镇江Fe靶材

铝钪合金靶材（AlSc)，尺寸按需求定制，比列按需求定制，含钪比较高能做到AlSc45wt%，质量优异，杂质含量低，欢迎新老客户来电咨询洽谈。江阴典誉新材料科技有限公司生产的金属钪，品质优异，**全球。铝钪合金生产历史悠久，拥有丰富的经验，目前推出的铝钪合金靶材已被微电子行业大型厂商采用。相关靶材清单如下：稀土合金靶材：铝钪AlSc;铈钆CeGd;铈镁CeMg;铈钐CeSm;镝钴DyCo;镝铁DyFe;钆铜GdCu;钆铁GdFe;钬铜HoCu;镧铝LaAl;镧镍LaNi;铝钕AlNd;钕铁NdFe;钕铁硼NdFe；镍镁铈NiMgCe;镍镁铁铈NiMgFeCe;铽镝铁TbDyFe;铽铁TbFe;钇铝YAl;钇铜YCu;钇铁YFe;钇镁YMg;钇镍YNi;钇锆ZrY纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。镇江Fe靶材

真空离子镀耐高温性能：   航空零件，特别是许多发动机零件往往需要在高温下工作。例如涡轮叶片及导向叶片工作温度通常在摄氏一千度左右，有的甚至达摄氏一千四百度。神话小说《西游记》里孙悟空被太上老君放在炉内烧炼时，恐怕也达不到这么高的温度吧。现代航空发动机零件在这样高的温度下工作，依赖零件基体材料本身的性能是很难满足要求的。那么，发动机零件怎样才能不怕高温烧蚀呢?目前除在零件结构上采取措施(如采用空心冷却叶片、发散冷却叶片等)以外，大都需用耐热镀层进行保护。离子镀对于沉积耐热膜有相当多的优点，能镀各种高熔点材料，如氧化铝、氧化硅、氧化铍、铪合金等。合金镀层的成份也比较容易控制，适合于镀成分较复杂的耐热合金，如铁铬铝钇，钴铬铝钇或镍铬铝钇合金等。   目前涡轮叶片是试图采用离子镀耐热镀层的主要对象。据悉，有一种叶片用此法镀复一种镍铬铝钇合金后，其高温工作寿命比镀铝提高了三倍。适于采用离子镀耐热镀层的发动机零件还有涡轮盘、气缸活塞零件等。有些零件经过这种先进工艺处理后，可在高温下工作上千小时。无锡钽靶材图片所以如果是表面容易变质的靶材，如果不抛光去除表面变质部分，沉积到基材上的膜层性质就是表面变质的杂质。

所述靶材的比较大厚度为23mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为1°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括铝；所述背板的材质包括铜和铝。所得靶材组件溅射强度好，使得溅射过程中薄膜厚度均匀，使用寿命增加。实施例6本实施例提供一种长寿命靶材组件，所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.95mm；所述靶材表面的硬度为23hv；其中，所述靶材的比较大厚度为27mm；所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形结构；所述靶材包括用于溅射的溅射面；所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面与水平面的夹角为3°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之间；所述***平面为圆形；所述第二平面为环形；所述靶材的材质包括钽；所述背板的材质包括铝。

靶中毒的解决办法（1）采用中频电源或射频电源。（2）采用闭环控制反应气体的通入量。（3）采用孪生靶（4）控制镀膜模式的变换：在镀膜前，采集靶中毒的迟滞效应曲线，使进气流量控制在产生靶中毒的前沿，确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。磁控溅射不起辉的常见原因有哪些，怎么应对？磁控溅射金属靶时，无法起辉的原因有很多，常见主要原因有：1.靶材安装准确否?2.靶材表面是否干净------------金属靶表面氧化或有不清洁物质，打磨清理干净后即可。3.起辉电源是否正常------------检查靶电源。4.靶与地线之间短路----------关掉机器，把设备的溅射靶卸下来，靶附近的零件仔细清洗一下；----------压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离，调整距离即可。5.永磁靶表面场强是否下降太多？---------如果下降太多，需要更换磁钢。6.起辉溅射真空度与前次的差别？---------更换不同的靶材，起辉压强不尽相同。换靶材后需要重新调功率匹配器的，只有功率匹配调好了才能正常起辉。一般情况下金属的溅射系数要比化合物的溅射系数高，所以靶中毒后溅射速率低。

高纯金属的纯度分析原则： 高纯金属材料的纯度一般用减量法衡量。减量计算的杂质元素主要是金属杂质，不包括C ,O ,N ,H等间隙元素，但是间隙元素的含量也是重要的衡量指标，一般单独提出。依应用背景的不同，要求进行分析的杂质元素种类少则十几种, 多则70多种。简单的说高纯金属是几个N(九) 并不能真正的表达其纯度, 只有提供杂质元素和间隙元素的种类及其含量才能明确表达高纯金属的纯度水平。 高纯金属的纯度检测应以实际应用需要作为主要标准，例如目前工业电解钴的纯度一般接99.99 % ,而且检测的杂质元素种类较少。我国电解钴的有色金属行业标准(YS/ T25522000)要求分析C ,S ,Mn , Fe, Ni , Cu , As , Pb , Zn , Si , Cd , Mg , P , Al , Sn ,Sb , Bi等17 个杂质元素, Co9998电解钴的杂质总量不超过0.02，但这仍然不能满足功能薄膜材料材料的要求[2]。密度也是靶材的关键性能指标之一。无锡钽靶材图片

一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间，当发生靶中毒时，溅射电压会降低。镇江Fe靶材

钎焊：一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/cm2，钎料常用In、Sn、In-Sn；导电胶：采用的导电胶要耐高温，厚度在0.02-0.05um。二.绑定的适用范围：建议绑定的靶材：ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材；锡、铟等软金属靶；靶材太薄、靶材太贵的情况等。但下列情况绑定有弊端：1.熔点低的靶材，像铟、硒等，金属化的时候可能会变软变形；2.贵金属靶材，一是实际重量易出现分歧，二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料，建议垫一片铜片。三.背靶的选择对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右；导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好；强度足够：太薄，易变形，不易真空密封；结构要求：空心或者实心结构；厚度适中：3mm左右，太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。镇江Fe靶材

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