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密度也是靶材的关键性能指标之一.在靶材的技术工艺中为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,一般是要求靶材必须具有较高的密度。因为靶材主要特性密度对溅射速率有着很大的影响,并且影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。
是晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。 所以结论就活性金属靶材要求表面抛光,不活泼金属靶材不一定非要求表面抛光。其他非金属的靶材不需要抛光。合肥铝铬靶价钱
直流磁控溅射制备锌-锑热电薄膜的技术探讨 热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,热电薄膜化有助于热电材料减低热导率,从而能够有效的提高材料的热电转换效率,因此具有十分重要的科学研究价值。Zn-Sb合金是采用的P 型热电半导体材料之一,但由于其较低的热电优值,所以没有得到普遍的应用。 但近几年研究发现,在263 K~767K 温度区间稳定存在的β-Zn4Sb3 具有非常优异的热电性能,材料少含稀土材料以及可适用于中温,被国内外认为是具有前景的中温热电材料之一。因此,本文选取纯度为99.99%的Zn 和Sb 金属靶作为靶材,采用直流磁控共溅射技术,制备Zn-Sb 合金热电薄膜,研究不同热处理条件下合成的Zn-Sb 化合物热电薄膜的结构与热电特性变化规律。 结果表明,选取适当的溅射Zn和Sb的功率条件,溅射完成合金薄膜后在Ar 气氛下进行623 K 退火热处理,可形成具有单一β-Zn4Sb3相结构的Zn-Sb 热电薄膜,且薄膜颗粒大,较致密,所制备的热电薄膜具有优良的热电性能。南京镧靶图片如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率,化合物覆盖面积增加。
目前市场上常见的合金靶材有哪些? 钛铝靶材,TiAl靶材,钛硅靶材,TiSi靶材,钛钨靶材,TiW靶材,钨钛靶材WTi靶材,钛铝硅靶材,TiAlSi靶材,铬铝靶材,CrAl靶材,铬硅靶材,CrSi靶材,硅铝靶材,SiAl靶材,锌锡靶材,ZnSn靶材,锌铝靶材,ZnAl靶材,铝铜靶材,AlCu靶材,镍铬靶材,NiCr靶材,镍钒靶材,NiV靶材,镍铁靶材,NiFe靶材,镍铜靶材,NiCu靶材,铁钴靶材,FeCo靶材,钛铌靶材,TiNb靶材,钛锆靶材,TiZr靶材,铟锡靶材,InSn靶材,铜锆靶材,CuZr靶材,镁锌钙靶材,MgZnCa靶材,镍铬铜靶材,NiCrCu靶材,钼铌靶材,MoNb靶材,铝钕靶材,AlNd靶材,铝钪靶材,AlSc靶材,银铝靶材,AgAl靶材, 铬铝硅靶材,CrAlSi靶材,镝铝靶材,DyAl靶材,铌锆靶材,NbZr靶材等等。
磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨目前主要的薄膜太阳能电池有:碲化镉(CdTe)系薄膜太阳能电池、硒铟铜(CIS)系薄膜太阳能电池、非晶硅系薄膜太阳能电池、晶硅系薄膜太阳能电池。研究人员研制出了价格低廉、原材料丰富且性能稳定的绒面ZnO∶Al陷光结构来作为薄膜太阳能电池的前电极。具有弹坑状绒面结构的AZO透明导电薄膜可以增强太阳光的散射作用,改善陷光效果,增加电池对太阳能的吸收量,提高薄膜太阳能电池的转换效率。磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜具有成膜速度快、膜层均匀、成膜面积大等优点,是较为合适的生产AZO薄膜的工艺方法。目前由磁控溅射工艺生产透明导电薄膜AZO时所用靶材有两种类型:①陶瓷AZO靶材;②合金锌铝靶材。应根据实际情况,选择适合本企业的靶材产品。作为一种新的TCO材料,AZO相对于ITO和FTO有很大优势,要大规模产业化还必须在如何降低设备及工艺成本上进一步研发。从根本上说,AZO薄膜的结构性能的好坏决定了其光电性能的优劣,必须在工艺参数上多做研究,实现高质量和低成本的双赢。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
2. 陶瓷靶材
ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、溅射靶材氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,、二氧化铪靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。 再用手转紧对角线上的另外一颗镙栓,如此重复直到安装上所有镙栓后,再用工具收紧。南京镧靶图片
溅射的时候会先溅射凸起,溅射时间长了,靶材自己就平了。合肥铝铬靶价钱
真空镀膜设备替代电镀设备是发展的必然 2012年全国化学电镀产生的污水和重金属排放量达到3.5亿吨,固体废物达到4.1万吨,酸性气体达到2.3万立方米,由于真空镀膜设备逐渐应用到市场上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一个不可忽视的数据,为处理这大量的污染,大部分企业已投放了共5868.1亿元在污水治理方面,464.8亿元在固体废物治理方面,974.9亿元在酸性气体治理方面,但仍然有部分企业没有完善治理措施,造成大量污染。 使用真空镀膜设备进行电镀可以有效改善污染情况,它不像化学电镀需要使用重金属溶液和酸性溶液进行镀膜,而是在真空环境下利用蒸发或溅射方式进行镀膜,完全没有污染产生,是一种绿色低碳、符合可持续发展战略的产业,已经越来越多企业淘汰了旧方式化学电镀而转用真空电镀,但还有很多企业没意识到环保的重要性,不懂得绿色生产其实是为自己和后代创建美好生存环境的道理。 绿色环保产业是必然的发展趋势,造成严重污染的化学电镀终会退出历史舞台,取而代之的是真空电镀,利用真空镀膜机镀膜成为主流是不可质疑的。合肥铝铬靶价钱
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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