白光干涉仪隔振台干涉测量应用

使用说明书

解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。

调整负载补偿:

将负载放在**上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。

沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿

按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！

更改负载后，检查每个角是否自由移动！

将电源插头连接到背面的输入电源插座。

按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮，而“ ACTIVE” LED开始闪烁。

大约30秒钟后，“活动” LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。

您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。白光干涉仪隔振台干涉测量应用

TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS-300的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40dB

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 轮廓测量隔振台有谁在用AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。

AVI主动隔震台

AVI应用于扫描电镜

1、如有可能，拆下扫描电镜柱的侧板。

2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木块以增加高度。

3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓（如有必要）。

4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落，确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平，则使用垫片确保水平，并在各侧均匀地放置在地面上。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。

主动式隔震台工作机理

主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。

（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz

到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。

（2）不同负载下的振动传递率：

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。 AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。

传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器

设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。

按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。 实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。白光干涉仪隔振台干涉测量应用

AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。白光干涉仪隔振台干涉测量应用

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。