杭州自动减薄机哪家好

时间:2021年07月03日 来源:

晶圆加工减薄机,其结构包括遮盖、研磨头、开合器、吸盘结构、机体、控制面板,机体前端面上设有控制面板,机体顶端一侧活动安装有遮盖,遮盖和机体之间开安装有开合器,遮盖内壁正中间安装有研磨头,和研磨头相对应的机体顶端面上安装有吸盘结构,吸盘结构和研磨头相互配合。吸盘结构设有输气器、吸盘、气管,吸盘位于输气器正上方,输气器和吸盘活动卡合,吸盘上设有两个以上的气管,气管和吸盘活动卡合。吸盘结构设有堵头,堵头和吸盘活动配合。输气器由抽气管、底盘、通气腔组成,底盘内部设有通气腔,通气腔另一端贯穿底盘另一端,底盘另一端正中间设有抽气管,抽气管和底盘互相垂直,抽气管和通气腔贯通,通气腔靠近抽气管的那端比另一端要窄。横向减薄机磨削均匀生产效率高。杭州自动减薄机哪家好

晶圆制造工艺中,对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出比较高要求,因此在几百道工艺流程中,不可采用较薄的晶片,只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片,通常在集成电路封装前,需要对晶片背面多余的基体材料去除一定厚度。这一工艺过程称之为晶片背面减薄工艺,对应装备就是晶片减薄机,在减薄过程中,晶圆由于表面中间和边缘的厚度不一致,在去除其中间厚度的时候会因为其强度不同,导致破裂,吸盘无法吸附,直接掉落工作台,变得碎裂,清理麻烦。上海CMP化学机械减薄机价格优惠全自动减薄机可配置单轴、双轴研削单元;

一种蓝宝石减薄机,其特征在于该减薄机包括磨轮、真空吸附头,磨轮连接于磨轮主轴上,被磨轮主轴带动旋转,磨轮主轴则固定在磨轮控制机构上,并连接于磨轮电机;真空吸附头连接于真空盘主轴,真空盘主轴固定工作台上,并连接于真空盘电机;磨轮、真空吸附头设置于工作台上,一工作室设置于工作台中部,磨轮、真空吸附头位置偏心对应,且横向设置,均位于工作室中。其特征在于该减薄机还包括有修磨头,所述修磨头和真空吸附头并列排列,共同对应于磨轮。

在显示屏制作工艺中增加减薄工艺,通过物理和化学方法使显示器厚度达到轻薄化的目的,目前玻璃化学腐蚀工艺主要使用氢氟酸混合物对液晶玻璃进行减薄,减薄时使用刻蚀液的刻蚀方式有浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式以及以及单面的瀑布流式,由于浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式都具有刻蚀后表面不光滑的现象,所以越来越多的使用瀑布流式。现有技术对于液晶玻璃减薄,液晶玻璃的刻蚀工艺以及清洗工艺是分开操作,操作过程较为繁琐,喷洒机构满足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蚀,为此,我们提出一种集刻蚀工艺以及清洗工艺为一体的适用于瀑布流式玻璃减薄的液晶玻璃减薄机来解决上述问题。通过减薄/研磨的方式对晶片衬底进行减薄,改善芯片散热效果。

随着半导体技术的快速发展,半导体设备也在一代接一代的创新和发展,当今半导体设备的制造和使用涉及50多个学科和60多种化学元素等诸多方面的高技术,具有较强的技术综合性。如:硅、锗晶片(半导体器件),铌、钽酸锂晶片(声表面波器件),兰宝石(LED元件)、电子陶瓷(各种传感器)等脆性材料。脆性材料的应用越来越极广,尤其是在高新技术应用领域和前端技术应用领域发挥着不可代替的作用,半导体硅等材料作为集成电路制造的重要基体材料这时候的减薄机就需要发挥他的作用。全自动减薄机有全自动上下片,干进干出的全自动研削系统。单面减薄机厂家直销

当前主流晶圆减薄机的整体技术采用了磨削原理设计。杭州自动减薄机哪家好

立式减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度极高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度极高可减薄250微米。其应用于IC封装晶圆背减工艺,化合物材料、红外材料及其他硬脆或复合材料的薄化工艺;适用于陶瓷、玻璃等基板类产品的超薄平坦化加工;使用Grinding工艺可在大部分产品上弥补Lapping工艺无法实现的100mm及以下超薄加工的需要;可以优化Lapping工艺的加工流程;可磨削的材料涉及硅、氧化铝、碲锌镉、铌酸锂、蓝宝石、砷化镓和碳化硅等。杭州自动减薄机哪家好

信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责