Zn靶材调试
通过所述靶材抛光装置100同时对所述靶材600相交接的两个侧壁表面630进行抛光。具体的,所述抛光片部分310与所述靶材600的一个侧壁表面630相贴合,所述抛光片第三部分330表面与所述靶材600的另一个侧壁表面630相贴合,所述抛光片第二部分320表面与位于两个侧壁表面630间的侧棱601表面相贴合。操作人员相对所述靶材600移动所述靶材抛光装置100,移动方向平行与被抛光的所述侧棱601延伸方向,从而可同时对所述靶材600的两个侧壁表面630进行抛光,且还同时对位于两个侧壁表面630间的侧棱601表面进行抛光,有助于提高抛光作业效率。
虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。 在受到离子轰击之后,释放的二次电子数量增加,提高空间的导通能力,降低等离子体阻抗,导致溅射电压降低。Zn靶材调试
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.95mm;所述靶材表面的硬度为23hv;
其中,所述靶材的比较大厚度为27mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之间;所述平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钽;所述背板的材质包括铝。
所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。
实施例7
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.75mm;所述靶材表面的硬度为22hv;
其中,所述靶材的比较大厚度为20mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为9°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钛;所述背板的材质包括铜。
所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。 Zn靶材调试换靶材后需要重新调功率匹配器的,只有功率匹配调好了才能正常起辉。
所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。
实施例4
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.9mm;所述靶材表面的硬度为25hv;
其中,所述靶材的比较大厚度为24mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述***平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括铝;所述背板的材质包括铜。
所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。
实施例5
本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.82mm;所述靶材表面的硬度为21hv;
什么是DLC薄膜? 类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜,是英文词汇Diamond Like Carbon的简称,它是一类性质近似于金刚石,具有高硬度,高电阻率。良好光学性能等,同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式,从而使其终产生不同的物质:金刚石(diamond)—碳碳以 sp3键的形式结合;石墨(graphite)—碳碳以sp2键的形式结合。 而类金刚石(DLC)—碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合,生成的无定形碳的一种亚稳定形态,它没有严格的定义,可以包括很宽性质范围的非晶碳,因此兼具了金刚石和石墨的优良特性;所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,而在含氢的DLC膜中还存在一定数量的C-H键。不抛光去除表面变质部分,沉积到基材上的膜层性质就是表面变质的杂质。
所述把手510包括杆状部511和第二杆状部512,所述杆状部511的一端连接所述顶板210,另一端连接所述第二杆状部512。所述杆状部511延伸方向与所述顶板210表面相垂直,所述第二杆状部512延伸方向与所述顶板210表面相平行。所述把手510的结构有利于操作人员牢固的抓握所述把手510,防止从所述把手510上滑脱。
在其他实施例中,所述固定板200内侧面弯折处呈弧状,所述防护层400弯折处呈弧状,位于所述固定板200弯折处的所述抛光片300的厚度均匀。
此外,与前一实施例不同的是,所述抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330为一体成型。且所述抛光片部分310、抛光片第二部分320及抛光片第三部分330厚度相等。 靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。镇江V2O5靶材工厂
对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快。Zn靶材调试
3D玻璃渐变色的应用 3D玻璃渐变色主要应用于3C产品,特别是手机领域。随着双玻璃加金属边框的盛行,3D后盖装饰工艺需要不断革新。现有的装饰工艺主要是在装饰防爆膜上进行镀膜丝印,再与3D玻璃贴合实现装饰效果,外观装饰主要还是防爆膜纹理和镀膜颜色搭配实现。渐变色效果可以通过多种途径实现,包括:印刷、转印、真空镀膜、喷涂等。由于技术的瓶颈问题,现在量产的3D玻璃渐变主要有印刷和真空镀膜两种途径。 渐变效果可大致分为同色渐变、邻近色渐变、对比色渐变。渐变颜色的选择对于印刷工艺的限制会小一些,选择范围更加宽。印刷工艺可以选择对应颜色及对应颜色带范围进行印刷,能够实现较为多元化的色彩冲撞效果,满足设计者的不同变色需求;作为手机多会选择的真空镀膜装饰工艺,对于渐变色的装饰效果也可以达到梦幻流畅的效果,但色彩变化会有一定限制。 真空镀膜渐变只能遵循颜色光谱变化规律:红橙黄绿蓝靛紫顺序渐变,难以实现颜色的跨越,当然,有的设计者也会通过其他工艺的叠加实现更多元化的渐变效果。Zn靶材调试
江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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