宝石抛光液用途

时间:2021年01月09日 来源:

化学机械抛光液作为半导体工艺中的辅助材料,主要应用于抛光片和分立器 件制造过程中的抛光过程。因此,抛光液主要应用于半导体行业(抛光片和分立器件)、集成电路行业和电子信息产业。

化学机械抛光技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一,并用于集成电路制造过程的各阶段表面平整化,而抛光液对抛光效率和加工质量有着重要的影响,但由于具有很高的技术要求,目前商业化的抛光液配方处于完全保密状态,主要集中在美国、日本、韩国。这也导致在我国半导体硅抛光片加工中,所使用的抛光液绝大多数都要靠进口。尽管我国目前在抛光液行业现已发展到有几十家的企业,但是真正涉足到半导体硅片抛光液制造、研发方面的企业很少。无论是产品质量上、还是在市场占有率方面,国内企业都表现出与国外厂家具有相当的差距。 本公司销售的氧化硅抛光液纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。宝石抛光液用途

多晶金刚石抛光液  

多晶金刚石抛光液以多晶金刚石微粉为主要成分,配合**散性配方,可以在保持高切削率的同时不易对研磨材质产生划伤。

主要应用于蓝宝石衬底的研磨、LED芯片的背部减薄、光学晶体以及硬盘磁头等的研磨和抛光。  

氧化硅抛光液(CMP抛光液)  

CMP抛光液是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。 ***用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。   

氧化铈抛光液  

氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。  适用于高精密光学仪器,光学镜头,微晶玻璃基板,晶体表面、集成电路光掩模等方面的精密抛光。  

氧化铝和碳化硅抛光液  

是以超细氧化铝和碳化硅微粉为磨料的抛光液,主要成分是微米或亚微米级的磨料。 主要用于高精密光学仪器、硬盘基板、磁头、陶瓷、光纤连接器等方面的研磨和抛光。 四川中性抛光液加工氧化铝抛光液凭仗较高的抛光速率在蓝宝石抛光液中有很好的运用远景。


  在化学机械抛光中运用的氧化铝磨料,常选用硬度大、性能安稳、不溶于水、不溶于酸碱的纳米α-Al2O3。作为化学机械抛光磨料,氧化铝颗粒的巨细、形状、粒度散布都影响抛光效果。在LED行业,CMP抛光液中常选用粒径50∼200 nm、粒径散布均匀的纳米α-Al2O3。近年来对α-Al2O3磨料颗粒的研讨主要会集在纳米级球形颗粒的制备上。常见制备办法有以下几种。

  固相法。其间的硫酸铝铵热解法、改进拜尔法、爆炸法等是比较老练的制备办法。固相法制备超细粉体的流程简单,无需溶剂,产率较高,但生成的粉体易发作聚会,且粒度不易操控,难以得到散布均匀的小粒径的高质量纳米粉体。

  气相法。主要有化学气相沉淀法,经过加热等方式改动物质形态,在气体状态下发作反响,之后在冷却进程中形成颗粒。气相法的长处是反响条件能够操控、产品易精制,颗粒涣散性好、粒径小、散布窄,但产出率低,粉末难搜集。

  液相法。常见的有水解、喷雾干燥、溶胶凝胶、乳化等几种办法。液相法的长处体现在:可准确操控产品的化学组成,纳米粒子的外表活性高,形状简单操控涣散均匀,生产成本比较低,简单实现工业化生产。


纳米级抛光液制备方法:本发明属于研磨料技术领域,由纳米级金刚石粉、非离子型分散稳定剂、抗静电剂、净洗剂、和C9以下轻质白油或石脑油组成,其制备方法为将纳米金刚石机械研磨成粉体,烘干;加入分散稳定剂,加热混合使粉体润湿;加入白油或石脑油,抗静电剂,净洗剂,以及适量pH值调节剂,并不断搅拌,将混合物分散成悬浮液。本发明将产品的表面抛光质量提高到亚纳米量级,以适应于计算机磁头、光学器件和陶瓷等高精度表面研磨和抛光之用。多晶金刚石抛光液用于蓝宝石衬底的研磨、LED芯片的背部减薄、光学晶体以及硬盘磁头等的研磨和抛光。

抛光液现在市场上运用最为***的几种磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其间,SiO2抛光液选择性、涣散性好,机械磨损性能较好,化学性质生动,而且后清洗进程处理较简单;缺点为在抛光进程中易发作凝胶,对硬底资料抛光速率低。CeO2抛光液的长处是抛光速率高,资料去除速率高;缺点是黏度大、易划伤,且选择性欠好,后续清洗困难。Al2O3抛光液的缺点在于选择性低、涣散安稳性欠好、易聚会等,但对于硬底资料蓝宝石衬底等却具有***的去除速率。本公司的纳米抛光液适合普通玻璃抛光,工艺玻璃抛光。碱性抛光液生产工艺

抛光液具有性能稳定、***,对环境无污染等优点。宝石抛光液用途

氧化铝抛光液适用于金相样品的最终抛光,纳米级的悬浮液,如同牛奶般丝滑有质感,静止一定时间后,溶剂和氧化铝颗粒会自然分层,上层呈半透明水样,氧化铝颗粒沉积在下层,使用前需要摇匀。摇匀后的氧化铝抛光液就跟牛奶似的了。做铸铁、钢、不锈钢、铜、聚合物、矿物质、微电子、贵金属等金相样品制备的实验室一般都会常备氧化铝抛光液。

氧化铝抛光液作为最终抛光液,是为了去除样品表面肉眼不可见的表面变形层。尤其是使用高倍物镜、偏振光、微分干涉或EBSD 技术,来检测、评定样品时,去除这种微小变形是必需的。 宝石抛光液用途

苏州豪麦瑞材料科技有限公司是一家苏州豪麦瑞材料科技有限公司(Homray Material Company)成立于2014年,是由一群在半导体行业从业多年的专业团队所组成,专注于半导体技术和资源的发展与整合,现以进口碳化硅晶圆,供应切割、研磨及抛光等相关制程的材料与加工设备,氧化铝研磨球,氧化锆研磨球,陶瓷研磨球,陶瓷精加工,抛光液。的公司,致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。豪麦瑞材料科技作为苏州豪麦瑞材料科技有限公司(Homray Material Company)成立于2014年,是由一群在半导体行业从业多年的专业团队所组成,专注于半导体技术和资源的发展与整合,现以进口碳化硅晶圆,供应切割、研磨及抛光等相关制程的材料与加工设备,氧化铝研磨球,氧化锆研磨球,陶瓷研磨球,陶瓷精加工,抛光液。的企业之一,为客户提供良好的陶瓷研磨球,碳化硅,陶瓷精加工,抛光液。豪麦瑞材料科技始终以本分踏实的精神和必胜的信念,影响并带动团队取得成功。豪麦瑞材料科技始终关注化工市场,以敏锐的市场洞察力,实现与客户的成长共赢。

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