苏州硫化钼靶材作用

时间:2021年12月04日 来源:

磁控溅射制备非晶硅薄膜   本实验采用石英玻璃为衬底,实验前先将玻璃衬底浸泡在溶液中,放到JHN- 4F(200 W)超声波清洗机清洗30 min;然后用分析乙醇同样在超声波清洗机中清洗30 min; 放入装有去离子水的烧杯中在超声波清洗器中清洗约30 min 后晾干。然后以高纯硅为靶材在JGP500型超高真空磁控溅射设备上,分别采用直流和射频方式制备了两块样品。在溅射前,预溅射5 min以除去靶材表面氧化物。1# 样品采用直流磁控溅射方式, 溅射功率为100 W, 本底真空度6×10- 4 Pa , 溅射时间20 min,溅射气压0.5 Pa,衬底温度为室温。2#样品采用射频磁控溅射方式,溅射功率150 W,本底真空度6×10- 4 Pa,溅射时间120 min,溅射气压2.0 Pa,衬底温度为室温。样品1# 和2# 均切为3 小块,其中各保留一小块不做退火处理,其他的小块样品处理情况为1#750℃、1#850℃,2#750℃、2#850℃在马弗炉中退火1h。将1# 和2#未处理样品用拉曼激光诱导方法,研究非晶硅薄膜的晶化过程。选择能实现快速致密化的成形烧结技术,以保证靶材的低孔隙率,并控制晶粒度。苏州硫化钼靶材作用

靶材的比较大厚度为30mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述***平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钛;所述背板的材质包括铜。所得靶材组件溅射强度好,使得溅射过程中薄膜厚度均匀,使用寿命增加。本实施例提供一种长寿命靶材组件,所述靶材表面的比较高点和比较低点的垂直距离为5.8mm;所述靶材表面的硬度为22hv;其中,所述靶材的比较大厚度为28mm;所述靶材组件还包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形结构;所述靶材包括用于溅射的溅射面;所述溅射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面与水平面的夹角为3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之间;所述***平面为圆形;所述第二平面为环形;所述靶材的材质包括钽;所述背板的材质包括铜。常州Sm2O3靶材绑定靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。

顶板210与所述侧板220为一体成型。在其他实施例中,所述顶板与所述侧板还可以采用焊接、螺接或紧密配合方式固定连接。固定板200的材料为合金,具体的,所述固定板200的材料为不锈钢。在其他实施例中,所述固定板的材料还可以为金属。固定板200的厚度为10mm~15mm。若所述固定板200的厚度过大,使得所述固定板200的重量过大,不便于使用,影响操作的灵活性。若所述固定板200的厚度过小,导致所述固定板200的强度和韧性较差,影响所述靶材抛光装置100的使用寿命。抛光片300表面与靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱相匹配。所述抛光片300表面具有磨砂颗粒,用于增加所述抛光片300与靶材表面间的摩擦力,以提高抛光效率。所述抛光片300为砂纸。

真空镀膜机在塑胶行业的应用  真空镀膜机应该普遍,在塑料行业的应该也很普遍。而塑胶在生活,工业,电器,航空等领域都有涉及。塑胶具有易成型,价格便宜,质量轻,防腐蚀等优点,但塑胶的缺点也比较突出,其缺点也制约了塑胶的应用范围,如不美观、易老化、机械性能差、易碎易变型、耐热差等。通过真空镀膜机的应用,使塑胶表面镀上特定膜层,东莞汇成真空自主研发生产的蒸发真空镀膜设备将镀膜机材料和塑胶产吕完美结合,提高了塑胶制品的物理、化学性能。 一、改善表面硬度,原塑胶表面比金属软而易受损害,通过真空镀膜,硬度及耐磨性增加; 二、使塑料表面有导电性; 三、容易清洗,不吸尘; 四、改善塑胶外观,表面光滑,金属感强,色泽光鲜,装饰性提高。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400V-600V之间,当发生靶中毒时,溅射电压会降低。

根据客户需要的比例计算、配料。(严格按照需求比例进行配料,以便保证合金的成分比例,降低公差);根据元素的熔点、元素特性、用量等选择合适的熔炼炉工艺排期、熔炼;熔炼成型,根据客户要求大小进行破碎、切割等后期处理。高纯靶,靶靶材钯颗粒,钯粉,钯靶材规格说明:产品规格靶材可定制产品数量1000包装说明双层真空包装价格说明1000◆产品说明:高纯靶,靶靶材钯颗粒,钯粉,钯靶材钯,是银白色过渡金属,较软,有良好的延展性和可塑性,能锻造、压延和拉丝。块状金属钯能吸收大量氢气,使体积胀大,变脆乃至破裂成碎片。原子量:106.4密度(20℃)/g•cm-3:12.02熔点/℃:1552蒸发温度/℃:1460沸点/℃:3140汽化温度/℃:当溅射靶被化合物全部覆盖的时候,靶完全中毒,在靶面上沉积一层化合金属膜。常州钛酸锶钡靶材贴合

需要后续热加工和热处理工艺降低其孔隙率。苏州硫化钼靶材作用

中频双靶反应磁控溅射与直流反应磁控溅射相比具有以下几个显巨优点:   (1)消除了靶面打弧放电现象,中频反应磁控溅射镀制的绝缘薄膜与直流反应磁控溅射镀制的同种膜相比,膜面缺 陷要少几个数量级;   (2)可以得到比直流反应磁控溅射高出数倍的溅射沉积速率;   (3)中频双靶反应磁控溅射的整个溅射沉积过程,可以始终稳定在所设定的工作点上,为大规模工业化稳定生产提供了条件。   选用非对称双极脉冲靶电源与选用“双靶-中频靶电源”不同,使用单个磁控靶进行反应磁控溅射,调节相应的镀膜工艺参数,可以消除磁控靶面打弧放电现象和实现长时间稳定的薄膜沉积,可以达到上述“中频-双靶反应磁控溅射”的同样效果。苏州硫化钼靶材作用

江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。

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