杭州单面减薄机设备

时间:2021年07月04日 来源:

硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺方面,单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数,以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前,国内其他企业都采用常规减薄工艺,即用磨床减薄,其存在如下问题:减薄的均匀性差,减去的厚度难以精确控制,容易碎片,而且经过金刚砂研磨,又引入杂质,造成硅片表面态难以控制。在磨削工件与吸盘之间设置了由铝、不锈钢或铝箔制成的散热工作台的新型的减薄机吸盘装置,其解决了脆性材料难磨削的问题,使用方便、安全。立式蓝宝石减薄机在目前LED蓝宝石生产线上,被公认为目前国内极好的减薄机。杭州单面减薄机设备

在显示屏制作工艺中增加了减薄工艺,通过物理和化学方法使显示器厚度达到轻薄化的目的,目前玻璃化学腐蚀工艺主要使用氢氟酸混合物对液晶玻璃进行减薄,减薄时使用刻蚀液的刻蚀方式有浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式以及以及单面的瀑布流式,由于浸泡式、液晶玻璃双面喷洒式都具有刻蚀后表面不光滑的现象,所以越来越多的使用瀑布流式。现有技术对于液晶玻璃减薄,液晶玻璃的刻蚀工艺以及清洗工艺是分开操作,操作过程较为繁琐,喷洒机构满足不了液晶玻璃的瀑布流式刻蚀,为此,我们提出一种集刻蚀工艺以及清洗工艺为一体的适用于瀑布流式玻璃减薄的液晶玻璃减薄机来解决上述问题。杭州单面减薄机设备蓝宝石减薄机不发生断裂、塌边、划痕等现象。

减薄机工件被放置在转盘的若干个工位上,并通过传送装置的转盘逐一传送至打磨位置,驱动机构中的首先驱动组件和第二驱动组件驱动磨头至打磨位置处,第三驱动组件驱动磨头转动对转盘位于打磨位置处的工位上的工件进行打磨减薄。通过传送装置和打磨装置之间的相互配合,加快了磨削速度,提高了生产效率和产能。传送装置还包括用于驱动中心轴转动的第二电机,中心轴一端与转盘固定连接,另一端安装有首先齿轮,第二电机的输出端安装有与首先齿轮相啮合的第二齿轮。传送装置还包括在转盘对应每个工位安装的吸盘,转盘上设置有与每个吸盘的安装位置对应的吸孔。

吸盘式晶元硅片减薄机阻隔板在设备机箱内关于清洗滚筒对称设置有两个,且阻隔板的长度大于等于安装板的长度。导流板为倾斜角度设计,且导流板的长度等于阻隔板之间的距离。进液管为“L”型结构设计,且进液管上等间距设置有三个分流管。固定槽为向内凹陷的圆形结构设计,且固定槽和安装卡块相互配适,并且固定槽和安装卡块相会对应设置有两组。清洗滚筒在定位板上等间距设置有三组,且清洗滚筒上对称设置有两个连接轴。设备机箱的右侧下端活动安装有控制阀,控制阀的下端开设有废液出口。减薄机研磨垫图形大体的功能是研磨垫之孔隙度可以协助研磨液于研磨过程输送到不同的一些区域。立式蓝宝石减薄机在目前LED蓝宝石生产线上,被公认为目前国内极 好的减薄机。

硅片减薄机技术的原理:当前主流晶圆减薄机的整体技术采用了磨削原理设计。为了实现晶圆的延性域磨削,提高减薄质量,通过减小砂轮轴向进给速度实现微小磨削深度,因此,要求设备的进给运动分辨率小于0.1Ixm,进给速度1ixrn/min。另外,为了提高减薄工艺的效率,进给系统在满足低速进给的前提下,要尽可能实现高速返回。国内外减薄机现状:国外硅片超精密磨床制造起步较早,发展迅速,技术先进其中美国,德国,日本等发达国家生产的硅片超精密磨床技术成熟,表示着减薄机较高水平。目前国外生产的减薄机具有高精度,高集成化,自动化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特点。横向减薄机平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。半自动双轴减薄机配置自动厚度测量和补偿系统,产品粗磨后移动至精磨位置,自动研削至目标值。两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工;全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备,采用晶圆机械手取片,带有自动对中、清洗、干燥功能,可实现盒到盒、干进干出的全自动研削加工。减薄机的功能是协助将芯片表面的研磨产物移去。杭州单面减薄机设备

减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削设备。杭州单面减薄机设备

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