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靶中毒的影响因素

影响靶中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例，反应气体过量就会导致靶中毒。反应溅射工艺进行过程中靶表面溅射沟道区域内出现被反应生成物覆盖或反应生成物被剥离而重新暴露金属表面此消彼长的过程。如果化合物的生成速率大于化合物被剥离的速率，化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下，参与化合物生成的反应气体量增加，化合物生成率增加。如果反应气体量增加过度，化合物覆盖面积增加，如果不能及时调整反应气体流量，化合物覆盖面积增加的速率得不到***，溅射沟道将进一步被化合物覆盖，当溅射靶被化合物全部覆盖的时候，靶完全中毒，在靶面上沉积一层化合金属膜。使其很难被再次反应。 果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲。南京铪靶收费

（2）金属靶材与化合物靶材本来溅射速率就不一样，一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高，所以靶中毒后溅射速率低。（3）反应溅射气体的溅射效率本来就比惰性气体的溅射效率低，所以反应气体比例增加后，综合溅射速率降低。

5、靶中毒的解决办法

（1）采用中频电源或射频电源。

（2）采用闭环控制反应气体的通入量。

（3）采用孪生靶

（4）控制镀膜模式的变换：在镀膜前，采集靶中毒的迟滞效应曲线，使进气流量控制在产生靶中毒的前沿，确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。 南京铪靶收费所以如果是表面容易变质的靶材，如果不抛光去除表面变质部分，沉积到基材上的膜层性质就是表面变质的杂质。

PVD颜色膜之玫瑰金 玫瑰金，单从她那浪漫的名字，就能引起人们无数美妙的联想。在闪闪发光的黄金饰品与经典高雅的铂金饰品之后，色调柔和迷人的玫瑰金饰品渐成为时尚人士的“新宠”，以她特有的风格与文化，演绎出贵金属饰品的又一片崭新天地。通常玫瑰金由75％的黄金与其它合金组成（俗称三色金）。 硬度较纯金高，与传统的黄金和铂金相比，粉红色的玫瑰金不但能使有色宝石的色彩更加浓重，还体现了金属材质的精致、细腻。其粉红、玫瑰等暖色调给人们带来温暖与愉快；在款式上也是千姿百态，有心形、榄尖形、椭圆形、梨形、祖母绿形。各种风格迥异的饰品，可谓璀璨耀眼，女性无论是着职业装，还是晚礼服及吊带裙，与之相配都显出高雅的气质。 玫瑰金颜色近几年在手表行业非常流行，很多品牌都采用PVD在不锈钢表壳和表带上沉积玫瑰金涂层的方式进行，行业内叫IP玫瑰金，其工艺已经非常成熟。玫瑰金镀层一般有仿金层和玫瑰金层构成，底层的仿金层一般为TiCN，主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。

为什么需在真空中镀膜？ 在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜，事实上，如在压力不够低 ( 或者说真空度不够高 ) 的情况下同样得不到好的结果， 比如在10 2托数量级下蒸镀铝，得到的膜层不但不光亮，甚至发灰、发黑，而且机械强度极差，用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层破坏。 蒸镀必须在一定的真空条件下进行，这是因为： （1）较高的真空度可以保证汽化分子的平均自由程大于蒸发源到基底的距离。 由于气体分子的热运动，分子之间的碰撞也是极其频繁的，所以尽管气体分子运动的速度相当的高 ( 可达每秒几百米 ) 。 （2）在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下， 真空室内含有众多的残余气体分子( 氧、氮、水及碳氢化合物等 ) ，它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短；它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应； 它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜；它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命；它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行……。所以结论就活性金属靶材要求表面抛光，不活泼金属靶材不一定非要求表面抛光。其他非金属的靶材不需要抛光。

涂布技术在真空镀铝膜中的应用 将涂布技术与真空镀铝技术结合起来，通过在基材薄膜或镀铝薄膜上涂布功能层，以达到提高镀铝层的附着牢度、耐水煮性能、阻隔性能、装饰性能等，满足不同应用领域的要求。 一．经过等离子预处理的真空镀铝薄膜虽然镀铝层牢度有了明显提高，但对于一些对镀铝层附着牢度要求更高，或者需要用于水煮杀 菌条件时仍然不能满足要求。为了满足上述要求，通过在基材薄膜表面涂布一层丙烯酸类的化学涂层，该涂层不对镀铝层有优异的粘附性能，同时可以满足后续的水煮杀 菌条件。涂布后的包装可以满足巴氏杀 菌的要求，其镀铝层不会因为水煮而发生氧化。  二．为进一步提高镀铝膜的阻隔性能，同时保护镀铝层在后续的印刷、复合等加工过程中不被破坏，可以通过在镀铝层上涂布一层高阻隔的纳米涂层或聚合物涂层来实现。 三．为提高镀铝膜的装饰性能，在基材薄膜镀铝前或镀铝后进行各种颜色的涂布，或模压后再进行镀铝，使得镀铝膜具有多彩的颜色或具有镭射效果。此类产品可分为三种：包装用膜、装饰用膜、标示用膜。主要应用于礼品、礼盒的装饰或防伪包装用途，如食品、药品、玩具等的外包装以及酒等的防伪包装。一般靶材抛光后，溅射速率、电压等工艺参数比较稳定，容易控制。南京铪靶收费

5. 永磁靶表面场强是否下降太多？ ---------如果下降太多，需要更换磁钢。南京铪靶收费

但下列情况绑定有弊端：

1.熔点低的靶材，像铟、硒等，金属化的时候可能会变软变形；

2.贵金属靶材，一是实际重量易出现分歧，二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料，建议垫一片铜片。

三.背靶的选择

对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右；

导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好；

强度足够：太薄，易变形，不易真空密封；

结构要求：空心或者实心结构；

厚度适中：3mm左右，太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。 南京铪靶收费

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市，是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司，溅射靶材充分借鉴国外的先进技术，并通过与国内外知名研发机构合作，整合各行业资源优势，生产出多系列高品质溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属，合金，陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累，已经拥有：真空热压，冷压烧结，真空熔炼，热等静压，等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供高品质的靶材：平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台，冷压烧结炉一台，真空熔炼设备两台，等静压设备一台，等离子喷涂两套，绑定平台两套，各类机加工设备七台，检验设备若干，确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承：“一切以客户的需求为导向，客户的所有需求一次做好。”的发展理念。