武汉钛靶材图片
通过所述靶材抛光装置100同时对所述靶材600相交接的两个侧壁表面630进行抛光。具体的,所述抛光片部分310与所述靶材600的一个侧壁表面630相贴合,所述抛光片第三部分330表面与所述靶材600的另一个侧壁表面630相贴合,所述抛光片第二部分320表面与位于两个侧壁表面630间的侧棱601表面相贴合。操作人员相对所述靶材600移动所述靶材抛光装置100,移动方向平行与被抛光的所述侧棱601延伸方向,从而可同时对所述靶材600的两个侧壁表面630进行抛光,且还同时对位于两个侧壁表面630间的侧棱601表面进行抛光,有助于提高抛光作业效率。虽然本发明披露如上,但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与修改,因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。靶材绑定的定义。溅射靶材的分类有哪些?武汉钛靶材图片
溅射靶材的分类有哪些?金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材,氮化物陶瓷溅射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材,硅化物陶瓷溅射靶材,硫化物陶瓷溅射靶材,碲化物陶瓷溅射靶材,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),砷化铅靶材(PbAs),砷化铟靶材(InAs)。1.金属靶材:镍靶、Ni、钛靶、T溅射靶材i、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、溅射靶材不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等。安徽Gd2O3靶材由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。九.什么是靶材绑定主要从靶材绑定的定义,适用范围和背靶的选择三个方面来为大家介绍一下靶材绑定。一.靶材绑定的定义靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要由三种方式:压接、钎焊和导电胶。1.压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮;
技术实现要素:本发明解决的问题是提供一种靶材抛光装置,有助于提高作业效率。为解决上述问题,本发明提供一种靶材抛光装置,包括:固定板,所述固定板包括顶板和位于所述顶板一侧的侧板;抛光片,位于所述固定板内侧面上,其中位于固定板弯折处的抛光片呈弧状。可选的,所述抛光片表面与靶材侧壁表面及经圆角处理的侧棱相匹配。可选的,所述固定板内侧面弯折处形成夹角,位于所述固定板弯折处的所述抛光片的厚度不均。可选的,所述固定板内侧面弯折处呈弧状,位于所述固定板弯折处的所述抛光片的厚度均匀。可选的,所述固定板的材料为金属或合金。可选的,所述抛光片为砂纸。可选的,所述靶材抛光装置还包括:防护层,所述防护层位于所述固定板与所述抛光片之间。可选的,所述防护层为弹性材料。可选的,所述防护层的材料为***、橡胶或棉花。可选的,所述靶材抛光装置还包括:把手,所述把手设置于所述固定板的外表面上。可选的,所述把手的数量为两个,其中一个所述把手设置于所述固定板的顶部,另一个所述把手设置于所述固定板的侧壁上。靶材安装及注意事项有哪些?
中频双靶反应磁控溅射与直流反应磁控溅射相比具有以下几个显巨优点: (1)消除了靶面打弧放电现象,中频反应磁控溅射镀制的绝缘薄膜与直流反应磁控溅射镀制的同种膜相比,膜面缺 陷要少几个数量级; (2)可以得到比直流反应磁控溅射高出数倍的溅射沉积速率; (3)中频双靶反应磁控溅射的整个溅射沉积过程,可以始终稳定在所设定的工作点上,为大规模工业化稳定生产提供了条件。 选用非对称双极脉冲靶电源与选用“双靶-中频靶电源”不同,使用单个磁控靶进行反应磁控溅射,调节相应的镀膜工艺参数,可以消除磁控靶面打弧放电现象和实现长时间稳定的薄膜沉积,可以达到上述“中频-双靶反应磁控溅射”的同样效果。
导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。安徽Gd2O3靶材
适用范围和背靶的选择三个方面来为大家介绍一下靶材绑定。武汉钛靶材图片
真空离子镀在航空航天方面的应用: 在现代飞机、航空发动机或航空仪表中,特别是在航宇器,如宇宙飞船、人造卫星中,有不少旋转零件都要求有良好的润滑,但往往由于封存过久、环境温度过高或太空挥发等原因,普通油脂润滑剂已不再适用,从而提出以固体润滑剂代替。试验表明,用离子镀来制作固体润滑膜,比现有其他方法为优。不但附着力强,镀层又薄又匀,不影响零件的尺寸精度和公差配合。经济性也好,少许润滑材料即可镀很大面积。润滑膜的质量也较好,摩擦系数小,使用寿命也长。例如有一个人造卫星上的精密轴承,未镀前工作寿命为几分钟,根本无法使用;但是经离子镀固体润滑膜后,则可在飞行中可靠地工作数千小时之久。离子镀不能够镀许多种常温固体润滑材料,而且还能镀复各种高温固体润滑材料,有的甚至可以在摄氏八百度以上的高温下发挥良好的润滑作用。可镀的固体润滑材料有银、金、铜、铅、铅锡合金、氟化物等。
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江阴典誉新材料科技有限公司地处江苏省江阴市,是一家专业生产溅射靶材和蒸发材料的公司,溅射靶材充分借鉴国外的先进技术,并通过与国内外**研发机构合作,整合各行业资源优势,生产出多系列***溅射靶材产品。 公司目前主要生产金属,合金,陶瓷三大类靶材产品。经过几年的发展和技术积累,已经拥有:真空热压,冷压烧结,真空熔炼,热等静压,等离子喷涂等技术。另外也可根据客户要求研发新型靶材并提供靶材金属化、绑定和背板服务。 江阴典誉新材料科技有限公司已为以下行业提供***的靶材:平面显示、装饰与工具、太阳能光伏和光热、电子和半导体、建筑与汽车玻璃大面积镀膜等工业领域。同时也为国内外各大院校和研究所提供了很多常规和新型的试验用靶材。 江阴典誉目前拥有真空热压炉两台,冷压烧结炉一台,真空熔炼设备两台,等静压设备一台,等离子喷涂两套,绑定平台两套,各类机加工设备七台,检验设备若干,确保出厂的每件产品都能达到甚至超过客户的预期。 江阴典誉秉承:“一切以客户的需求为导向,客户的所有需求一次做好。”的发展理念。
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