自动减薄机,可以在晶圆片减薄过程中实时测量晶圆片的厚度,提高了晶圆片的减薄良率。减薄机尽量减少洁净间的占地面积。减薄机研磨垫图形大体的功能是研磨垫之孔隙度可以协助研磨液于研磨过程输送到不同的一些区域。

吸盘式晶元硅片减薄机阻隔板在设备机箱内关于清洗滚筒对称设置有两个,且阻隔板的长度大于等于安装板的长度。导流板为倾斜角度设计,且导流板的长度等于阻隔板之间的距离。进液管为“L”型结构设计,且进液管上等间距设置有三个分流管。固定槽为向内凹陷的圆形结构设计,且固定槽和安装卡块相互配适,并且固定槽和安装卡块相会对应设置有两组。清洗滚筒在定位板上等间距设置有三组,且清洗滚筒上对称设置有两个连接轴。设备机箱的右侧下端活动安装有控制阀,控制阀的下端开设有废液出口。立式蓝宝石减薄机在目前LED蓝宝石生产线上,被公认为目前国内极 好的减薄机。上海石英玻璃减薄机价格优惠

蓝宝石减薄机能加工工件厚度在5u以下的工件。上海石英玻璃减薄机价格优惠

硅片酸洗减薄机箱体内支撑有旋转提篮,旋转提篮由两个圆形固定板、横向连接于两个圆形固定板之间的圆柱状围笼、设于两个圆形固定板外侧面的转轴及提手组成,圆柱状围笼由围笼本体、与围笼本体铰接的半圆状笼盖组成,半圆状笼盖的开口侧边沿与围笼本体利用锁扣连接,围笼本体底面均匀间隔设置多个隔棱,箱体外侧一端固定有滑道且滑道上方滑动连接有支座,支座的水平板面上固定有倒置的伺服电机,伺服电机的电机轴通过传动机构与旋转提篮的转轴相连,箱体的内侧壁上另固定有循环水管。结构设计合理、操作方便,实现硅片单面化学减薄,不生产批量大,而且提高了成品率,节省资源,降低生产成本。半自动双轴减薄机产品粗磨后移动至精磨位置,自动研削至目标值。上海石英玻璃减薄机价格优惠

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