二维轮廓仪推荐型号
我们的轮廓仪有什么优势呢
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非接触式轮廓仪(光学轮廓仪)是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器,可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。(本段来自网络) 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石。二维轮廓仪推荐型号
轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别:
关于轮廓仪和粗糙度仪
轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状,比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。
但是,轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切,现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机,就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块,这样既可以测量轮廓尺寸,又可以测量粗糙度,市场上典型产品就是中图仪器的SJ5701粗糙度轮廓仪。
在结构上,轮廓仪基本上都是台式的,而粗糙度仪以手持式的居多,当然也有台式的。 美国轮廓仪参数LED光源通过多针 孔盘(MPD)和物镜聚焦到样品表面上,从而反射光。
轮廓仪的功能:
廓测量仪能够对各种工件轮廓进行长度、高度、间距、水平距离、垂直距离、角度、圆弧半径等几何参数测量。测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。
白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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轮廓仪在集成电路的应用
封装bump测量
视场:72*96(um)物镜:干涉50X 检测位置:样品局部
面减薄表面粗糙度分析
封装:300mm硅片背面减薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D显示;线粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多层结构台阶高 MEMS 器件多层结构分析、工艺控制参数分析
激光隐形切割工艺控制 世界唯 一的能够实现激光槽宽度、深度自动识别和数据自动生成,大 大地缩
短了激光槽工艺在线检测的时间,避免人工操作带来的一致性,可靠性问题
欢迎咨询。 轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用。
轮廓仪、粗糙度仪、三坐标的区别
关于轮廓仪和粗糙度仪
轮廓仪与粗糙度仪不是同一种产品,轮廓仪主要功能是测量零件表面的轮廓形状,比如:汽车零件中的沟槽的槽深、槽宽、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圆柱表面素线的直线度等参数。总之,轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量,通俗地讲,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老国标叫光洁度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微观情况。
关于三坐标测量轮廓度及粗糙度
三坐标测量机是不能测量粗糙度的,至于测量零件的表面轮廓 ,要视三坐标的测量精度及零件表面轮廓度的要求了,如果你的三坐标测量机精度比较高,但零件轮廓度要求不可,是可以用三坐标来代替的。一般三坐标精度都在2-3um左右,而轮廓仪都在2um以内,还有就是三坐标可以测量大尺寸零件的轮廓,因为它有龙门式三坐标和关节臂三坐标,而轮廓仪主要是用来测量一些小的精密零件轮廓尺寸的,加上粗糙度模块也可以测量粗糙度。 由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷。二维轮廓仪推荐型号
包含了从纳米到微米级别的轮廓、线粗糙度、面粗糙度等二维、三维参数,作为评定该物件是否合格的标准。二维轮廓仪推荐型号
满足您需求的轮廓仪
使用范围广: 兼容多种测量和观察需求
保护性: 非接触式光学轮廓仪
耐用性更强, 使用无损
可操作性:一键式操作,操作更简单,更方便
智能性:特殊形状能够只能计算特征参数
个性化: 定制化客户报告模式
更好用户体验: 迅捷的售后服务,个性化应用软件支持
1.精度高,寿命长---采用超高精度气浮导轨作为直线测量基准,具有稳定性好、承载大、永不磨损等优点,达到国内同类产品较高精度。 2.高精度光栅尺及进口采集卡---保证数据采样分辨率,准确度高,稳定性好。(网络) 二维轮廓仪推荐型号