苏州Gd靶材价格
技术实现要素:
本发明解决的问题是提供一种靶材抛光装置,有助于提高作业效率。
为解决上述问题,本发明提供一种靶材抛光装置,包括:固定板,所述固定板包括顶板和位于所述顶板一侧的侧板;抛光片,位于所述固定板内侧面上,其中位于固定板弯折处的抛光片呈弧状。
可选的,所述抛光片表面与靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱相匹配。
可选的,所述固定板内侧面弯折处形成夹角,位于所述固定板弯折处的所述抛光片的厚度不均。
可选的,所述固定板内侧面弯折处呈弧状,位于所述固定板弯折处的所述抛光片的厚度均匀。
可选的,所述固定板的材料为金属或合金。
可选的,所述抛光片为砂纸。
可选的,所述靶材抛光装置还包括:防护层,所述防护层位于所述固定板与所述抛光片之间。
可选的,所述防护层为弹性材料。
可选的,所述防护层的材料为***、橡胶或棉花。
可选的,所述靶材抛光装置还包括:把手,所述把手设置于所述固定板的外表面上。
可选的,所述把手的数量为两个,其中一个所述把手设置于所述固定板的顶部,另一个所述把手设置于所述固定板的侧壁上。 所以如果是表面容易变质的靶材,如果不抛光去除表面变质部分,沉积到基材上的膜层性质就是表面变质的杂质。苏州Gd靶材价格
真空离子镀的耐腐蚀性: 金属零件是要锈蚀的,但如果零件上镀有一层防蚀镀层,就能防止零件生锈。由于离子镀所获得的镀层致密度高,少,耐腐蚀性能好,并能沉积许多其他工艺至今不能沉积的优良防腐蚀镀层。因此,离子镀目前在镀防腐蚀材料方面应用广。如水上飞机的壁板及其他外表零件,可用此法镀复防止盐雾和海水腐蚀的防蚀镀层;与铝合金零件相配合的其他材料零件也可用此法镀铝,以防止电位差腐蚀。此外,随着飞机飞行速度和高度的提高以及宇宙探索的进展,钛合金的应用越来越多,如果仍象铝合金零件那样采用镀镉防腐蚀,使用中就有镉脆的危险;但如若镀以三氧化二铝,则能完全满足要求。不过电镀等工艺是无法镀这种材料的。离子镀却能大显神通。到目前为止,适合于用离子镀的防蚀材料除氧化铝以外,还有铬、钛、钽、不锈钢等。所镀的航空零件有螺钉、螺帽、铆钉、销钉、导管、接头、陀螺转子、精密齿轮、金属密封环等。无锡NiV靶材贴合选择能实现快速致密化的成形烧结技术,以保证靶材的低孔隙率,并控制晶粒度。
所述把手510包括杆状部511和第二杆状部512,所述杆状部511的一端连接所述顶板210,另一端连接所述第二杆状部512。所述杆状部511延伸方向与所述顶板210表面相垂直,所述第二杆状部512延伸方向与所述顶板210表面相平行。所述把手510的结构有利于操作人员牢固的抓握所述把手510,防止从所述把手510上滑脱。
在其他实施例中,所述固定板200内侧面弯折处呈弧状,所述防护层400弯折处呈弧状,位于所述固定板200弯折处的所述抛光片300的厚度均匀。
此外,与前一实施例不同的是,所述抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330为一体成型。且所述抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330厚度相等。
固定板200的厚度为10mm~15mm。若所述固定板200的厚度过大,使得所述固定板200的重量过大,不便于使用,影响操作的灵活性。若所述固定板200的厚度过小,导致所述固定板200的强度和韧性较差,影响所述靶材抛光装置100的使用寿命。
所述抛光片300表面与靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱相匹配。所述抛光片300表面具有磨砂颗粒,用于增加所述抛光片300与靶材表面间的摩擦力,以提高抛光效率。
抛光片300包括抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330。所述抛光片部分310设置于所述顶板210的底部。所述抛光片第二部分320设置于所述顶板210与所述侧板220的拐角处,且在所述抛光片部分310及抛光片第三部分330间平滑的过渡。所述抛光片第三部分330设置于所述侧板220的内侧面上,所述抛光片第三部分330表面与抛光片部分310表面垂直。 靶材磁控溅射的原理是什么?
本实施例中,所述防护层400的材料。在其他实施例中,所述防护层的材料还可以为橡胶或棉花。
本实施例中,所述防护层400与所述固定板200间通过粘结剂相粘接。所述防护层400与所述抛光片300间也通过粘结剂相粘接。在其他实施例中,所述抛光片朝向所述防护层的表面上具有勾刺结构(图中未示出),所述防护层与所述抛光片间通过所述勾刺结构相固定。
所述防护层400包括防护层和第二防护层,所述防护层覆盖所述顶板210底部表面;所述第二防护层覆盖所述侧板220的内侧面。所述防护层表面与第二防护层表面相垂直。 溅射过程不影响靶材合金、混合材质的比例和性质。合肥铟靶材费用
导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。苏州Gd靶材价格
靶材磁控溅射的原理是什么?磁控溅射原理:在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,溅射靶材在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。
在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。 磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。
而射频溅射的使用范围更大,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。溅射靶材射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。 苏州Gd靶材价格
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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