Nano X-2000轮廓仪价格怎么样

时间:2021年05月28日 来源:

白光干涉轮廓仪对比激光共聚焦轮廓仪

白光干涉3D显微镜:

干涉面成像,

多层垂直扫描

最 好高度测量精度:< 1nm

高度精度不受物镜影响


性价比好

激光共聚焦3D显微镜:

点扫描合成面成像,

多层垂直扫描

Keyence(日本)

最 好高度测量精度:~10nm

高度精度由物镜决定,1um精度@10倍

90万-130万


三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高 分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。(来自网络) 测量模式:移相干涉(PSI),白光垂直扫描干涉(VSI),单色光垂直扫描干涉(CSI)。Nano X-2000轮廓仪价格怎么样

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我们应该如何正确使用轮廓仪?

一、准备工作

1.测量前准备。

2.开启电脑、打开机器电源开关、检查机器启动是否正常。

3.擦净工件被测表面。

二、测量

1.将测针正确、平稳、可靠地移动在工件被测表面上。

2.工件固定确认工件不会出现松动或者其它因素导致测针与工件相撞的情况出现

3.在仪器上设置所需的测量条件。

4.开始测量。测量过程中不可触摸工件更不可人为震动桌子的情况产生。

5.测量完毕,根据图纸对结果进行分析,标出结果,并保存、打印。


台式轮廓仪报价轮廓仪可用于蓝宝石抛光工艺表面粗糙度分析(粗抛与精抛比较)。

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轮廓仪的主要客户群体

300mm集成电路技术封装生产线检测

集成电路工艺技术研发和产业化


国家重点实验室

高 效太阳能电池技术研发、产业化


MEMS技术研发和产业化

新型显示技术研发、产业化


超高精密表面工程技术


轮廓仪是一种两坐标测量仪器,仪器传感器相对被测工件表而作匀速滑行,传感器的触针感受到被测表而的几何变化,在X和Z方向分别采样,并转换成电信号,该电信号经放大和处理,再转换成数字信号储存在计算机系统的存储器中,计算机对原始表而轮廓进行数字滤波,分离掉表而粗糙度成分后再进行计算,测量结果为计算出的符介某种曲线的实际值及其离基准点的坐标,或放大的实际轮廓曲线,测量结果通过显示器输出,也可由打印机输出。(来自网络)

满足您需求的轮廓仪  

使用范围广: 兼容多种测量和观察需求  

保护性: 非接触式光学轮廓仪

耐用性更强, 使用无损 

可操作性:一键式操作,操作更简单,更方便  

智能性:特殊形状能够只能计算特征参数  

个性化: 定制化客户报告模式 

更好用户体验: 迅捷的售后服务,个性化应用软件支持


1.精度高,寿命长---采用超高精度气浮导轨作为直线测量基准,具有稳定性好、承载大、永不磨损等优点,达到国内同类产品较高精度。  2.高精度光栅尺及进口采集卡---保证数据采样分辨率,准确度高,稳定性好。(网络) 一般三坐标精度都在2-3um左右。

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轮廓仪的自动拼接功能:

条件: 被测区域明显大于视场的区域,使用自动图片拼接。  

需要点击自动拼接, 轮廓仪会把移动路径上的拍图自动拼接起来。

软件会自适应计算路径上移动的偏差,自动消除移动中偏差,减小误差。

但是误差是一定存在的。



白光轮廓仪的典型应用:

对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。  


轮廓仪对载物台xy行程为140*110mm(可扩展),Z向测量范围最 大可达10mm。Nano X-2000轮廓仪价格怎么样

轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用。Nano X-2000轮廓仪价格怎么样

表面三维轮廓仪对精密加工的作用:

一、从根源保障物件成品的准确性:

通过光学表面三维轮廓仪的扫描检测,得出物件的误差和超差参数,大 大提高物件在生产加工时的精确度。杜绝因上游的微小误差形成“蝴蝶效应”,造成下游生产加工的更大偏离,最终导致整个生产链更大的损失。

二、提高效率:

  智能化检测,全自动测量,检测时只需将物件放置在载物台,然后在检定软件上选择相关参数,即可一键分析批量测量。摈弃传统检测方法耗时耗力,精确度低的缺点,大 大提高加工效率。

三、涵盖面广的2D、3D形貌参数分析:

  表面三维轮廓仪可测量300余种2D、3D参数,无论加工的物件使用哪一种评定标准,都可以提供全 面的检测结果作为评定依据,可轻松获取被测物件精确的线粗糙度、面粗糙度、轮廓度等参数。

四、稳定性强,高重复性:

  仪器运用高性能内部抗震设计,不受外部环境影响测量的准确性。超精密的Z向扫描模块和测量软件完美结合,保证高重复性,将测量误差降低到亚纳米级别。 Nano X-2000轮廓仪价格怎么样

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