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气体压强对靶溅射电压的影响 在磁控溅射或反应磁控溅射镀膜的工艺过程中,工作气体或反应气体压强对磁控靶溅射电压能够造成一定的影响。 1.工作气体压强对靶溅射电压的影响 一般的规律是:在真空设备环境条件确定和靶电源的控制面板设置参数不变时,随着工作气体(如氩气)压强(0.1~10Pa)的逐步增加,气体放电等离子体的密度也会同步增加,致使等离子体等效阻抗减小,磁控靶的溅射电流会逐步上升,溅射工作电压亦会同步下降。 2. 反应气体压强对靶溅射电压的影响 在反应磁控溅射镀膜的工艺过程中,在真空设备环境条件确定和靶电源的控制面板设置参数不变时,随着反应气体(如氮气、氧气)压强(或流量)的逐步增加(一般应注意不要超过工艺设定值的上限值),随着磁控靶面和基片(工件)表面逐步被绝缘膜层覆盖,阴-阳极间放电的等效阻抗也会同步增高,磁控靶的溅射电流会逐步下降(直至“阴极中毒”和“阳极消失”为止),溅射工作电压亦会同步上升。在一定功率的情况下,参与化合物生成的反应气体量增加,化合物生成率增加。扬州Y2O3靶材贴合
磁控靶溅射沉积率的影响因素 溅射沉积率是表征成膜速度的参数,其沉积率高低除了与工作气体的种类与压力、靶材种类与“溅射刻蚀区“的面积大小、靶面温度与靶面磁场强度、靶源与基片的间距等影响因素外,还受靶面的功率密度,亦即靶电源输出的“溅射电压与电流”两个重要因素的直接影响。 1、溅射电压与沉积率 在影响溅射系数的诸因数中,当靶材、溅射气体等业已选定之后,比较起作用的就是磁控靶的放电电压。一般来说,在磁控溅射正常工艺范围内,放电电压越高,磁控靶的溅射系数就越大。 2、溅射电流与沉积率 磁控靶的溅射电流与靶面离子流成正比,因此对沉积率的影响比电压要大得多。增加溅射电流的办法有两个:一个是提高工作电压;另一个是适当提高工作气体压力。 3、溅射功率与沉积率 一般来说,磁控靶的溅射功率增高时,薄膜的沉积率速率也会变大;这里有一个先决条件,就是:加在磁控靶的溅射电压足够高,使工作气体离子在阴-阳极间电场中获得的能量,足以大过靶材的“溅射能量阀值”。扬州Y2O3靶材贴合在直流脉冲、中频溅射过程中,离子撞击的能量不足以破坏氧化皮。
常见的PVD装饰膜主要有几大色系: 1.IP玫瑰金(rose gold)是一种黄金和铜的合金,由于其具有非常时尚、靓丽的玫瑰红色彩,因而普遍用于首饰设计和加工。又称粉色金(pink gold)、红色金(red gold)。 2. IP金,用离子镀膜的方式,让靶材上的黄金沉积到要镀的工件之上,一般由仿金层和表面金层两层,表面金层的颜色与24K黄金一样,厚度可以根据客户的要求镀不同的厚度。 3. 仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黄金,一般成份是由TiN TiCN ZrN ZrCN等陶瓷化合物组成,但很难达到真金的亮度。 4. 银色系列,一般是铬的化合物,颜色深浅可调整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列带蓝调,金属光感好,暖色系列带黄调,接近不锈钢本色。 5. 黑色系列,一般是成份是金属的碳化物,颜色深浅可以调整,色调根据客户的要求也可以调整,不同的金属碳化物具有不同的特性和色调,可以根据客户的需要选择不同的膜系。 6. 蓝色系列,有天空蓝,冰蓝色,海洋蓝,深蓝等等,不同色系成份也有所不一样。
作为本发明推荐的技术方案,所述靶材的比较大厚度为28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明推荐的技术方案,所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板。
作为本发明推荐的技术方案,所述靶材呈凹形结构。
作为本发明推荐的技术方案,所述靶材包括用于溅射的溅射面。
推荐地,所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面。
作为本发明推荐的技术方案,所述斜面与水平面的夹角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列举的数值,该范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明推荐的技术方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之间。
推荐地,所述平面为圆形。
推荐地,所述第二平面为环形。 因为用处不一样,所以不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。
真空镀膜机在塑胶行业的应用 真空镀膜机应该普遍,在塑料行业的应该也很普遍。而塑胶在生活,工业,电器,航空等领域都有涉及。塑胶具有易成型,价格便宜,质量轻,防腐蚀等优点,但塑胶的缺点也比较突出,其缺点也制约了塑胶的应用范围,如不美观、易老化、机械性能差、易碎易变型、耐热差等。通过真空镀膜机的应用,使塑胶表面镀上特定膜层,东莞汇成真空自主研发生产的蒸发真空镀膜设备将镀膜机材料和塑胶产吕完美结合,提高了塑胶制品的物理、化学性能。 一、改善表面硬度,原塑胶表面比金属软而易受损害,通过真空镀膜,硬度及耐磨性增加; 二、使塑料表面有导电性; 三、容易清洗,不吸尘; 四、改善塑胶外观,表面光滑,金属感强,色泽光鲜,装饰性提高。有一部分靶材在安装之前需要抛光,比如铝靶材等活性金属靶材,长期暴露在大气中,表面容易形成一层氧化皮。南京碲靶材费用
溅射出靶材的原子、原子团、离子、电子、光子等,原子、离子、原子团沉积到基材上形成薄膜。扬州Y2O3靶材贴合
真空离子镀在航空航天方面的应用: 在现代飞机、航空发动机或航空仪表中,特别是在航宇器,如宇宙飞船、人造卫星中,有不少旋转零件都要求有良好的润滑,但往往由于封存过久、环境温度过高或太空挥发等原因,普通油脂润滑剂已不再适用,从而提出以固体润滑剂代替。试验表明,用离子镀来制作固体润滑膜,比现有其他方法为优。不但附着力强,镀层又薄又匀,不影响零件的尺寸精度和公差配合。经济性也好,少许润滑材料即可镀很大面积。润滑膜的质量也较好,摩擦系数小,使用寿命也长。例如有一个人造卫星上的精密轴承,未镀前工作寿命为几分钟,根本无法使用;但是经离子镀固体润滑膜后,则可在飞行中可靠地工作数千小时之久。离子镀不能够镀许多种常温固体润滑材料,而且还能镀复各种高温固体润滑材料,有的甚至可以在摄氏八百度以上的高温下发挥良好的润滑作用。可镀的固体润滑材料有银、金、铜、铅、铅锡合金、氟化物等。扬州Y2O3靶材贴合
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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